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公开(公告)号:CN119986054A
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202510010730.8
申请日:2025-01-03
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微纳尺度传感及操控的光纤探针结构,属于微纳米制造技术领域、微纳传感及操控领域。光纤探针由包层、导光芯以及导电芯构成,导光芯位于包层的中心位置,探针结构包括:光纤探针包括包层和中央的导光芯,包层中还有导电芯,光纤探针的前端拉锥为传感部,光纤探针后端为作为光、电信号传输的连接部。传感部以及内部的导电芯与导光芯均具有微纳级尖端。连接部的尾端同时与普通光纤以及导线进行连接用于光信号以及电信号的传输。本探针结构简单多变,功能多样;结合原子力显微镜,可以同时获取样品的温度、表面形貌图像、光学图像信息;同时可应用于扫描电化学显微镜、细胞活动状态监测以及微纳操控、薄膜材料特性检测。
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公开(公告)号:CN119738059A
公开(公告)日:2025-04-01
申请号:CN202411902653.9
申请日:2024-12-23
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤腔封装纳米颗粒的传感器稳定性增强结构及制作方法,传感器包括光纤,光纤内部存在一个空腔结构,空腔的内壁上分布有纳米颗粒,空腔结构的直径介于纤芯与包层之,制作方法包括:(1)对光纤末端进行蚀刻以形成凹槽;(2)利用激光辅助吸附或者化学吸附技术将纳米颗粒沉积在凹槽内;(3)采用精密熔接技术将两段光纤的凹槽结构连接,形成稳定的传感装置。封装的纳米颗粒结构在高温环境中不会轻易劣化,适合于长时间高温作业;光纤封装层提供了良好的抗电磁干扰能力,适合复杂电磁环境。
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公开(公告)号:CN119642737A
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202411684300.6
申请日:2024-11-22
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种结合光栅反演技术的三维形状重构系统及传感器制备方法,属于光纤传感技术领域。所述系统包括形状传感器、光栅解调装置以及形状重构装置;若干根光纤光栅串组成的光纤束或多芯光纤贴合在基材外侧,但不完全粘接,仅点约束,构成形状传感器;解调装置实时获取光谱信息;结合光谱反演技术高精度还原三维形状并显示的重构装置。本发明还包含一种形状传感器的制作方法:第一步,制作光纤束或多芯光纤;第二步,光纤束置于粘接在基材侧边空心软管中,只固定一端。本发明解决了光纤光栅形状传感技术中的空间分辨率低的问题,同时形状传感器结构能够在基材弯曲时消除基材外侧的应变,保护光纤。
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公开(公告)号:CN117310211A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202311232354.4
申请日:2023-09-22
Applicant: 上海大学
IPC: G01Q60/58
Abstract: 本发明公开了一种基于近场扫描光纤探针的热反射成像系统,包括由激光器和光纤耦合器构成的探测光源模块;由光纤探针与音叉构成的传感模块;由三维位移台、音叉反馈式原子力控制系统构成的反馈控制模块;由平衡光电探测系统、锁定放大系统构成的噪声抑制模块;由受调制光源构成的泵浦光源模块;该系统使用传感模块结合反馈控制模块对样品进行扫描完成温度成像,使用噪声抑制模块对接收的反射光进行降噪提高热反射信号的信噪比;最后使用泵浦光源模块加热样品结合锁定放大系统,进一步提高信噪比。本发明可以在电子芯片处于工作时,完成对芯片瞬时温度的测量,同时可以测量芯片不同微区的温度。
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公开(公告)号:CN117288684A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311081474.9
申请日:2023-08-25
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压缩感知的锥形光纤单像素成像系统及方法基于压缩感知的锥形光纤单像素成像系统及方法,包括:锥形多模光纤、二维微米移动台、成像模块、信号收集模块和点探测器;锥形多模光纤安装在二维微米移动台上,通过二维微米移动台调节锥形多模光纤的位置,激光光源经过锥形多模光纤传输后出射多模干涉散斑,用于照射并调制样品信息。锥形多模光纤的末端芯径可以控制在微米级,通过减小末端芯径来缩小散斑照明视场进而实现更小尺寸样品的成像并结合压缩感知技术实现计算超分辨成像。该方法的成像极限远高于普通多模光纤的成像极限。
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公开(公告)号:CN116203376A
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202310301356.8
申请日:2023-03-24
Applicant: 上海大学
IPC: G01R31/26 , G01K11/3206
Abstract: 本申请提供了一种芯片结温监测系统和方法,可以对处于工况下的半导体器件进行实时的高速的温度场测量和传感,检测结果具有高空间分辨率。监测系统包括:激光发出端,适于发出激光;参考光栅和探测光栅,布置在激光路径上,探测光栅位于待测芯片上,其中,激光在激光路径上行进后形成检测信号,检测信号携带待测芯片的温度传感信息;色散元件,色散元件的色散值配置为满足将检测信号的频域信息映射到时域上的需求值,且色散元件适于处理检测信号;以及数据处理终端,配置为通过光谱反演算法对经处理温度传感信息进行处理,以得到待测芯片对应的温度曲线。
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公开(公告)号:CN117288985A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311081475.3
申请日:2023-08-25
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于磁性扫描显微镜的磁芯光纤探针及其制备方法,属于扫描探针显微镜技术领域,特别是涉及一种应用于磁性扫描显微镜的磁芯光纤探针及其制备方法。该磁芯光纤探针由二氧化硅包含铁磁性物质构成。探针中的磁性物质是包括铁、钴、镍及其合金,以及它们的氧化物晶体制成的实心体,不需要镀膜,探针通过拉锥和腐蚀相结合的方法制备,可以调整探针针尖,从而调整磁力显微镜的分辨率。将磁芯光纤探针固定在音叉上,组成了音叉反馈磁性扫描显微系统。该系统利用音叉反馈,结合原子力显微镜,实现对样品的磁信息扫描成像。本探针是一个多功能探针可以同时获得样品的磁信息分布图像、表面形貌图像、光学图像,为样品多角度分析提供了技术手段。同时该探针制备工艺简单易操作,成本低且耐磨损使用寿命长。
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公开(公告)号:CN116380280A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202310356171.7
申请日:2023-04-04
Applicant: 上海大学
IPC: G01K11/3206 , G01Q60/24 , G01Q10/00
Abstract: 本申请提供了一种测温传感装置及其适用的微区温场检测系统和方法。测温传感装置包括:微纳米光纤光栅探针,微纳米光纤光栅探针的前端部基于三维打印制备而成,微纳米光纤光栅探针适于测量样品的表面和周围的温度传感信息;音叉传感器,附着在微纳米光纤光栅探针上,音叉传感器适于向微纳米光纤光栅探针输出音叉信号;以及反馈驱动模块,连接音叉传感器并适于解调音叉信号。本发明的测温传感装置及其适用的微区温场检测系统和方法,通过应用三维打印制备而成的微纳米光纤光栅探针进行温度传感测量,实现无损伤式高空间分辨率温度分布成像。
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公开(公告)号:CN101486589A
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200910046493.1
申请日:2009-02-24
Applicant: 上海大学
IPC: C04B37/00
Abstract: 本发明涉及一种致密透氧陶瓷膜的耐高温封接材料的制备方法及其应用;特别是涉及致密透氧陶瓷膜件和其支撑部件间的高温封接材料,以及高温条件下的应用。属特种陶瓷粘结材料技术领域。本发明方法中致密透氧陶瓷膜的耐高温封接材料具有以下的组成及其重量百分比:陶瓷材料基料55~65%,耐热Pyres玻璃粉25~35%,熔剂B2O3或Li2O 4~6%,增润剂NaAlO2或NaSiO34~6%。将上述四种原料按配方称重配料,将混合配合料于高温炉内于1150~1250℃温度下熔烧20~40分钟,使其熔融,然后冷却至室温,取出熔块,将熔块研磨粉碎,即得耐高温的封接材料粉体。本发明方法所制得的封接材料具有很高的封接密封性,高温下不会发生漏气现象,且对致密透氧陶瓷膜具有较好的稳定性。
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公开(公告)号:CN116819128A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202310758504.9
申请日:2023-06-26
Applicant: 上海大学
IPC: G01Q60/24 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G01Q60/38
Abstract: 本发明公开了一种用于优化原子力显微镜快速扫描成像的方法,将快速扫描的低质量结果输入神经网络模型得到与慢速扫描相近的高质量结果,在训练神经网络模型时以快速扫描结果作为输入,与快速扫描图像块中心点位置相同的慢速扫描结果作为输出;模型训练完成后,将快速扫描结果作为输入得到慢速扫描预测值。本发明具有训练数据量小、多维度信息优化、网络结构简单、优化质量高等优点;可用于原子力显微镜样品表面快速成像、加快近场扫描成像速度和优化扫描显微成像质量等。
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