公开(公告)号：CN105842983B

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201610073671.X

申请日：2016-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中川一树

IPC: G03F7/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种压印方法、压印装置以及物品的制造方法。所述压印方法通过使用具有图案区域的模具，在基板上形成的投射区域上形成图案，所述压印方法包括：根据变形量，进行用于所述图案区域和所述投射区域中的至少一者的变形的控制；获得在所述变形之后的、所述图案区域上配设的多个标记中的各个与所述投射区域上配设的多个标记中的对应标记之间的偏移量；基于所述偏移量，选择要用于控制所述图案区域与所述投射区域之间的交叠的标记，以满足预设条件；以及在进行变形的控制步骤中的变形之后，基于对选择的标记的位置的检测结果，进行所述交叠的反馈控制。

公开(公告)号：CN104216219A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410227985.1

申请日：2014-05-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 西川原朋史 ,  中川一树

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和制造产品的方法。本发明提供了一种用于在基片上的多个曝光区域中形成图案的压印设备，所述压印设备包括：加热单元，所述加热单元构造成通过加热基片而使得每一个曝光区域变形；和控制单元，所述控制单元构造成控制加热单元，其中，当根据用于通过加热单元加热在目标曝光区域之前已经经受压印处理的曝光区域的加热控制信息针对作为待经受压印处理的曝光区域的目标曝光区域实施压印处理时，控制单元对加热单元加热基片实施控制，使得因根据控制信息加热基片而已经变形的目标曝光区域的形状接近目标形状。

公开(公告)号：CN103048878A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210385057.9

申请日：2012-10-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中川一树 ,  长谷川敬恭 ,  村上洋介 ,  松本隆宏

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/682 ,  B29C35/0805 ,  B29C59/026 ,  B29C59/16 ,  B29C2035/0822 ,  B29K2101/00 ,  B29L2009/00 ,  B29L2031/34 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6838 ,  H01L22/20 ,  H01L23/544

Abstract: 本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和使模具脱离与模具接触的树脂的脱模步骤。其中在变形步骤中，在沿着基板的表面的方向上对基板施加变形力，所述变形力大于作用于与基板侧图案区对应的基板的背面和所述保持面之间的最大静摩擦力。