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公开(公告)号：CN105842198B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201610398747.6
申请日：2016-06-08
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法，该传感器包括单模光纤、石英连接管和石英毛细管，光纤一端插入石英连接管一端，石英毛细管的一端插入石英连接管另一端，光纤和石英毛细管之间形成法珀腔气室；光纤与石英连接管一端通过熔接点熔接，石英连接管另一端通过熔接点与石英毛细管熔接；所述石英毛细管的内径小于光纤的纤芯直径。本发明通过温度补偿，降低了光纤珐珀气体折射率传感器的温度漂移，使传感器可以应用于高温环境下的折射率测试；信号耦合情况好，灵敏度高；所得光纤珐珀气体折射率传感器采用全石英结构，具有良好的耐高温性能，适于高温环境下应用。
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公开(公告)号：CN105865614B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201610411785.0
申请日：2016-06-14
Abstract: 本发明公开了一种新型光纤珐珀超声水听器及其制作方法，该水听器可以用于测量高强度聚焦声场，包括光纤和熔接在光纤端部的石英毛细管，所述石英毛细管端面和石英毛细管正对的光纤的端面均镀有高反膜，石英毛细管外径与单模光纤外径相同，内径小于单模光纤纤芯直径；若使用的石英毛细管内径大于光纤纤芯直径，可以适当增大熔接强度，使石英毛细管前端塌陷至内径小于光纤纤芯直径。本发明所得的新型光纤珐珀超声水听器具有结构简单，干涉信号强，强度高、空间分辨率高，灵敏度高等优点，且能够承受HIFU声场的高声压、高温。
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公开(公告)号：CN105842198A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610398747.6
申请日：2016-06-08
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种温度自补偿的光纤珐珀气体折射率传感器及其制作方法，该传感器包括单模光纤、石英连接管和石英毛细管，光纤一端插入石英连接管一端，石英毛细管的一端插入石英连接管另一端，光纤和石英毛细管之间形成法珀腔气室；光纤与石英连接管一端通过熔接点熔接，石英连接管另一端通过熔接点与石英毛细管熔接；所述石英毛细管的内径小于光纤的纤芯直径。本发明通过温度补偿，降低了光纤珐珀气体折射率传感器的温度漂移，使传感器可以应用于高温环境下的折射率测试；信号耦合情况好，灵敏度高；所得光纤珐珀气体折射率传感器采用全石英结构，具有良好的耐高温性能，适于高温环境下应用。
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公开(公告)号：CN105355024A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510861223.1
申请日：2015-12-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种恶劣环境物理参量的有线提取方法及装置，该装置包括处在恶劣环境下的物理参量敏感单元，同时处在恶劣环境与普通环境中信号传输单元，处在普通环境中的信号读取单元，所述物理参量单元通过信号传输单元与信号读取单元连接，恶劣环境为温度大于150℃以上的高温环境；普通环境即我们生活的常温常压环境。本发明使用有线方式提取恶劣环境的物理参量，彻底摈弃了恶劣环境物理参量无线无源传感方式，规避了无线传输方式中无线信号被环境吸收、反射等的衰减问题和被环境噪声掩盖问题；有线方式可以对物理参量敏感单元中损耗的能量进行补充，从而避免无线无源传感器工作性能依赖于敏感单元Q值的缺陷。
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公开(公告)号：CN103293337B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310179514.3
申请日：2013-05-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种无线无源电容式加速度计，其包括内设封闭空腔的衬底，质量块通过悬臂梁固定在封闭空腔内；封闭空腔内位于质量块上方的位置设有第一电容、位于质量块下方的位置设有第二电容；衬底的底面上设有平面螺旋电感；衬底和质量块上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线，电连线将第一电容、第二电容和平面螺旋电感串联成闭合回路。本发明传感器设计巧妙，结构简单，灵敏度高，测试结果准确，无线无源，可以在恶劣环境中使用，而且测量时采用非接触式测量，大大的扩宽了该传感器的适用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112197893A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010908776.9
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法。其中，测量力学参数的光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其插入于第一管体，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其插入于第二管体，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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公开(公告)号：CN105953958B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610550743.5
申请日：2016-07-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了两种新型全石英光纤珐珀压力传感器，包括光纤、石英球壳、连接在石英球壳尾部的中空石英管组成；其中一种结构为光纤插入中空石英管并伸至石英球壳内，中空石英管与光纤熔接在一起，使珐珀腔密闭；另一种结构是光纤、中空石英管外分别熔接石英套管，两个石英套管外再共同熔接大石英套管，光纤一端面及石英球壳都位于大石英套管内且相对而置。两种传感器的工作原理都为当外部压力作用于石英球壳上时，引起珐珀腔腔长改变，干涉信号随之发生变化。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器；信号耦合情况好，灵敏度高；全石英结构耐高温性能良好，温度系数小，适于高温环境下应用。
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公开(公告)号：CN105606276B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201510983917.2
申请日：2015-12-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明为一种MEMS光纤微弯压力传感器及其制备方法，其包括两片带有齿槽和光纤安置槽的单晶硅片，两单晶硅片之间的光纤安置槽内安置有光纤，光纤上被齿槽覆盖的部分进行拉锥处理，齿槽与光纤之间形成密闭腔体。当有外界压力作用于硅片时，硅片受压变形使齿纹压迫拉锥光纤产生弯曲，从而产生光纤微弯损耗，利用光电探测器读出输入输出光强的变化，即可反映外界压力。本发明MEMS光纤微弯压力传感器具有解调系统简单、灵敏度高、耐高温性能好、适合批量生产、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN107941390A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711114757.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种光纤法珀传感器及其制造方法。其中，光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有沿着轴线方向依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其沿着轴线方向设置在第一管体内，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其沿着轴线方向设置在第二管体内，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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公开(公告)号：CN105953958A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610550743.5
申请日：2016-07-13
Applicant: 中北大学
CPC classification number: G01L1/242 , G01L11/025
Abstract: 本发明公开了两种新型全石英光纤珐珀压力传感器，包括光纤、石英球壳、连接在石英球壳尾部的中空石英管组成；其中一种结构为光纤插入中空石英管并伸至石英球壳内，中空石英管与光纤熔接在一起，使珐珀腔密闭；另一种结构是光纤、中空石英管外分别熔接石英套管，两个石英套管外再共同熔接大石英套管，光纤一端面及石英球壳都位于大石英套管内且相对而置。两种传感器的工作原理都为当外部压力作用于石英球壳上时，引起珐珀腔腔长改变，干涉信号随之发生变化。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器；信号耦合情况好，灵敏度高；全石英结构耐高温性能良好，温度系数小，适于高温环境下应用。
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