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公开(公告)号：CN116880006A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310821169.2
申请日：2023-07-05
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于泄露波超表面的片上光力器件，包括：基底层；波导层，设于基底层上，用于传输光；超表面层，设于波导层上；超表面层包括至少一个纳米柱单元结构阵列，用于通过调整纳米柱单元结构阵列中的各个纳米柱单元结构的旋转角度，聚焦从波导层泄露的光。该超表面层结构简单，实现了直接从芯片上到自由空间发射的功能，并产生了高数值孔径聚焦光束，解决了传统物镜体积大及重量重等问题，具有更低成本、更易于集成化与小型化的优势。该方法还提供了一种调控方法，实现的聚焦光束的单独聚焦或多束聚焦光束聚焦于同一点。
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