一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置

    公开(公告)号:CN206132803U

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201621166335.1

    申请日:2016-10-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置,包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点,顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本实用新型采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测,具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小,测量带宽大等优点,提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。

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