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公开(公告)号：CN100520349C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200510132056.3
申请日：2005-12-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置，该装置的一个电极连接交流电，通过该电极的底电极层和两组与侧臂成为一体的固定梳齿连接；另一个电极接地；通过结构层直接和两组与其侧臂成为一体的悬置梳齿连接；该悬置梳齿与所述的固定梳齿为交错对应设置；在两组固定梳齿之间由与交流电极连接的其一字型侧臂连接；两组悬置梳齿之间由与接地电极连接的T字型侧臂连接；其中T字型侧臂的横直侧臂连接悬置梳齿，其竖直侧臂通过悬置梁与接地电极连接；该悬置梁为疲劳试样。结构的共振特性及疲劳试样根部缺口的利用，大大提高了试样所受的应力水平，使疲劳试验能够在容许的时间范围内完成。
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公开(公告)号：CN1800815A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510132056.3
申请日：2005-12-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置，该装置的一个电极连接交流电，通过该电极的底电极层和两组与侧臂成为一体的固定梳齿连接；另一个电极接地；通过结构层直接和两组与其侧臂成为一体的悬置梳齿连接；该悬置梳齿与所述的固定梳齿为交错对应设置；在两组固定梳齿之间由与交流电极连接的其一字型侧臂连接；两组悬置梳齿之间由与接地电极连接的T字型侧臂连接；其中T字型侧臂的横直侧臂连接悬置梳齿，其竖直侧臂通过悬置梁与接地电极连接；该悬置梁为疲劳试样。结构的共振特性及疲劳试样根部缺口的利用，大大提高了试样所受的应力水平，使疲劳试验能够在容许的时间范围内完成。
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公开(公告)号：CN1789959A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510132057.8
申请日：2005-12-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置，该装置的固定梳齿的侧壁与连接交流电的电极相连；所述的悬置梳齿通过连接粱及固定于基底的固定块与接地电极相连；所述的固定梳齿与悬置梳齿为交错对应设置；连接粱的一端为与其成为一体的悬置梳齿的连接臂的中点；其另一端为与其成为一体并通过锚定层固定于基底的侧臂；连接粱为疲劳试样。由于本发明的悬置梳齿的转动中心位于其悬臂的中心附件，而且整个梳齿宽度设置得较宽，这样在振动过程中悬置梳齿和固定梳齿之间基本不存在相对转动，悬置梳齿基本是直上直下的直线运动，避免了两者之间由于相对转动而造成的干涉，从而相能产生更大振动幅度。便于研究微梁在较大范围内受力载荷下的疲劳特性。
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公开(公告)号：CN1558433A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN200410000667.8
申请日：2004-01-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种微机械电磁继电器及其制备方法，属于制造技术领域。本发明是基于半导体微细加工工艺在硅片上制作的一种单稳态微机械电磁继电器，它由硅基板(3)、励磁线圈(13)、继电器触点(16)、活动衔铁(21)和硅基板正面的底层磁路(8)、聚酰亚胺绝缘膜(9)等部分组成；主要制造工艺特点是，1)首先从硅片正面制作底层磁路槽，利用溅射、电镀在槽内形成底层磁路，同时引出励磁线圈的中心端子；2)在底层磁路上生成聚酰亚胺膜和二氧化硅膜，使表面平坦并与底层磁路绝缘；3)采用溅射铝和光刻工艺制作继电器的励磁线圈和触点；4)采用电铸铁镍工艺制作活动衔铁。本发明具有质量体积小，生产成本低，工艺简单，继电器触点可通过较大电流等特点。
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公开(公告)号：CN2864664Y
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200520145008.3
申请日：2005-12-16
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本实用新型公开了一种微结构双向弯拉疲劳试验装置，包括有驱动电极、检测电极和与之相连接的悬置梳齿单元；在圆心相同但直径不同的数个非闭合圆盘状环臂分布有6个梳齿单元；该梳齿单元分为用来驱动整个悬置结构的驱动组和用来测量悬置结构摆动的幅度的检测组；驱动组和检测组交替分布；每个梳齿单元包含一个悬置梳齿和两个位于悬置梳齿两边的固定梳齿；所有梳齿单元的悬置梳齿通过内侧环臂连于一体并最终与直流电极相连；所有驱动梳齿单元两侧的固定梳齿与驱动电极相连，在驱动电极上分别接入两频率相同、相位相反交流电；该微疲劳试验结构装置具有加工容易，操作简便等特点，对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217484008U
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202122938398.1
申请日：2021-11-27
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于丝杠控制位移的弯扭微动损伤试验装置。系统包括试件夹持系统、弯曲载荷施加系统、扭转载荷施加系统。在弯曲载荷施加系统中，密闭丝杠机构对称设置，实现对称循环的弯曲疲劳载荷加载。通过对称的丝杠机构实现弯曲交变载荷和普通法向载荷加载，可精确的控制变量，实验重复性好，从而可进行量化实验。试验机振幅小，稳定性好，使用计算机软件可直接操纵丝杠的速度、加速度、导程和行程，操作方便，容易控制。试验机装拆方便，可与其他疲劳试验机配合使用，通用性广。
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公开(公告)号：CN2864663Y
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200520145010.0
申请日：2005-12-16
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/317
Abstract: 本实用新型公开了一种微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置，其驱动电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与驱动梳齿对连接；其检测电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与检测梳齿对连接；上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；上述检测电极由探针引出，接入振幅测量电路输入端；该检测电路的输出端连接控制终端的输入端；所述的振动块为直线条的网格状。本实用新型的振动块由于采用了网格状，避免了释放孔的设计，而且其线条全为直线构成，降低了制版成本。同时降低了振动块质量，提高了振动固有频率，使得疲劳能够更早发生。
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公开(公告)号：CN2878348Y
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200520145009.8
申请日：2005-12-16
Applicant: 北京工业大学
IPC: B81B5/00
Abstract: 本实用新型公开了一种微结构单向弯拉疲劳试验装置，该装置在一个悬置振动块的一侧设有驱动梳齿对，在悬置振动块的另一侧设有检测振动幅度的检测梳齿对；驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧壁通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接感测电路的检测电极连接；其悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接；试样的另一端与接地电极相连；试样与驱动及检测装置为一体性结构；驱动电极连接功率放大器输出的探针；检测电极由探针引出，接入振幅测量电路后与终端控制设备的输入端连接；应用于微纳米技术基础研究领域作用在MEMS系统结构材料多晶硅疲劳特性的研究的微结构单向弯拉疲劳试验装置。
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公开(公告)号：CN2849703Y
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200520144909.0
申请日：2005-12-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/38
Abstract: 本实用新型公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置，该装置的一个电极连接交流电，通过该电极的底电极层和两组与侧臂成为一体的固定梳齿连接；另一个电极接地；通过结构层直接和两组与其侧臂成为一体的悬置梳齿连接；该悬置梳齿与所述的固定梳齿为交错对应设置；在两组固定梳齿之间由与交流电极连接的其一字型侧臂连接；两组悬置梳齿之间由与接地电极连接的T字型侧臂连接；其中T字型侧臂的横直侧臂连接悬置梳齿，其竖直侧臂通过悬置梁与接地电极连接；该悬置梁为疲劳试样。结构的共振特性及疲劳试样根部缺口的利用，大大提高了试样所受的应力水平，使疲劳试验能够在容许的时间范围内完成。
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公开(公告)号：CN210051657U
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201920634436.4
申请日：2019-05-06
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种弯扭/弯拉微动疲劳与微动磨损试验系统及其试验方法，涉及材料强度其摩擦学性能领域。系统包括试件夹持装置，载荷加载装置与计算机控制装置。通过对称设置的凸轮机构，可以实现弯曲载荷的循环加载，与外部疲劳试验机相连进行弯拉/弯扭微动疲劳试验；也可以将一侧凸轮置换成圆盘，提供恒定法向载荷，另外一侧微动垫与试件形成面接触副，通过凸轮压杆提供微振，从而进行径向/切向微动磨损试验。控制装置可以记录传感器所监测数据并将其传至计算机，并通过驱动电路对电机进行控制，有效地控制载荷加载的情况。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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