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公开(公告)号：CN106814536B
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN201611060042.X
申请日：2016-11-25
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括多个对准观察仪和控制单元。控制单元基于来自多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准。多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息。控制单元基于从多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息控制压射区域与模具的对准。
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公开(公告)号：CN104181768B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201410227550.7
申请日：2014-05-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/70775 , G03F9/7003 , G03F9/7042 , G03F9/708 , G03F9/7088
Abstract: 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括：在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；并且形成包括压印材料上标记的图案，其特征在于，使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记，直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止，从而获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。
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公开(公告)号：CN104122746B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201410166556.8
申请日：2014-04-24
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供了一种压印方法，包括：变形步骤，所述变形步骤将模具的图案表面变形以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面变形时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形时利用所述偏移量和相对位置对准模具和基板。以及一种压印装置和制造物品的方法。
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公开(公告)号：CN106814536A
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201611060042.X
申请日：2016-11-25
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C43/58 , B29C43/021 , B29C2043/5833 , G03F7/0002 , G03F9/7042 , G03F7/0017
Abstract: 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括多个对准观察仪和控制单元。控制单元基于来自多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准。多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息。控制单元基于从多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息控制压射区域与模具的对准。
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公开(公告)号：CN104281002A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410310980.5
申请日：2014-07-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法、光刻装置、光刻系统及物品制造方法。该图案形成方法包括：第一步骤，形成第一图案以限定第一拍摄布置；以及第二步骤，进行压印处理，从而在所述第一图案上的压印材料上形成第二图案，并且限定第二拍摄布置。在所述第二步骤中，修正所述第二拍摄布置，以通过使所述模具变形来减小所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差。在所述第一步骤中，基于在通过使所述模具变形对所述模具上形成的所述第二图案进行修正之后进行所述第二步骤的情况下、所述基板上可限定的估计的所述第二拍摄布置的信息，形成所述第一图案，以使所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差在容许范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104122746A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410166556.8
申请日：2014-04-24
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0002
Abstract: 本发明提供了一种压印方法，包括：变形步骤，所述变形步骤将模具的图案表面变形以使模具从图案表面的中心部向外逐渐地跟压印材料相接触；获取步骤，所述获取步骤获取偏移量，所述偏移量指示模具上的标记由于图案表面的变形而沿平行于基板表面的方向偏移了多少；检测步骤，所述检测步骤在图案表面变形时检测模具上的标记和基板上的标记，并根据检测结果获取模具和基板的相对位置；以及对准步骤，所述对准步骤在图案表面变形时利用所述偏移量和相对位置对准模具和基板。以及一种压印装置和制造物品的方法。
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公开(公告)号：CN110083009B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN201910498821.5
申请日：2014-05-27
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括：在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；并且形成包括压印材料上标记的图案，其特征在于，使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记，直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止，从而获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。
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公开(公告)号：CN104281002B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201410310980.5
申请日：2014-07-01
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法、光刻装置、光刻系统及物品制造方法。该图案形成方法包括：第一步骤，形成第一图案以限定第一拍摄布置；以及第二步骤，进行压印处理，从而在所述第一图案上的压印材料上形成第二图案，并且限定第二拍摄布置。在所述第二步骤中，修正所述第二拍摄布置，以通过使所述模具变形来减小所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差。在所述第一步骤中，基于在通过使所述模具变形对所述模具上形成的所述第二图案进行修正之后进行所述第二步骤的情况下、所述基板上可限定的估计的所述第二拍摄布置的信息，形成所述第一图案，以使所述第一拍摄布置和所述第二拍摄布置的重叠误差在容许范围内。
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公开(公告)号：CN109059765A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810939318.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/254 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7049
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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公开(公告)号：CN105222705B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201510369385.3
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 佐藤浩司
CPC classification number: G01B11/254 , G03F7/0002 , G03F9/7038 , G03F9/7049
Abstract: 本发明提供一种位置检测装置、位置检测方法、压印装置及物品的制造方法。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。
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