公开(公告)号：CN105177525A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510303128.X

申请日：2015-06-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 矢部和雄 ,  清水亮

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/401 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45534

Abstract: 本发明提供一种成膜装置和成膜方法。成膜装置包括：原料气体供给部，向基板供给含有原料的原料气体；气氛气体供给部，供给用于形成具有引起链式分解反应的浓度以上的浓度的臭氧的臭氧气氛的气氛气体；能量供给部，通过向臭氧气氛供给能量来使臭氧强制地分解而产生氧的活性种，利用活性种来使原料氧化而获得氧化物；控制部，输出控制信号，以便多次重复进行包括原料气体的供给、气氛气体的供给及能量供给的循环；缓冲区域，其与真空容器相连接地设置，向其供给非活性气体，以便缓和臭氧的分解所导致的真空容器内的压力上升；划分机构，在向真空容器供给气氛气体时将真空容器与缓冲区域划分开并在产生臭氧的分解时使缓冲区域与真空容器相连通。