公开(公告)号：CN101959818A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107137.4

申请日：2009-02-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  岩桥康臣 ,  菊川信也

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1461 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。

公开(公告)号：CN1400627A

公开(公告)日：2003-03-05

申请号：CN02127383.9

申请日：2002-07-30

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈田要 ,  菊川信也

IPC: H01L21/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F1/64

Abstract: 薄膜包括具有上端和下端开口部分的箱形薄膜框架，以及与薄膜相粘结的薄膜片，以覆盖薄膜框架的一个开口部分，其中，薄膜框架是采用石英玻璃制成的，所制成的多个通气孔分布在薄膜框架的相对侧壁上，并且通气孔在薄膜框架高度方向上的尺寸约为薄膜框架高度的3/5。