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公开(公告)号：CN104275278A
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201410299903.4
申请日：2014-06-27
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
CPC classification number: B05C11/00 , B05C5/0254 , B05C11/10
Abstract: 本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。
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公开(公告)号：CN102873052A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210241658.2
申请日：2012-07-12
Abstract: 本发明的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。
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公开(公告)号：CN114423529A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080063588.9
申请日：2020-08-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 提供即使在垫片部件介于涂布器的状态下也能够准确地掌握垫片部件的尺寸的涂布器、涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布器具有狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴形成为喷出涂布液的喷出口在一个方向上延伸的狭缝形状，其中，所述涂布器是使由所述狭缝喷嘴分割的半分割形状的半接头合体而形成的，所述涂布器构成为具有：垫片部件，其形成为固定的厚度，通过介于所述半接头之间，对所述喷出口的涂布方向上的狭缝宽度进行调节；以及垫片检测部，其检测介于所述半接头之间的所述垫片部件的尺寸。
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公开(公告)号：CN109311047A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780037579.0
申请日：2017-05-24
Applicant: 东丽工程株式会社
IPC: B05C5/02
Abstract: 提供涂布器，其具有：提供口，其提供涂布液；缝，其喷出涂布液，形成为在一个方向上较长；多个歧管，它们至少包含与所述提供口连接的上游侧歧管以及与所述缝连接的下游侧歧管，形成为在所述一个方向上较长；以及节流流路，其在所述一个方向上较长，将相邻的所述歧管之间连接起来，所述提供口与所述上游侧歧管在所述一个方向的中央连接，关于所述上游侧歧管的与所述一个方向垂直的截面上的截面积，所述一个方向的端部处的该截面积小于该一个方向的中央部处的该截面积，在将所述上游侧歧管与该上游侧歧管的相邻的所述歧管之间连接起来的所述节流流路中，所述端部处的流路长度大于等于所述中央部处的流路长度。
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公开(公告)号：CN104275278B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201410299903.4
申请日：2014-06-27
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
Abstract: 本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102873052B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210241658.2
申请日：2012-07-12
Abstract: 本发明的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。
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公开(公告)号：CN105413957A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510593961.2
申请日：2015-09-17
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 涂布器、涂布装置和涂布方法。提供一种涂布器，能够迅速地将积存在涂布器内的气泡排出到外部。本发明的涂布器具有：第1供给口(31)，其供给涂布液；第1歧管(11)，其与第1供给口(31)连接；喷出缝(22)，其喷出涂布液；第2歧管(12)，其与喷出缝(22)连接；以及连结节流流路(21)，其连结第1歧管(11)和第2歧管(12)，第1歧管(11)连接有将积存在第1歧管(11)内的气泡排出到外部的第1排出口(41)，第2歧管(12)连接有供给涂布液的第2供给口(32)和将积存在第2歧管(12)内的气泡排出到外部的第2排出口(42)。
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公开(公告)号：CN103125012B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180046080.9
申请日：2011-07-29
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
IPC: H01L21/027 , B05C15/00
CPC classification number: C23C16/45557 , G03F7/16 , H01L21/67017 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理系统，即使惰性气体的供给流量产生偏差，也能够稳定地保持腔室内的压力，在初期运行时，通过增加惰性气体的供给流量来能够缩短被惰性气体化所需的时间，为此，该基板处理系统包括：基板处理部，对基板进行规定的处理；腔室，将所述基板处理部以密封状态收纳；气体供给部，向腔室内供给惰性气体；气体排放部，排放腔室内的气体，其中，按照所述腔室内的压力达到比腔室外的压力大的腔室设定压力的方式调节所述气体供给部的惰性气体的供给流量和所述气体排放部的排放流量。
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公开(公告)号：CN104226542A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410204719.7
申请日：2014-05-15
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布器以及涂布装置，能够迅速排出涂布器(3)的上侧歧管(11)和下侧歧管(12)内的空气。所述涂布器包括：流入口(18)，用于流入涂布液；排出细缝(21)，用于排出涂布液，所述排出细缝在一个方向上长长地形成且在与所述一个方向垂直的方向上狭窄地形成。所述涂布器进一步包括：上侧歧管，与流入口连接；下侧歧管，与排出细缝连接；节流流路(22)，连接上侧歧管与下侧歧管的同时在一个方向上长长地形成且在与一个方向垂直的方向上狭窄地形成；排气孔(32)，在包含该节流流路与下侧歧管的境界(40)的区域(A)上开口。
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公开(公告)号：CN103449732A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310182127.5
申请日：2013-05-16
Applicant: 东丽工程株式会社
Inventor： 堀内展雄
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，即使碰撞对象物混过保护部件也能够防止管头部的狭缝喷嘴受损，该装置包括：平台，用于载置基板；涂布单元，相对于在所述平台上载置的基板相对移动的同时从狭缝喷嘴排出涂布液而在基板上形成涂布膜；保护单元，与所述狭缝喷嘴相比设置在靠涂布方向进行一侧上，保护喷嘴不被碰撞对象物损害；其中，所述保护单元包括多个保护部件，所述保护部件具有至少狭缝喷嘴的长尺寸方向尺寸以上的尺寸且呈沿着狭缝喷嘴的形状，在这些保护部件中，在最靠近涂布方向进行一侧配置的前头保护部件和与该前头保护部件相比配置在涂布方向后方一侧的后方保护部件之间，设置有捕捉碰撞对象物的捕捉收纳部。
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