公开(公告)号：CN113853690A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080035263.X

申请日：2020-05-08

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 吉川岳 ,  中田邦彦

IPC: H01L33/56 ,  H01L33/32

Abstract: 本发明提供一种氟树脂密封构件的耐热变形性良好的电子部件的制造方法。通过具有将安装于布线基材的电子元件用氟树脂覆盖的工序以及对覆盖了电子元件的上述氟树脂照射放射线的工序的方法来制造电子部件。上述氟树脂优选为四氟乙烯－六氟丙烯－偏二氟乙烯共聚物。上述放射线优选为电子束。上述电子束的加速电压优选为50kV以上。上述电子束的照射能量优选以吸收线量计为20kGy以上。

公开(公告)号：CN104871257A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201380066128.1

申请日：2013-12-12

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 中田邦彦 ,  堀田翔平

IPC: H01B5/14 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H01B13/00 ,  H01L31/04 ,  H01L31/06

CPC classification number: C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 氧化锌系透明导电膜，其为包含锌原子、氧原子、以及以下定义的M的氧化锌系透明导电膜，相对于构成该膜的总原子数，锌原子数与氧原子数与钛原子数与镓原子数与铝原子数的合计为99%以上，相对于该膜中包含的锌原子数、钛原子数、镓原子数和铝原子数的合计原子数，钛原子数、镓原子数和铝原子数的合计原子数的比例（（钛原子数+镓原子数+铝原子数）/（锌原子数+钛原子数+镓原子数+铝原子数）×100）为1.3%以上且2.0%以下，相对于该膜中包含的钛原子数、镓原子数和铝原子数的合计原子数，钛原子数至少为50%，载流电子浓度为3.60×1020cm-3以下、迁移率为43.0cm2/Vs以上、以及电阻率为5.00×10-4Ω？cm以下。M：钛原子、钛原子和镓原子、钛原子和铝原子、或者、钛原子和镓原子和铝原子。