公开(公告)号：CN111693408B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202010407638.2

申请日：2020-05-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 杨波 ,  陈新茹 ,  姜永昌 ,  郑翔

IPC: G01N15/00

Abstract: 本发明公开了一种基于线圈微操控结构的磁性纳米颗粒操控装置，由顶层带电极板结构、磁阻传感器、中间磁性纳米粒子和底层线圈微通道结构构成；磁阻传感器位于顶层带电极板下表面中心位置，底层线圈微通道位于顶层带电极板正下方且与顶层带电极板平行，中间的磁性纳米粒子位于顶层带电极板正下方，同时位于底层线圈微通道的正上方区域；由于通电底层线圈微通道结构的操纵，磁性纳米粒子得以被控制在顶层带电极板和磁阻传感器的正下方，进而通过顶层带电极板对磁性纳米粒子产生静电力使其向上悬浮。本发明降低了顶层带电极板对磁性纳米粒子粘附性。

公开(公告)号：CN111693408A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010407638.2

申请日：2020-05-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 杨波 ,  陈新茹 ,  姜永昌 ,  郑翔

IPC: G01N15/00

Abstract: 本发明公开了一种基于线圈微操控结构的磁性纳米颗粒操控装置，由顶层带电极板结构、磁阻传感器、中间磁性纳米粒子和底层线圈微通道结构构成；磁阻传感器位于顶层带电极板下表面中心位置，底层线圈微通道位于顶层带电极板正下方且与顶层带电极板平行，中间的磁性纳米粒子位于顶层带电极板正下方，同时位于底层线圈微通道的正上方区域；由于通电底层线圈微通道结构的操纵，磁性纳米粒子得以被控制在顶层带电极板和磁阻传感器的正下方，进而通过顶层带电极板对磁性纳米粒子产生静电力使其向上悬浮。本发明降低了顶层带电极板对磁性纳米粒子粘附性。

公开(公告)号：CN111521170A

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN202010443077.1

申请日：2020-05-22

Applicant: 东南大学

Inventor： 杨波 ,  郭鑫 ,  姜永昌 ,  陈新茹 ,  郑翔

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明公开了的一种驱动振幅放大的主从质量微机械毛发陀螺仪,采用三层结构，具体包括第一层用于增大主质量块质量的铜制立柱毛发，第二层用于敏感科氏力的硅微传感器和第三层用于信号输入输出控制的硼基玻璃绝缘层；所述铜制立柱毛发通过微组装工艺粘合在硅微传感器中心位置，硅微传感器和硼基玻璃绝缘层通过标准的Si‑Glass阳极键合工艺键合在一起，硼基玻璃绝缘层上通过金属溅射工艺布置有Au电极及信号引线；所述第二层硅微传感器具体包括主质量块、从质量块和解耦框；解耦框布置在从质量块的内部并通过第一、二驱动耦合梁与从质量块相连；主质量块布置在解耦框的内部，并通过第一、二检测耦合梁与解耦框相连。