金属键合硅基激光器的制备方法

    公开(公告)号:CN101741007B

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN200810226036.6

    申请日:2008-11-04

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种金属键合硅基激光器的制备方法,该方法包括:在SOI硅片的硅膜上刻蚀出硅波导和键合区,并在硅波导和键合区之间刻蚀一硅阻挡墙;然后,在SOI硅片的键合区内,从下到上依次制备粘附金属层、欧姆接触层和键合金属层;同时,利用外延生长的方法制备化合物半导体激光器,并将化合物半导体激光器的N电极、衬底以及腐蚀阻挡层全部腐蚀掉;最后,将上述化合物半导体激光器和SOI硅片对准,并将化合物半导体激光器键合在SOI硅片的波导和键合区上,从而形成金属键合硅基激光器。本发明金键合硅基激光器可用于集成化生产。与直接键合硅基激光器的方法相比,本发明具有操作简单,对环境要求不高,成本较低的优点。

    一种顶出光电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN100463243C

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:CN200410048076.8

    申请日:2004-06-14

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种顶出光电极及其制备方法,涉及顶出光电致发光器件领域。本发明所提供的顶出光电极,包括衬底和位于衬底上的有机发光层,所述有机发光层上设有LiF层,所述LiF层上设有厚度为0.6-15nm的Al层,在所述Al层上设有厚度为3-20nm的Au层。该薄层可以用普通的真空蒸镀方法(10-5托)来完成,电极透光率比薄Al/Ag层高约40-50%,而且外层的Au膜不像Ag膜那样易于被氧化,从而较好保证了器件的电稳定性和发光稳定性,同时又有较好的防止水汽透入有机层的作用。本发明的顶出光电极在无机薄膜和半导体发光,以及光电器件和光探测器等方面有广泛用途。

    一种有机电致发光器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN1642376A

    公开(公告)日:2005-07-20

    申请号:CN200410001060.1

    申请日:2004-01-18

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种有机电致发光器件及其制备方法。本发明所提供的有机电致发光器件,至少包括发光层,以及分别位于所述发光层上下的阴极层和阳极层,且所述阳极层的阳极为硅。该有机电致发光器件的制备方法,包括以下步骤:1)在硅片背面制作欧姆接触金属;2)在步骤1)所述已制备好欧姆接触金属的硅片正面生长空穴注入/控制层;3)在步骤2)所述空穴注入/控制层上依次真空淀积空穴传输层,发光层,电子传输层,电子注入/控制层;4)用模板淀积法或用淀积加光刻的方法在步骤3)所述电子注入/控制层上依次制备透光阴极和厚阴极;5)在步骤4)所述透光阴极和厚阴极上制备器件钝化保护膜。本发明的有机电致发光器件可广泛应用于视频数字显示、仪器监控、广告等领域。也可实现微显示、(Microdisplay),随身“看”等特殊要求,从而用在军事,电子游戏等特殊领域。

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