公开(公告)号：CN203606384U

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201320699591.7

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  杜康 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  刘俊

IPC: G01P15/12

Abstract: 本实用新型公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本实用新型的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。

公开(公告)号：CN203606385U

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201320697910.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  王琪 ,  白晓晓 ,  王增跃 ,  刘俊

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本实用新型的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。