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公开(公告)号：CN110174054A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910479875.7
申请日：2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统，属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次，使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8，同时，所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构，即测量光束与参考光束的传播路径相似，光程差主要由被测试样的长度引起，因此，测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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公开(公告)号：CN108279509A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810076304.4
申请日：2018-01-26
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种快速调整法布里-珀罗干涉仪的方法及装置，属于光学技术领域。在组成平凹腔法布里-珀罗干涉仪的平面反射镜边缘加工一部分未镀反射膜区域，以解决因为法布里-珀罗腔透射率低所造成的调整过程中反射光斑和干涉条纹不易观察的问题，通过引入一块过渡参考镜，使其分别与凹面反射镜和平面反射镜相对准，实现了平凹腔法布里-珀罗干涉仪两块反射镜的对准调整。本发明装置由激光器、聚光镜、光阑、准直镜、分光镜、透镜、观察屏、平面反射镜、过渡参考镜和凹面反射镜组成，本发明方法能够提高平凹腔法布里-珀罗干涉仪的调整精度和调整速度，在应用法布里-珀罗干涉仪的精密测量系统装调中有实用价值。
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公开(公告)号：CN103671471B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310591327.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种带锁紧功能的球形万向节，属于纳米级测量技术领域。本发明包括固定座、可变形球头、压电陶瓷微位移驱动器、半球形盖板、输出杆和驱动器控制系统；可变形球头的驱动器安装孔内安装压电陶瓷微位移驱动器，且使压电陶瓷微位移驱动器的运动方向与可变形球头的变形方向一致，可变形球头安装在固定座和半球形盖板组成球形空腔内；输出杆的后端穿过半球形盖板与可变形球头的螺纹孔螺纹连接；驱动器控制系统的数据线穿过输出杆中心的数据线通过孔与可变形球头上固定的压电陶瓷微位移驱动器线路连接。本发明的球形万向节既实现了两连接件的万向连接，又能够实现在特定角度的工作姿态锁定。
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公开(公告)号：CN102176139B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201110058421.6
申请日：2011-03-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明涉及一种多轴同步运行控制系统，属于几何量计量技术领域。包括光电角度编码器信号处理电路、限位零位信号接收电路、数字信号处理器、USB通信接口电路、控制输出继电器和控制输出电路，其外围设备为多轴支撑的一维变姿态精密运动平台。本发明的一种多轴同步运动控制系统，通过与一维变姿态精密运动平台配合，实现了工作台的高精度、大范围运行，并能够根据指令调整工作台的空间姿态，使运动平台具有几十毫米的平动范围、纳米级的运动分辨率、并具有空间滚动姿态调整功能，具备秒级的姿态调整精度；本发明可以控制一维变姿态精密运动平台恢复到一个事先设定的“零姿态”；解决了上电过程中控制输出电路的输出失控问题。
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公开(公告)号：CN102230825A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110053561.4
申请日：2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种应用相位偏移干涉技术的姿态修正系统，属于精密测量及修正技术领域。由X轴平面相位偏移干涉仪、Y轴平面相位偏移干涉仪、姿态调整机构、测量角镜和控制系统组成；X轴平面相位偏移干涉仪和Y轴平面相位偏移干涉仪通过测量角镜绕直角坐标系X、Y、Z三轴的角度变化来获取被测运动系统的姿态变化，并将三个角度变化值变为电压信号送入控制系统，控制系统对三个角度变化值进行坐标变换计算并按照计算结果控制姿态调整机构动作，实现对被测运动系统的姿态修正。本发明结构简单，操作方便，成本低，测量及控制精度高，采用两台平面相位偏移干涉仪即可同时测量三个坐标轴的转角变化值，并能够实现姿态修正。
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公开(公告)号：CN102122901A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN201110053525.8
申请日：2011-03-07
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明涉及一种基于仿生原理的精密运动驱动装置，属于几何量计量技术领域。由前吸盘、前压电陶瓷微位移驱动元件、运动输出支点、后压电陶瓷微位移驱动元件、后吸盘组成，其外围设备为固定驱动装置用的铁质软磁导磁平板；通过协调前吸盘和后吸盘的吸附动作，以及前压电陶瓷微位移驱动元件和后压电陶瓷微位移驱动元件的伸缩动作，推动运动输出支点实现大运动范围内的纳米级精确定位驱动。本发明结构简单，发热量低，运动过程无顿挫；具有高运动分辨率和大运动范围，其运动范围只受铁质软磁导磁平板尺寸的限制；可以实现精确运动，适用于需要进行低速运行的场合。
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