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公开(公告)号:CN114607598A
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202011445831.1
申请日:2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空罗茨泵领域,具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法,转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化,且变化趋势为一个连续函数,并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种,转子的最大形状系数为理论最大值Cmax,转子腰部为凹部A,转子外侧为顶部B,且两个转子配合时,其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化,并形成大形状系数段和小形状系数段,其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值,因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高,而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板,对整个转子起到加强作用。
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公开(公告)号:CN119914515A
公开(公告)日:2025-05-02
申请号:CN202411785775.4
申请日:2024-12-06
Applicant: 东北大学
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵间隙流量技术领域,具体涉及一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置,包括测试主体、测试转子和驱动组件。测试主体包括下壳体和端盖,端盖能够扣合于容纳腔室上并通过连接件可拆卸连接。端盖的底部具有延伸部,延伸部与测试转子之间形成间隙。驱动组件位于测试主体的外部,且驱动组件能够与测试转子相连。通过该装置模拟真空干泵间隙的泄漏气体量,可以得到气体的泄漏规律,指导真空干泵的设计,以提高真空干泵的抽气性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN114607603B
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202011445863.1
申请日:2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域,具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法,转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段,并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙,转子设计方法包括如下步骤:步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线;步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理,形成平直段ef;步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构;步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构;步骤五、调整平直段ef的长度,进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态,降低转子泄露,且间隙设计可调。
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公开(公告)号:CN114593049B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202011411188.0
申请日:2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空无油螺杆泵技术领域,特别涉及一种一体式内螺旋空心螺杆转子。包括转轴及设置于转轴上的螺旋叶片;转轴上沿轴线方向设有中心孔;螺旋叶片为中空结构,并且通过转轴表面螺旋槽与中心孔连通;转轴的中心孔及螺旋叶片的中空结构整体满足任意截面的静平衡且质心均位于转轴的中心轴线上,通过封闭端面的非均匀设计使螺杆转子整体在静平衡的基础上满足动平衡要求。本发明因内螺旋空心结构,质量更轻、能耗更低、动平衡性能更高、抗振能力更强、噪声更小;因内螺旋空心结构可通入介质气体,具有良好的散热性能、减少了转子的热变形、增强了的抗疲劳强度及使用寿命。
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公开(公告)号:CN114607600A
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202011447705.X
申请日:2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域,具体地说是一种新型多级罗茨真空泵,包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴,其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动,主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子,从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子,且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合,主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合,主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合,壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔,且各个螺杆转子设于第一泵腔中,各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中,第一泵腔设有排气口,第二泵腔设有进气口,隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速,且运行平稳。
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公开(公告)号:CN114593052A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202011412108.3
申请日:2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空干泵技术领域,具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法,转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧,其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心,切圆圆弧设于转子叶顶部,且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆,以转子顶部面密封来代替原先的线密封,从而大大降低了压缩气体的反流率,提高了转子的极限压力与压缩比,同时降低了转子型线干涉的几率,避免了转子卡死。
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公开(公告)号:CN114593049A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202011411188.0
申请日:2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空无油螺杆泵技术领域,特别涉及一种一体式内螺旋空心螺杆转子。包括转轴及设置于转轴上的螺旋叶片;转轴上沿轴线方向设有中心孔;螺旋叶片为中空结构,并且通过转轴表面螺旋槽与中心孔连通;转轴的中心孔及螺旋叶片的中空结构整体满足任意截面的静平衡且质心均位于转轴的中心轴线上,通过封闭端面的非均匀设计使螺杆转子整体在静平衡的基础上满足动平衡要求。本发明因内螺旋空心结构,质量更轻、能耗更低、动平衡性能更高、抗振能力更强、噪声更小;因内螺旋空心结构可通入介质气体,具有良好的散热性能、减少了转子的热变形、增强了的抗疲劳强度及使用寿命。
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