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公开(公告)号：CN108470705A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810205696.X
申请日：2018-03-13
Applicant: 中南大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种应用于光电子封装的平面运动平台，包括：载物台、第一解耦装置、第一驱动装置、第二解耦装置和第二驱动装置；第一解耦装置的顶部和第二解耦装置的顶部均与载物台的底部连接，第一解耦装置的底部与第一驱动装置的顶部连接，第二解耦装置的底部与第二驱动装置的顶部连接。本发明通过第一驱动装置驱动第一解耦装置以使第一解耦装置带动载物台沿第一方向运动，第二驱动装置驱动第二解耦装置以使第二解耦装置带动载物台沿第二方向运动，无需将一个方向的运动构件搭载于另一方向的运动构件上，从而避免增加另一方向对应直线电机的负载，使得另一方向对应直线电机的运动速度、加速度和启停精度不会受到影响。
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