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公开(公告)号:CN1856742A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200480027571.9
申请日:2004-09-17
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/031
CPC classification number: G03F7/029 , C08F2/50 , G03F7/031 , Y10S430/106 , Y10S430/114 , Y10S430/115
Abstract: 本发明涉及提供,尤其是相对于波长400~450nm的光所进行的曝光,感度及分辨率优异,显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件,所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物,(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为,感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物;相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P,感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。上述式(I)中,R1~R8表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)
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公开(公告)号:CN1856742B
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN200480027571.9
申请日:2004-09-17
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/031
CPC classification number: G03F7/029 , C08F2/50 , G03F7/031 , Y10S430/106 , Y10S430/114 , Y10S430/115
Abstract: 本发明涉及提供,尤其是相对于波长400~450nm的光所进行的曝光,感度及分辨率优异,显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件,所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物,(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为,感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物;相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P,感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。下述式(I)中,R1~R8表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)[化1]
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公开(公告)号:CN101000462A
公开(公告)日:2007-07-18
申请号:CN200710001703.6
申请日:2007-01-12
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/48 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C09D4/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明涉及含有(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物及光聚合引发剂的光固化性树脂组合物,上述(甲基)丙烯酸酯单体和/或低聚物组合物含有环状结构,上述环状结构中碳的原子量Mcr和组合物中的全部碳的原子量MTOT的关系为Mcr/MTOT>0.1,或上述环状结构中的全部原子数N、上述组合物中的全部碳的原子数Nc和全部氧原子数No的关系为N/(Nc-No)<4,组合物的运动粘度为10mPa·s以下。该树脂组合物是可以用于光纳米印制的低粘度而干蚀刻性优异的光固化性树脂。
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公开(公告)号:CN103064254B
公开(公告)日:2017-11-17
申请号:CN201210401841.4
申请日:2012-10-19
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法以及印刷电路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、和(C)光聚合引发剂,其中,(C)光聚合引发剂包含由下述式(1)表示的化合物。式中,R1及R2各自独立地表示下述式(1a)或(1b)所示的基团,R各自独立地表示碳原子数1~20的烷基或苯基,多个存在的R可以相同也可不同。
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公开(公告)号:CN106397649A
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201510451464.9
申请日:2015-07-28
Inventor: 甘延长 , 印杰 , 锻治诚 , 其他发明人请求不公开姓名
IPC: C08F212/08 , C08F220/24 , C08F220/18 , G03F7/004 , G03F7/027 , G02B5/04
Abstract: 本发明涉及一种含氟共聚物、光固化组合物、制备具有微棱镜阵列的聚合物的制备方法、具有微棱镜阵列的聚合物、具有微棱镜阵列的聚合物的用途。通过本发明的技术方案,可获得出光效率明显增强、将光亮度均匀化、能够简单易行且不需要复杂的工艺、步骤简单且低成本地制得具有微棱镜阵列的聚合物,使微棱镜阵列更好用于微机电系统、光伏器件、微光学系统、高清晰显示器、传感器和人工复眼等方面。
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公开(公告)号:CN103087087B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201110332455.X
申请日:2011-10-27
CPC classification number: C07F7/21 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/0275 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供一种通式(1)所示的含巯基多官能团的低倍多聚硅氧烷化合物及其用于制备压印的软模板的组合物以及压印工艺,(SiO1.5R1)m·(SiO1.5CH2CH2CH2SR2)n (1)其中R1为-CH2-CH2-CH2-SH,m表示3~12的整数;R2分别为无取代或者被取代基取代的烷基、无取代或者被取代基取代的烷氧基、无取代或者被取代基取代的酯基和无取代或者被取代基取代的芳香基,所述取代基为卤素,n表示1~12的整数;该组合物是一种高憎水性光刻胶,将其应用于纳米压印模板的制备中,会得到高精度的结构,提高了模板重复利用率。
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公开(公告)号:CN107652383A
公开(公告)日:2018-02-02
申请号:CN201710953268.0
申请日:2012-10-19
IPC: C08F212/08 , C08F220/06 , C08F220/14 , C08F220/18 , C08F257/02 , C08F2/48 , C08F220/28 , C08F220/58 , G03F7/00 , G03F7/09
CPC classification number: G03F7/09 , C08F212/08 , C08F257/02 , G03F7/0035 , C08F2/48 , C08F220/06 , C08F2220/185 , C08F220/14 , C08F2220/286 , C08F2220/288 , C08F220/58 , C08F2220/282
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法以及印刷电路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、和(C)光聚合引发剂,其中,(C)光聚合引发剂包含由下述式(1)表示的化合物。式中,R1及R2各自独立地表示下述式(1a)或(1b)所示的基团,R各自独立地表示碳原子数1~20的烷基或苯基,多个存在的R可以相同也可不同。
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公开(公告)号:CN106099181A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201510210602.4
申请日:2015-04-28
IPC: H01M10/0565 , H01M10/0525
Abstract: 离子液体聚合物、电解质和锂电池。提供了一种聚合物,所述聚合物由下式(1)所示的离子液体和式(2)所示的多巯基化合物在紫外光照射下通过硫-烯/炔点击反应制得。
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公开(公告)号:CN106099181B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201510210602.4
申请日:2015-04-28
IPC: H01M10/0565 , H01M10/0525
Abstract: 离子液体聚合物、电解质和锂电池。提供了一种聚合物,所述聚合物由式(1)所示的离子液体和式(2)所示的多巯基化合物在紫外光照射下通过硫‑烯/炔点击反应制得:
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