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公开(公告)号：CN118565690B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411027627.6
申请日：2024-07-30
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
Abstract: 本公开涉及一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片及其制造方法。该差分式MEMS光纤差压传感器芯片包括：第一压力敏感结构，第二压力敏感结构，中间敏感层结构，第一光纤准直器对，第二光纤准直器对；中间敏感层结构被设置在第一压力敏感结构的底表面与第二压力敏感结构的底表面之间；中间敏感层结构被设置成分隔第一光纤准直器对与第二光纤准直器对，并且被构造成支撑第一压力敏感结构与第二压力敏感结构并且减小中间敏感层结构的刚度。此外，本公开还提供了一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片的制造方法。本公开所提供的差分式MEMS光纤差压传感器芯片其结构巧妙、可批量化生产，具有探头无源、抗电磁干扰、可远距离传输以及可在恶劣环境下工作等优点。
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公开(公告)号：CN115728512B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202110983827.9
申请日：2021-08-25
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01P15/03
Abstract: 一种光纤加速度传感器及其形成方法，结构包括：敏感结构，敏感结构包括惯性质量块、环绕惯性质量块的第一支撑部以及固定连接第一支撑部和惯性质量块的弹性梁结构，弹性梁结构包括若干第一弹性层和若干第二弹性层，第一弹性层和第二弹性层在第一面的投影不重合；位于第一支撑部第一面上的支撑结构；位于惯性质量块第一面表面的第一反射层；与支撑结构键合的光纤结构，光纤结构包括固定结构以及位于固定结构内的准直扩束光纤，准直扩束光纤位于固定结构的槽内；位于光纤结构表面的第二反射层，第一反射层、第二反射层和准直扩束光纤在垂直于惯性质量块表面的方向上的中轴线与惯性质量块的中轴线重合。所述光纤加速度传感器的性能得到改善。
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公开(公告)号：CN117467226A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311823705.9
申请日：2023-12-28
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 本发明涉及传感检测领域，特别是用于传感薄膜的组合物、传感薄膜、传感器、制备方法及应用，所述组合物包括复合的聚合物和碳纳米管；所述聚合物的阳离子为聚乙烯基苄基3‑甲基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑乙基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑丙基咪唑鎓、聚乙烯基苄基3‑丁基咪唑鎓和聚乙烯基苄基3‑己基咪唑鎓中的至少一种；所述聚合物的阴离子为氯离子、四氟硼酸根离子、六氟磷酸根离子和双三氟甲烷磺酰亚胺根离子中的至少一种；所述碳纳米管为单壁碳纳米管、双壁碳纳米管和多壁碳纳米管中的至少一种。本发明所得组合物、传感薄膜可以提高二氧化硫传感器的耐久性及延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN115560682B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211545084.8
申请日：2022-12-05
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种位移测量装置及其制造方法，包括：左侧固定支座和右侧固定支座，所述的左侧固定支座和右侧固定支座安装于待测目标物表面；以及设置在左侧固定支座与右侧固定支座之间的支撑梁；所述的支撑梁包括左侧支撑梁、右侧支撑梁以及设置在左侧支撑梁和右侧支撑梁之间的顶部支撑梁；所述的左侧支撑梁上设置有悬臂梁，悬臂梁远离左侧支撑梁的端部设置有闪耀光栅芯片；顶部支撑梁的下方设置有准直单元，所述准直单元的入光侧接收光源信号，所述准直单元的出光侧用于将准直后的光源信号输出至所述闪耀光栅芯片。本发明的方案能够捕捉被测物体的微小位移量，实现纳米级到毫米级的位移变化量的测量，具有高灵敏度和高精度特性，适用场景广泛。
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公开(公告)号：CN119461234B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510045540.X
申请日：2025-01-13
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
Abstract: 一种真空微腔干涉仪芯片、制造方法及低漂移光学压力传感器,在第一基底的上表面形成有膜岛结构，所述膜岛结构包括凸出部和环绕所述凸出部的压力敏感薄膜，所述第一基底的下表面沿径向方向依次设置有第一侧壁部、吸气剂腔、第二侧壁部和位于中心的F‑P干涉腔，所述F‑P干涉腔中第一基底的下表面沉积有第一反射面，所述F‑P干涉腔中第二基底的上表面沉积有第二反射面，所述凸出部的表面沉积有第一光学增透膜，所述第一光学增透膜、凸出部、压力敏感薄膜、第一反射面和第二反射面具有相同的中心；还包括通气孔，所述通气孔设置在所述第二侧壁部用于连通所述吸气剂腔和所述F‑P干涉腔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118565690A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411027627.6
申请日：2024-07-30
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司 , 上海拜安半导体有限公司
Abstract: 本公开涉及一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片及其制造方法。该差分式MEMS光纤差压传感器芯片包括：第一压力敏感结构，第二压力敏感结构，中间敏感层结构，第一光纤准直器对，第二光纤准直器对；中间敏感层结构被设置在第一压力敏感结构的底表面与第二压力敏感结构的底表面之间；中间敏感层结构被设置成分隔第一光纤准直器对与第二光纤准直器对，并且被构造成支撑第一压力敏感结构与第二压力敏感结构并且减小中间敏感层结构的刚度。此外，本公开还提供了一种差分式MEMS光纤差压传感器芯片的制造方法。本公开所提供的差分式MEMS光纤差压传感器芯片其结构巧妙、可批量化生产，具有探头无源、抗电磁干扰、可远距离传输以及可在恶劣环境下工作等优点。
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公开(公告)号：CN118149730A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202211545143.1
申请日：2022-12-05
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种角度测量装置及其制造方法，包括：可弯曲基板以及固定于所述可弯曲基板一端的悬臂梁，其中所述的可弯曲基板安装于被测量物体的表面；悬臂梁的自由端设置有闪耀光栅芯片；可弯曲基板的上方靠近悬臂梁自由端的位置设置有准直单元，所述准直单元的入光侧接收光源信号，所述准直单元的出光侧用于将准直后的光源信号输出至所述闪耀光栅芯片，并经所述闪耀光栅芯片反射后被信号接收模块采集以计量被测量物体的角度变化。所述角度测量装置的灵敏度和精度优异，适于在各种复杂和恶劣环境下使用，而且能够在线工作和长期工作。
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公开(公告)号：CN115684089A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211328466.5
申请日：2022-10-27
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 本发明提供了一种光纤湿度传感器及形成方法，包括：湿敏薄膜，用于吸收水分；第一支撑结构，湿敏薄膜位于第一支撑结构的第一面；应变梁，与第一支撑结构连接，应变梁受力能产生形变；第一高反膜，位于第一支撑结构的第二面；第二高反膜，与第一高反膜相对且对准第一高反膜，第一高反膜和第二高反膜之间形成FP腔体，并且第一高反膜和第二高反膜之间的距离为FP腔体的腔长。在本发明中，湿敏薄膜吸收了水分以后内部应力发生变化导致第一支撑结构发生形变，从而改变FP腔体的腔长，导致FP腔输出的干涉光的波长发生改变，通过读取FP腔输出的干涉光的波长可以准确地得知环境湿度。本发明可以在任何恶劣环境下使用，并且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN115684088A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211327582.5
申请日：2022-10-27
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
Abstract: 本发明提供了一种MEMS光纤氢气传感器及形成方法，包括：钯膜，用于吸收氢气；支撑薄膜，包括第一面和第二面以及侧面，钯膜位于支撑薄膜的第一面；形变梁，连接在支撑薄膜的侧面上，受力能产生形变；框架，第一端与形变梁连接；第一反射膜，位于支撑薄膜的第二面；支撑结构，框架的第二端设置在支撑结构的表面；第二反射膜，与第一反射膜相对并且对准第一反射膜，第一反射膜和第二反射膜之间形成FP腔体，并且之间的距离为FP腔体的腔长；检测光纤，用于向FP腔体发射激光，以及接收从FP腔体反射的激光，当接收到的激光的波长发生了变化，通过波长变化可以获得腔长的变化，从而获得钯膜吸收的氢气的量，从而获得环境中氢气的含量。
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公开(公告)号：CN115728511B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202110982224.7
申请日：2021-08-25
Applicant: 上海拜安传感技术有限公司
IPC: G01P15/03
Abstract: 一种敏感结构及敏感结构的形成方法，结构包括：惯性质量块，所述惯性质量块包括相对的第一面和第二面；环绕所述惯性质量块的支撑部；固定连接于所述支撑部和惯性质量块之间的弹性梁结构，所述弹性梁结构包括若干第一弹性层和若干第二弹性层，所述第一弹性层到第一面的距离小于第二弹性层到第一面的距离，所述第一弹性层和第二弹性层在第一面的平行面上的投影不重合。所述敏感结构的性能得到提升。
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