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公开(公告)号：CN101718910B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200910237299.1
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
IPC: G02B26/10
Abstract: 本发明涉及一种静电振镜及其制作方法，该静电振镜由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，衬底至少表面绝缘；驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点、导线，驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜中心线为对称线设置于中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；着陆电极两两以中心线为对称线设置于中心线两侧，并通过键合与振镜层相连，使得着陆电极与振镜层悬臂梁电位相同；振镜层包括：振镜、支架、悬臂梁，振镜两端与悬臂梁连接，支架固定于衬底，悬臂梁与支架连接，为鱼骨形结构，具有末端可接触到着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，允许振镜产生扭动。本发明的静电振镜制造工艺简单、成本低，可靠性高。
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公开(公告)号：CN102081174A
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：CN201010534639.X
申请日：2010-11-03
Applicant: 北京大学
Inventor： 陈庆华
Abstract: 本发明涉及一种聚光透镜阵列器件及其制备方法，该器件包括：基体、以及光纤，所述基体的一面设置有若干用于放置所述光纤的光纤槽，所述基体还设置有沿所述光纤槽分布的若干透光通孔。本发明的聚光透镜阵列器件及其制备方法适用于中、大规模2D光开关及大规模3D光开关等应用，具有极强的可扩展性；以高精度光刻技术定义的光纤槽以精确定位透镜，可以精确、稳固地实现光信号汇聚，从而实现光反射模块与光纤之间的对准，降低封装的难度和成本；本发明的制备方法可以采用常规MEMS工艺设备，实现大批量制造，且工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更广泛、更强大的微光集成系统。
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公开(公告)号：CN100561288C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200810056983.5
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述光纤固定模块上以所述光反射模块为中心，呈放射状设置有若干光纤槽，且每一所述光纤槽分别对准所述光反射模块上多个光反射面中的一个。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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公开(公告)号：CN100558627C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200810056981.6
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁。本发明不但可以通过梳齿型可动电极与固定电极之间的作用，实现共面X轴方向的移动，而且可以通过可动电极和固定电极的相互作用，实现驱动输出端的离面扭转运动。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101290395A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810104013.8
申请日：2008-04-14
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型多功能光学器件及其制备方法，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、锚点、玻璃衬底、光反射模块和光纤槽；所述光反射模块的头部呈三角形，正对所述反射模块的头部设置一输入光纤槽，与所述三角形光反射模块的两侧反射面对应，与所述输出光纤槽垂直相对设置有两个输出光纤槽，所述输入、输出光纤槽内设置有输入、输出光纤。本发明利用固定电极和可动电极组成的梳齿型静电驱动器移动光反射模块来实现可调分光功能和光开关功能，同时利用固定电极和可动电极组成的平板型静电驱动器扭转光反射模块来实现光衰减功能。本发明的制备方工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统中。
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公开(公告)号：CN101830425A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200910237298.7
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应用面广，附加值高，可克服现有技术的不足。
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公开(公告)号：CN101246259A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810056983.5
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述光纤固定模块上以所述光反射模块为中心，呈放射状设置有若干光纤槽，且每一所述光纤槽分别对准所述光反射模块上多个光反射面中的一个。本发明的制备工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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公开(公告)号：CN101244801A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810056981.6
申请日：2008-01-28
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法，本发明微驱动结构包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、驱动输出端；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁。本发明不但可以通过梳齿型可动电极与固定电极之间的作用，实现共面X轴方向的移动，而且可以通过可动电极和固定电极的相互作用，实现驱动输出端的离面扭转运动。本发明工艺过程简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。
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公开(公告)号：CN101881881A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010199618.7
申请日：2010-06-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变光衰减器件及其制备方法，该器件包括：硅基座以及与所述硅基座键合的玻璃基座，所述硅基座设置有垂直光反射面、以及以所述光反射面为一侧面的加热空腔，所述加热空腔与所述玻璃基座的部分上表面围成密封腔体，在所述密封腔体内的玻璃基座的上表面上设置有加热部件。本发明的可变光衰减器件可满足振动环境中对器件的可靠性要求、成本低、且性能高。
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