-
公开(公告)号：CN117053732A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311062779.5
申请日：2023-08-21
Applicant: 东北大学
IPC: G01B17/02
Abstract: 一种环绕式滤饼厚度测量装置，包括环形轨道、滑车平台及超声波测距仪；环形轨道同轴固定套装在过滤器壳体外部，滑车平台设置在环形轨道上，滑车平台可沿环形轨道进行自由移动；超声波测距仪安装在滑车平台上，超声波测距仪的测量端朝向过滤器壳体，过滤器滤芯处于超声波测距仪的测量范围内。本发明采用超声波测距方式实现滤饼厚度直接测量，测量设备整体布设在过滤器外部，避免测量设备对滤饼周围流体运动产生影响，保证滤饼生长过程不受干扰，测量设备远离浑浊潮湿且温度有波动的环境，提高使用寿命；测量设备可环绕过滤器移动，可实现对任意滤芯上的滤饼厚度进行测量，可以从全局层面了解滤饼厚度情况，保证了滤饼清除的及时性，提高过滤效果。
-
公开(公告)号：CN109360780B
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811522318.0
申请日：2018-12-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小；本发明可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率，且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110246746A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910635148.5
申请日：2019-07-15
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种三极溅射离子泵，属于真空获得设备技术领域。所述三极溅射离子泵，包括顶部设置有进气管的壳体、设置在壳体外部的若干块永磁铁、与壳体侧壁连通的M个腔体和N个抽气组件，M＝N，N个所述抽气组件一一设置在腔体内，抽气组件包括阳极筒阵列、若干个阳极针和两块平行设置的阴极板，所述阳极筒阵列设置在两块平行设置的阴极板之间，所述若干个阳极针垂直贯穿阴极板，且阳极针的位置与阳极筒阵列内阳极筒的轴线对应，永磁铁与腔体外壁接触，且永磁铁的位置与邻近的腔体内的阴极板对应。所述三极溅射离子泵，提高了阳离子入射阴极板的角度，以及溅射离子泵在高真空与超高真空条件下的抽速。
-
公开(公告)号：CN109360780A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811522318.0
申请日：2018-12-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小；本发明可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率，且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。
-
公开(公告)号：CN204591706U
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201520244784.2
申请日：2015-04-20
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种带有过渡结构的复合分子泵，在动叶轮与牵引转子衔接处设有过渡结构，过渡结构为短涡轮叶片、盘式牵引结构件或螺旋槽牵引结构件；当过渡结构采用短涡轮叶片或盘式牵引结构件时，牵引转子为光筒，定子内开设螺旋槽，短涡轮叶片或盘式牵引结构件与牵引转子固定连接；在与短涡轮叶片轴向对应的牵引转子上开设有通气倒角；在盘式牵引结构件上开设有型线沟槽，型线沟槽的线型为阿基米德螺线、对数螺线或圆弧线；当过渡结构采用螺旋槽牵引结构件时，定子为光筒，牵引转子上开设有螺旋槽，螺旋槽牵引结构件与牵引转子固定连接，在螺旋槽牵引结构件上开设有辅助过渡螺旋槽，辅助过渡螺旋槽的槽深及槽宽大于牵引转子上螺旋槽的槽深及槽宽。
-
公开(公告)号：CN205260360U
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201521005245.X
申请日：2015-12-07
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构，其包括环向凸台及环向凹槽，环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凸台设置在牵引转子上，环向凹槽设置在定子上；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凸台设置在定子上，环向凹槽设置在牵引转子上；防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置；在轴向方向上，环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度；环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1～5倍。
-
公开(公告)号：CN205908489U
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201620659850.7
申请日：2016-06-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种采用分段式结构牵引级的复合分子泵，其筒式牵引级采用分段式结构，筒式牵引级的相邻段之间设有环向凹槽和环向凸台，环向凹槽与环向凸台彼此正对设置；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凹槽设置在牵引转子上，环向凸台设置在定子上，牵引转子由环向凹槽分隔成若干牵引转子段；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凹槽设置在定子上，环向凸台设置在牵引转子上，定子由环向凹槽分隔成若干定子段；在环向凸台上开设有螺旋槽，环向凸台上的螺旋槽与牵引转子或定子上的螺旋槽具有相反的螺旋方向；在抽气方向上，各个牵引转子段或定子段上、环向凸台上的螺旋槽数量呈递增设置、螺旋槽槽深呈递减设置及螺旋槽槽宽呈递减设置。
-
-
-
-
-
-
Search Results
17
records
(took 0.02 seconds)
