公开(公告)号：CN1841200B

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200610077419.2

申请日：2006-03-28

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史 ,  安藤信雄

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C2603/74

Abstract: 适合作为酸生成剂的盐和包含该盐的化学放大型抗蚀组合物本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表-CO-基团或-C(OH)-基团；环X代表含有3-30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是-C(OH)-基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是-CO-基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1-6个碳原子的烷基、含有1-6个碳原子的烷氧基、含有1-4个碳原子的全氟烷基、含有1-6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1-6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。

公开(公告)号：CN101130510A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200710142634.0

申请日：2007-08-20

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 重松淳二 ,  吉田勋 ,  原田由香子 ,  末次益实

IPC: C07C321/12 ,  C07C323/10 ,  C07C309/17 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  C07D313/06 ,  C07D333/46 ,  C07D335/00 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3－C30二价基团，并且在所述C3－C30二价基团中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Y表示可以被选自C1－C6烷氧基、C1－C4全氟烷基、C1－C6羟烷基、羟基和氰基中的至少一个基团取代的C3－C30环烃基，并且在所述C3－C30环烃基中的至少一个－CH2－可以被－O－或－CO－取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。

公开(公告)号：CN1955845A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610142439.3

申请日：2006-10-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  吉田勋 ,  山口训史

IPC: G03F7/039

CPC classification number: C07C309/12 ,  C07C2603/74 ,  C07D333/46

Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐，其中环X表示含有三环或更多环并且含有10至30个碳原子的多环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有1至6个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；n表示1至12的整数；并且A+表示选自由上式(IIa)、(IIb)和(IIc)的阳离子组成的组中的阳离子。本发明还提供一种包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1971421B

公开(公告)日：2012-05-30

申请号：CN200610149463.X

申请日：2006-11-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  原田由香子 ,  吉田勋

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1821875B

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN200610067361.3

申请日：2006-02-15

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  武元一树 ,  户石好治

IPC: G03F7/004

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2603/74

Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN101121679A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710138246.5

申请日：2007-07-31

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  吉田勋 ,  高田佳幸

IPC: C07C321/12 ,  C07C323/10 ,  C07C309/17 ,  G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C309/17 ,  C07C2603/74 ,  C07D307/77 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/122 ,  Y10S430/123

Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的盐，其中，P1、P2、P3、Q1、Q2和R具有与权利要求书和说明书中定义的相同含义，并且还提供一种含有上述式(I)所示的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1971421A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610149463.X

申请日：2006-11-17

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山口训史 ,  原田由香子 ,  吉田勋

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  C07C309/17 ,  C07C381/12 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2603/74 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或多环烃基，并且单环或多环烃基中的一个或多个氢原子任选被含有1至10个碳原子的烷基、含有1至10个碳原子的烷氧基、含有1至4个碳原子的全氟烷基、含有1至10个碳原子的羟基烷基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：CN1955846A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200610142477.9

申请日：2006-10-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史

IPC: G03F7/039

CPC classification number: C07C381/12 ,  C07C25/18 ,  C07C309/17 ,  C07C2601/14 ,  C07C2602/42 ,  C07D333/46 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供式(I)的盐，其中环X表示含有3至30个碳原子的单环或双环烃基，并且环X中的一个或多个氢原子任选被含有1至6个碳原子的烷基、含有2至6个碳原子的烯基、含有2至6个碳原子的烷氧基或含有1至4个碳原子的全氟烷基取代；Q1和Q2各自独立地表示氟原子或者含有1至6个碳原子的全氟烷基；A+表示有机抗衡离子；并且n表示1至12的整数。本发明还提供包含所述式(I)的盐的化学放大型抗蚀剂组合 物。

公开(公告)号：CN1841201A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610077420.5

申请日：2006-03-29

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 原田由香子 ,  武元一树 ,  户石好治

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07D307/33 ,  C07C381/12 ,  C07D307/77 ,  C08K5/42 ,  G03F7/0045

Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个－CH2－基团被－COO－基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1－6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0－12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。

公开(公告)号：CN1841200A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610077419.2

申请日：2006-03-28

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉田勋 ,  原田由香子 ,  山口训史 ,  安藤信雄

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: C07C309/17 ,  C07C2603/74

Abstract: 本发明提供一种式(L)的盐式(L)的盐其中Q代表－CO－基团或－C(OH)－基团；环X代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中当Q是－C(OH)－基团时，在Q位置上的一个氢原子被一个羟基取代，或者当Q是－CO－基团时，在Q位置上的两个氢原子被＝O基取代，并且单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟烷基、羟基或氰基取代；R10和R20各自独立地表示氟原子或含有1－6个碳原子的全氟化烷基；A+表示有机平衡离子。本发明还提供一种包含式(L)的盐的化学放大型抗蚀组合物。