薄膜组件用粘着剂、薄膜组件和选择薄膜组件用粘着剂的方法

    公开(公告)号:CN107608175A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710555994.7

    申请日:2017-07-10

    Inventor: 簗濑优 堀越淳

    CPC classification number: G03F1/64 C08F220/18 C09J133/12 C09J2433/00

    Abstract: 提供:一种粘着剂,其基本上不包含表面改性剂,并且在薄膜组件分离后留下较少的残留物;一种薄膜组件;以及一种选择留下较少残留物的粘着剂的方法。更具体地说,提供:一种薄膜组件用粘着剂,该粘着剂的剥离强度与拉伸强度之比为0.10~0.33;一种薄膜组件,其包括薄膜组件框架、设置在所述薄膜组件框架的上端面上方的薄膜组件膜和粘附到所述薄膜组件框架的下端面的所述粘着剂;以及一种选择粘着剂的方法,包括以下步骤:测量粘着剂的剥离强度和拉伸强度,以及选择前者与后者之比为0.10至0.33的粘着剂作为所述薄膜组件用粘着剂。

    EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂以及用该接着剂的防尘薄膜组件

    公开(公告)号:CN106647161A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201610937977.5

    申请日:2016-10-25

    Inventor: 堀越淳

    Abstract: 提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件,该防尘薄膜组件的制造方法,以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为,接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50%的范围。式:硬度的变化率(%)={(所述静置后的硬度)-(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。

    防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件

    公开(公告)号:CN105388700A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201510512777.0

    申请日:2015-08-19

    Inventor: 堀越淳

    Abstract: 本发明提供一种可减少从防尘薄膜组件框架释放出的硫酸离子以及铵离子等的,在曝光环境下,可减少雾状物(haze)的发生防尘薄膜组件框架以及防尘薄膜组件。构成该防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架,被含有对二甲苯系聚合物的层被覆。

    防尘薄膜组件
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102236250B

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201110117241.0

    申请日:2011-05-05

    Inventor: 堀越淳

    CPC classification number: G03F1/64

    Abstract: 本发明的课题是选定一种粘着剂,该粘着剂在防尘薄膜组件的异物检测时,不会发生由于光在粘着剂中反射或折射产生杂散光而发生误检。本发明的防尘薄膜组件至少由防尘薄膜以及防尘薄膜组件框架组成,在所述防尘薄膜组件框架的一个端面,贴附有所述防尘薄膜,在所述防尘薄膜组件框架的另一个端面,设有用来将所述防尘薄膜组件贴附于玻璃基板的粘着剂,在所述粘着剂上表面,设置有可剥离片,所述防尘薄膜组件用粘着剂的特征在于:其全光线透过率为不大于70%。本发明的防尘薄膜组件用粘着剂优选为黑色。

    阻燃有机聚硅氧烷组合物
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101724270B

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN200910208874.5

    申请日:2009-10-30

    Abstract: 一种阻燃有机聚硅氧烷组合物,所述组合物显示极佳的耐热性,并且甚至在暴露于高温时,在固化的产物内也不经历起泡,这意味着没有防水和防潮性能或电绝缘性能退化的发生。所述组合物包含:(A)由通式(1)表示的有机聚硅氧烷:(其中R1表示氢原子或一价烃基,R2表示一价烃基,各Z独立表示氧原子或二价烃基,a表示0、1或2,并且n表示10或更大的整数),(B)勃姆石,和(C)由通式(2)表示的有机硅化合物:R3bSiX4-b (2)(其中R3表示一价烃基,X表示可水解基团,并且b表示0、1或2),或其部分水解-缩合产物或其组合。

    防尘薄膜组件
    18.
    发明公开
    防尘薄膜组件 审中-实审

    公开(公告)号:CN111948902A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010862483.1

    申请日:2014-09-23

    Inventor: 堀越淳

    Abstract: 本发明公开了一种防尘薄膜组件。本发明的目的在于提供一种具有通过轻微的剥离力即可剥离的离型性衬片的防尘薄膜组件。本发明的防尘薄膜组件包括:防尘薄膜、在一侧的端面上粘贴有该防尘薄膜的防尘薄膜组件框架、设置于该防尘薄膜组件框架的另一侧的端面上的用于将防尘薄膜组件粘贴在玻璃基板的粘合剂、以及用于保护该粘合剂的离型性衬片。本发明的防尘薄膜组件的特征在于,所述离型性衬片的离型侧的表面粗糙度为5μm~30μm。因此,对于防尘薄膜组件的粘合剂层具有稳定良好的剥离性,故非常适合于自动安装机,即使在手动操作剥离衬片时也不需要对防尘薄膜组件施于过大的力。

    EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂以及用该接着剂的防尘薄膜组件

    公开(公告)号:CN111679549A

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN202010637924.8

    申请日:2016-10-25

    Inventor: 堀越淳

    Abstract: 提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件,该防尘薄膜组件的制造方法,以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为,接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示的硬度的变化率为±50%的范围。式:硬度的变化率(%)={(所述静置后的硬度)-(所述静置前的硬度)}÷(所述静置前的硬度)×100。

    防尘薄膜组件用粘着剂以及使用其的防尘薄膜组件

    公开(公告)号:CN104974682B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201510090684.3

    申请日:2015-02-28

    Inventor: 堀越淳

    Abstract: 一种将至少由防尘薄膜和该防尘薄膜被贴附在其上的防尘薄膜组件框架构成的防尘薄膜组件贴附在玻璃基板时用粘着剂,其特征在于,该粘着剂含有荧光材料。所述荧光材料,优选其浓度为0.01质量%以上1.0质量%未满。所述荧光材料,优选在紫外线的下发出荧光。

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