公开(公告)号：CN103422071A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201210155362.9

申请日：2012-05-18

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 杨义勇 ,  刘伟峰 ,  程嘉 ,  季林红 ,  肖志杰

IPC: C23C16/455

Abstract: 一种可快速更换匀气方式的真空腔室，是一包括腔筒、上盖（20）和下盖的腔体，在上盖（20）上设进气喷嘴（10），进气喷嘴连通一其下方的第一腔体构成第一布气室（160），第一布气室外壁与真空腔体内壁间构成第二布气室（170），在第一布气室腔体壁上设布气孔连通第一布气室和第二布气室；第二布气室腔体壁上设出气口，其上连设真空泵的管路；构成第一布气室的第一腔体与腔体间构成可拆连接结构，腔体上设若干连接结构与不同规格的第一布气室上的连接结构连接，构成可拆连接结构。本发明可检测不同进气方式下腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究集成电路制造过程中气流参数对工艺的影响规律，并可显著提高IC装备腔室布气部件优化设计的可信度。

公开(公告)号：CN106442325A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610958577.2

申请日：2016-10-28

Applicant: 中国地质大学(北京)

Inventor： 刘伟峰 ,  杨义勇

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/73

Abstract: 本发明提供了一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统，其包括：入射光纤；切尼-特纳光路结构，其设置在所述入射光纤的下游；面阵光纤，所述面阵光纤包括入射端和出射端，所述入射端连接所述切尼-特纳光路结构的输出端；光电倍增管阵列，所述光电倍增管阵列由多个光电倍增管单元组成，其中每个所述光电倍增管单元用于接收所述面阵光纤的出射端的一束光纤束的输出；放大器，所述放大器用于放大所述光电倍增管阵列输出的电信号；计数器，所述计数器电连接到所述放大器，用于将所述放大器传输进来的电信号转换成光子个数进行计数。本发明的光谱检测系统具有空间分辨率高、光电倍增管的使用效率高、成本低等优点。