公开(公告)号：CN108389771B

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：CN201810100701.0

申请日：2018-02-01

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山口伸 ,  三森章祥 ,  有田毅彦 ,  村上幸一

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种作为蒸发器的设置于被加工物的载置台的内部的制冷剂的流路，其能够实现制冷剂的压力的均匀性和高的热排出性。在一个实施方式中，冷却台包括第1部分第2部分、第1流路、第2流路和第3流路，静电吸盘设置在第1部分上，第1部分设置在第2部分上，第1流路设置于第1部分内，第2流路设置于第2部分内，第3流路与第1流路和第2流路连接，冷却单元与第1流路和第2流路连接，第1流路沿静电吸盘在第1部分内延伸，第2流路沿静电吸盘在第2部分内延伸，从冷却单元输出的制冷剂，依次过第1流路、第3流路、第2流路输入到冷却单元。

公开(公告)号：CN102191502A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110034760.0

申请日：2011-01-31

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 林大辅 ,  村上幸一

IPC: C23F4/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/00

CPC classification number: B05B1/18 ,  C23C16/00 ,  C23C16/455 ,  C23F1/08

Abstract: 本发明提供气体簇射用构造体和基板处理装置。该构造体将基座板层叠在顶板上而形成，用于呈簇射状向处理气氛供给气体，能不受组装误差的影响而将两板的压接力设定为适当的大小，且能防止固定两者的固定构件与顶板之间的摩擦。从顶板的下表面侧插入螺纹构件而将螺纹构件与基座板螺纹连接，在螺纹构件的头部与顶板之间夹装环状的弹性体，利用弹性体的复原力使顶板与基座板压接。此时，在上述头部和顶板之间形成有间隙。并且在上述头部的外缘侧夹装环状的弹性体的状态下，在该头部覆盖罩。作为另一例，使基座板比顶板的外缘突出，用螺纹构件固定位于顶板外缘部的外侧的环状的夹持构件和基座板的突出部分，且使弹性体介于夹持构件与顶板之间。