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公开(公告)号：CN111500989A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010331005.8
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种耐磨耐蚀防护薄膜及其制备方法和应用，属于防护材料领域。本发明提供的耐磨耐蚀防护薄膜具有多层结构，由基体表面至薄膜表面依次为金属Ta层、金属Ta与TaO2混合过渡层和TaO2层；所述耐磨耐蚀防护薄膜的制备方法包括以下步骤：在基体表面采用离子镀方法沉积金属Ta，在基体表面形成金属Ta薄膜；采用原子氧束流辐照所述金属Ta薄膜，在基体表面原位形成耐磨耐蚀防护薄膜；所述原子氧束流能量为0.1～2eV，辐照时间为30～120min。本发明提供的制备方法简单，容易操作，制备得到的耐磨耐蚀防护薄膜对钛基材料具有较好的防护性能。
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公开(公告)号：CN111411339B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010322844.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/06 , C23C14/50 , C23C14/34 , C23C14/02 , C23C16/50 , C23C16/26 , C23C28/00 , F16H55/06 , F16H57/04 , F16C33/64 , F16C33/66
Abstract: 本发明提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法，涉及减速器的润滑技术领域。本发明提供的固体润滑方法，包括以下步骤：利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层；利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C‑WC复合薄膜层；利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层。本发明提供的固体润滑方法，使杯型谐波齿轮减速器在大气环境、真空环境和高低温环境条件下具有低摩擦扭矩，且其传动特性对环境温度不敏感，适应性强。
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公开(公告)号：CN111411339A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010322844.3
申请日：2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/06 , C23C14/50 , C23C14/34 , C23C14/02 , C23C16/50 , C23C16/26 , C23C28/00 , F16H55/06 , F16H57/04 , F16C33/64 , F16C33/66
Abstract: 本发明提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法，涉及减速器的润滑技术领域。本发明提供的固体润滑方法，包括以下步骤：利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层；利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C-WC复合薄膜层；利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层。本发明提供的固体润滑方法，使杯型谐波齿轮减速器在大气环境、真空环境和高低温环境条件下具有低摩擦扭矩，且其传动特性对环境温度不敏感，适应性强。
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公开(公告)号：CN110231241A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201810177837.1
申请日：2018-03-05
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明公开了润滑薄膜摩擦学性能自动评价装置，该装置由摩擦试验机、摩擦力测试、真空系统、伺服电机及电器控制构成。本发明是将高真空或大气、氮气、氦气等环境和装有伺服电机系统的摩擦试验机跟预先设定好启停逻辑关系的仪表以及继电器开关控制电路优化集成而成；本发明能够在高真空或大气、氮气、氦气等环境下对润滑薄膜的摩擦力、摩擦系数、摩损寿命等实现自动评价的试验装置，同时也可在手动控制下实现评价试验。
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公开(公告)号：CN106119776A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610815941.X
申请日：2016-09-12
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/022 , C23C14/0623 , C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法，具体步骤为：1)采用超声清洗法清洗基片；2)用氩离子溅射清洗基片；3)采用中频磁控溅射技术沉积表面具有纳米锥状阵列结构的CrN层；4)通过射频磁控溅射技术沉积WS2润滑薄膜层。本发明所述薄膜结构致密，与基底材料的结合牢固，纳米锥状阵列结构的CrN提供良好的支撑和保存WS2润滑膜的作用，整体薄膜呈现出明显改善的摩擦学性能，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118048614A
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202410206390.1
申请日：2024-02-26
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及空间润滑技术领域，提供了一种空间超低摩擦W‑S‑C‑N润滑薄膜及其制备方法和应用。本发明先对基体进行离子轰击，然后采用WS2靶材和WC靶材，以氩气和氮气的混合气体为工作气体，通过磁控溅射法将N、C元素引入WS2基薄膜中，得到空间超低摩擦W‑S‑C‑N润滑薄膜。本发明制备的W‑S‑C‑N润滑薄膜具有非晶致密结构，真空摩擦学性能优异，在摩擦过程中会在摩擦对偶表面诱导形成具有良好结晶性、且(002)基面平行于对偶基体的有序WS2基转移膜，具有超低摩擦系数和低磨损率。实施例结果表明，本发明制备的W‑S‑C‑N润滑薄膜真空摩擦系数约为0.01，润滑寿命高于5.0×105r。
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公开(公告)号：CN118028741A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410188142.9
申请日：2024-02-20
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明属于二维材料制备技术领域，具体涉及一种过渡金属硫化物二维材料的制备方法。本发明提供的制备方法包括：以过渡金属硫化物为靶材，以聚硅氧烷材料为衬底，进行物理气相沉积，得到聚硅氧烷材料‑过渡金属硫化物复合材料；所述聚硅氧烷材料‑过渡金属硫化物复合材料包括聚硅氧烷材料和负载于聚硅氧烷材料表面的过渡金属硫化物二维材料薄膜；所述聚硅氧烷材料包括甲基硅油、乙基硅油和苯基硅油中的一种或几种；利用四氯化碳溶解聚硅氧烷材料‑过渡金属硫化物复合材料中的聚硅氧烷材料，得到所述过渡金属硫化物二维材料。本发明以液态的聚硅氧烷材料为基底负载过渡金属硫化物，突破了以往二维材料尺寸细小的缺点，并可自由控制二维材料的厚度。
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公开(公告)号：CN111500989B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202010331005.8
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种耐磨耐蚀防护薄膜及其制备方法和应用，属于防护材料领域。本发明提供的耐磨耐蚀防护薄膜具有多层结构，由基体表面至薄膜表面依次为金属Ta层、金属Ta与TaO2混合过渡层和TaO2层；所述耐磨耐蚀防护薄膜的制备方法包括以下步骤：在基体表面采用离子镀方法沉积金属Ta，在基体表面形成金属Ta薄膜；采用原子氧束流辐照所述金属Ta薄膜，在基体表面原位形成耐磨耐蚀防护薄膜；所述原子氧束流能量为0.1～2eV，辐照时间为30～120min。本发明提供的制备方法简单，容易操作，制备得到的耐磨耐蚀防护薄膜对钛基材料具有较好的防护性能。
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公开(公告)号：CN111471971B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202010322089.9
申请日：2020-04-22
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固‑液复合润滑方法，涉及减速器的润滑技术领域。本发明提供的固‑液复合润滑方法，包括以下步骤：利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮、柔轮、柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积过渡层；所述过渡层由内至外依次包括Cr薄膜层和WC薄膜层；利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C‑WC复合薄膜层；依次将全氟聚醚润滑油和全氟聚醚润滑脂涂覆在所述C‑WC复合薄膜层表面。本发明提供的固‑液复合润滑方法有效解决全氟聚醚润滑油脂在摩擦时因摩擦化学反应而导致其降解的技术问题，延长杯型谐波齿轮减速器在真空环境条件下的润滑寿命。
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公开(公告)号：CN111441016B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202010331093.1
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种耐腐蚀防护薄膜及其制备方法和应用，属于防护材料领域。本发明提供的耐腐蚀防护薄膜为多层结构，由基体表面至薄膜表面依次为金属M层、金属M与M2O5混合过渡层和M2O5层；所述M为V、Nb或Ta；所述耐腐蚀防护薄膜的制备方法，包括以下步骤：在基体表面采用离子镀方法沉积金属M，在基体表面形成金属薄膜；所述M为金属钒、铌或钽；采用原子氧束流辐照所述金属薄膜，在基体表面原位形成耐腐蚀防护薄膜；所述原子氧束流能量为4～10eV，辐照时间为60～180min。本发明提供的制备方法简单，容易操作，且制备得到的防护薄膜能够有效提高基体的抗腐蚀性能。
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