公开(公告)号：CN106133190A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201580014820.9

申请日：2015-03-16

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 久野裕彦 ,  小泉雅史

IPC: C23C16/50 ,  C23C16/44 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/50 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/32577 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32908 ,  H01J2237/3321 ,  H05H1/46 ,  H05H2245/123

Abstract: 提供在使用了高电压的情况下也能抑制异常放电的等离子体CVD装置。等离子体CVD装置(100)的特征在于，具备：形成等离子体空间的腔室(61)、配置于贯通腔室(61)的壁(61a)的端子导入孔(62)的电力导入端子(10)，电力导入端子(10)具有绝缘件(21)和棒状导电体(11)，绝缘件(21)具有贯通孔(22)，棒状导电体(11)插通于贯通孔(22)，棒状导电体(11)的一端配置在腔室(61)内，棒状导电体(11)的另一端与向腔室(61)内供给电力的电源(E)电连接，绝缘件(21)的内壁面(211)与棒状导电体(11)之间的间隙小于2mm，从绝缘件(21)的配置于腔室(61)内的等离子体空间的一端至绝缘件(21)与棒状导电体(11)的接点(221)为止的距离比10mm大。

公开(公告)号：CN104080945A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201380007324.1

申请日：2013-01-25

Applicant: 株式会社丰田中央研究所 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 伊关崇 ,  中西和之 ,  小泽康弘 ,  上田直树 ,  小泉雅史

IPC: C23C16/26 ,  C01B31/02 ,  C23C16/50 ,  H01M8/02 ,  H01M8/10

CPC classification number: H01M8/0228 ,  C01B32/05 ,  C23C16/26 ,  C23C16/45523 ,  C23C16/50 ,  H01M8/0206 ,  H01M8/0213 ,  H01M2008/1095 ,  Y02P70/56

Abstract: 一种无定形碳膜，以碳为主成分，包含30at％以下的氢、20at％以下的氮以及3at％以下的氧，且在将该碳的总量设为100at％时，具有sp2杂化轨道的碳量为70at％以上且小于100at％，所述氢、氮以及氧的含量都不包括0at％。氮和氧在膜表面侧浓化而存在，利用X射线光电子光谱法从表层检测到的氧的含有率为4at％以上15at％以下、氮的含有率为10at％以上30at％以下。无定形碳膜兼具导电性和亲水性，显示出适合于燃料电池用隔板等的表面性状。

公开(公告)号：CN102668208B

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201080059033.3

申请日：2010-12-24

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 伊关崇 ,  中西和之 ,  小泽康弘 ,  山田由香 ,  长谷川元 ,  小泉雅史 ,  藤泽克利 ,  上田直树 ,  久野裕彦

IPC: H01M8/02 ,  C01B31/02 ,  H01M8/10

CPC classification number: C01B31/02 ,  B82Y30/00 ,  C01B32/05 ,  H01M8/021 ,  H01M8/0228 ,  H01M8/0234 ,  Y02P70/56

Abstract: 燃料电池用隔板具备不锈钢制基材、取向性非晶碳膜、混合层和多个突起，其中，所述取向性非晶碳膜：在该基材的至少与电极对向的表面上形成，以C为主成分，含有3～20原子％的N、大于0原子％且为20原子％以下的H，且在将该C的总量设为100原子%时，具有sp2杂化轨道的碳Csp2为70原子％以上且小于100原子％，石墨的(002)面沿厚度方向取向，所述混合层：在所述基材和所述取向性非晶碳膜的界面上生成，含有该两者的构成原子各一种以上，所述多个突起：从所述混合层突出到所述取向性非晶碳膜内，平均长度为10～150nm。

公开(公告)号：CN102668208A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080059033.3

申请日：2010-12-24

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 伊关崇 ,  中西和之 ,  小泽康弘 ,  山田由香 ,  长谷川元 ,  小泉雅史 ,  藤泽克利 ,  上田直树 ,  久野裕彦

IPC: H01M8/02 ,  C01B31/02 ,  H01M8/10

CPC classification number: C01B31/02 ,  B82Y30/00 ,  C01B32/05 ,  H01M8/021 ,  H01M8/0228 ,  H01M8/0234 ,  Y02P70/56

Abstract: 燃料电池用隔板具备不锈钢制基材、取向性非晶碳膜、混合层和多个突起，其中，所述取向性非晶碳膜：在该基材的至少与电极对向的表面上形成，以C为主成分，含有3～20原子％的N、大于0原子％且为20原子％以下的H，且在将该C的总量设为100原子%时，具有sp2杂化轨道的碳Csp2为70原子％以上且小于100原子％，石墨的(002)面沿厚度方向取向，所述混合层：在所述基材和所述取向性非晶碳膜的界面上生成，含有该两者的构成原子各一种以上，所述多个突起：从所述混合层突出到所述取向性非晶碳膜内，平均长度为10～150nm。