公开(公告)号：CN101802544A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880104252.1

申请日：2008-08-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 太田和之 ,  吉川博志 ,  御手洗裕辅 ,  泷本将史 ,  奥富一则 ,  新畠弘之 ,  齐藤谦治 ,  真继优和

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B11/30

Abstract: 一种测量设备包括：照明光设置单元，用于设置具有与形成在测量对象的表面上并且要测量的显微结构相对应的光学特性的照明光；测量单元，用于测量当利用所述照明光照射所述测量对象时的反射光；以及提取单元，用于从所测量到的反射光提取与所述测量对象的表面形状和形成在所述测量对象的表面上的显微结构相关的信息。