公开(公告)号：CN107119264A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710445375.2

申请日：2017-06-14

Applicant: 东南大学

Inventor： 刘磊 ,  吕俊 ,  黄亚洲 ,  杨俊杰 ,  陈云飞 ,  倪中华

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40 ,  C23C16/06

CPC classification number: C23C16/45529 ,  C23C16/06 ,  C23C16/403

Abstract: 同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺，涉及化学气相沉积技术领域。设备包括反应腔体系统、四条管路系统、真空系统和尾气处理系统，系统之间通过管路密封连接。四种前驱体源置于源瓶中，源瓶与四条管路分别相连。通过四个气动阀调控前驱体源的通入，N2作为源的载气，真空泵系统为设备提供一定真空度，尾气处理处理系统对反应后产物进行处理后排放；通入Al(CH3)3、H2O源，ALD沉积复合材料的Al2O3层，通入Ir金属化合物、O2源，ALD沉积复合材料的Ir层，将Ir化合物源通入反应腔内高温分解，CVD沉积Ir层。按照复合涂层工艺方案沉积，得到耐高温抗氧化、高粘附力、抗热震的Re基Ir‑Al2O3复合涂层材料。在航空航天、能源动力以及国防等领域具有广泛的应用。