一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法

    公开(公告)号:CN114607598A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202011445831.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域,具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法,转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化,且变化趋势为一个连续函数,并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种,转子的最大形状系数为理论最大值Cmax,转子腰部为凹部A,转子外侧为顶部B,且两个转子配合时,其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化,并形成大形状系数段和小形状系数段,其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值,因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高,而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板,对整个转子起到加强作用。

    一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置

    公开(公告)号:CN119914515A

    公开(公告)日:2025-05-02

    申请号:CN202411785775.4

    申请日:2024-12-06

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及真空干泵间隙流量技术领域,具体涉及一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置,包括测试主体、测试转子和驱动组件。测试主体包括下壳体和端盖,端盖能够扣合于容纳腔室上并通过连接件可拆卸连接。端盖的底部具有延伸部,延伸部与测试转子之间形成间隙。驱动组件位于测试主体的外部,且驱动组件能够与测试转子相连。通过该装置模拟真空干泵间隙的泄漏气体量,可以得到气体的泄漏规律,指导真空干泵的设计,以提高真空干泵的抽气性能和可靠性。

    一种螺杆真空干泵转子的设计方法

    公开(公告)号:CN114607603B

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202011445863.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本发明涉及真空泵领域,具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法,转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段,并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙,转子设计方法包括如下步骤:步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线;步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理,形成平直段ef;步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构;步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构;步骤五、调整平直段ef的长度,进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态,降低转子泄露,且间隙设计可调。

    一种新型多级罗茨真空泵
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114607600A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202011447705.X

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本发明涉及真空技术领域,具体地说是一种新型多级罗茨真空泵,包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴,其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动,主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子,从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子,且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合,主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合,主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合,壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔,且各个螺杆转子设于第一泵腔中,各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中,第一泵腔设有排气口,第二泵腔设有进气口,隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速,且运行平稳。

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