公开(公告)号：CN101788605A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN201010103655.3

申请日：2010-02-01

Applicant: 东南大学

Inventor： 廖小平 ,  王德波 ,  易真翔

IPC: G01R23/02 ,  G01R23/06 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 无线接收式微电子机械微波频率检测系统及其制备方法是一种结构非常简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成的微电子机械微波频率检测系统及其制备方法，该微电子机械微波频率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有微波天线(A)、一分三功分器(B)、共面波导传输线(C)、二合一功合器(D)、MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器(E)和MEMS热电式微波功率传感器(F)：然后根据余弦定理就可以确定信号3在经过λ/2长度的共面波导传输线后和信号2的相位差。由于相位差与信号的频率是一一对应的，所以信号的频率也就可以测量出来。

公开(公告)号：CN202362361U

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201120456361.9

申请日：2011-11-17

Applicant: 东南大学

Inventor： 廖小平 ,  刘彤 ,  王德波

IPC: G01R21/02 ,  B81B7/00

Abstract: 基于微电子机械导热介质填充终端式微波功率传感器，是一种结构简单，操作容易，体积小，工艺容易且便于集成的微波传感器。该传感器以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线1，氮化钽（TaN）电阻2，导热绝缘介质层(BN)3，热电堆4，压焊块5：微波功率传感器通过共面波导传输线输入微波功率信号，终端电阻氮化钽吸收微波功率并转化为热，导热绝缘介质层把热量以热流形式传导给热电堆，然后通过热电堆的Seebeck即热电转化效应，产生直流电压，并从压焊块输出。从而可以检测出输入的微波功率。

公开(公告)号：CN201497775U

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200920235877.3

申请日：2009-09-25

Applicant: 东南大学

Inventor： 廖小平 ,  王德波

IPC: G01R21/02 ,  B81B7/02

Abstract: 微波功率检测装置是一种利用完全相同的功率传感器在同时检测直流功率与微波功率时，微电子机械微波损耗补偿式微波功率检测装置，该装置包括三个完全相同的功率传感器并辅以功率分配器(16)、差分放大器(17)、自动增益控制器(18)；三个完全相同的功率传感器为第一功率传感器(a)、第二功率传感器(b)、第三功率传感器(c)；功率分配器输入端(7)接待测微波功率，功率分配器第一输出端(8)接第二功率传感器(b)的共面波导传输线(1)上，功率分配器第二输出端(9)接第三功率传感器(c)的共面波导传输线(1)上，与第一待测微波功率P1和第二待测微波功率P2幅值相同的直流功率接到第一功率传感器(a)的共面波导传输线(1)上。