公开(公告)号：CN2573509Y

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN02282982.2

申请日：2002-09-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 斋藤孝规 ,  牧谷敏幸 ,  长内长荣 ,  泷泽刚 ,  岛津和久 ,  长谷部一秀 ,  山本博之 ,  斋藤幸正 ,  山贺健一

IPC: C23C16/00

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01L21/67098

Abstract: 本实用新型提供了一种热处理装置，它包括：在上端部形成有开口部的加热炉主体；设置在所述加热炉主体内壁处的加热组件；收装在所述加热炉主体内部处的、由单管构成的反应容器；形成在所述反应容器上部处的排气配管连接部；以及设置在所述排气配管连接部周围位置处的第一温度控制组件。所述排气配管连接部呈弯曲形式。