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公开(公告)号：CN100409983C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200310108306.0
申请日：2003-10-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 整体式硬质合金旋转刀具金刚石涂层制备装置主要包括：热丝电源、减速电机、密封回转装置、密封垫圈、石英管、基体支撑台、直流偏压源、底座密封垫圈、底座、进水管、抽气管道、出水管、反应室、热敏电阻、热丝、铜质导气管、质量流量计、气瓶。针对整体式硬质合金旋转刀具金刚石涂层时的刀具基体结构特点和涂层要求，采用独特的密封回转装置，使其既能密封，又能通过电机带动装夹有刀具的旋转轴回转，从而改善基体的表面沉积温度和反应气氛，满足整体式硬质合金旋转刀具对金刚石涂层质量的要求。通过该装置可以简单、方便地控制沉积条件，大批量制备出高质量的整体式硬质合金旋转刀具金刚石涂层，因而其产业化前景光明，具有显著的经济效益。
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公开(公告)号：CN1718853A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510027575.3
申请日：2005-07-07
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种机械制造领域的金刚石薄膜涂层轴承支撑器的制备方法，采用基体表面去钴和粗化、脱碳和还原处理、反应气体中添加粘结促进剂预处理，通过控制CVD涂层工艺参数，金刚石沉积初期，在硬质合金衬底上以提高成核密度为主；在金刚石生长中间阶段，以生长 、 晶粒取向的涂层质量好、附着力强的金刚石多晶膜为主；金刚石沉积后期，通过降低反应气体压力、增加碳源浓度、在反应系统中通入氮气，在金刚石多晶膜上再原位生长一层由超细微晶聚集而成的球状金刚石晶粒薄膜，获得光滑金刚石薄膜，将该金刚石薄膜涂层支撑块粘接在粘结在钢支架上制成金刚石薄膜涂层轴承支撑器。本发明轴承支撑器寿命长，耐用度高，停机次数和生产辅助时间显著减少。
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公开(公告)号：CN1528947A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN03151295.X
申请日：2003-09-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种硬质合金基体复杂形状刀具金刚石涂层制备方法。该方法针对复杂形状硬质合金刀具基体，采用微波化学复合预处理技术对刀具基体进行脱钴、脱碳及粗化处理，以提高涂层早期形核率和改善金刚石涂层的附着强度。再采用电子增强热丝CVD纳米金刚石复合涂层技术，通过改变工艺条件，在已经生长的结晶性好的金刚石涂层上再原位生长一层由微晶聚集而成的球状纳米级金刚石涂层，在获得高附着强度的同时，有效地降低了涂层表面粗糙度，从而极大地提高了涂层刀具的切削性能。该方法不受基体形状的限制，适用于任何复杂形状刀具基体的涂层制备，且操作简单、应用方便，产业化前景光明，因而具有显著的经济效益。
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公开(公告)号：CN114965054B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202210540933.4
申请日：2022-05-17
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试装置及方法，包括：单晶硅基体表面沉积金刚石膜、化学腐蚀硅基体得到自支撑化的金刚石膜、激光切割得到悬臂梁结构。在测试过程中，首先将被测悬臂梁样品固定在位移平台上，在显微镜的观察下调节三坐标位移平台，使压头对准微悬臂梁的自由端，通过控制压电陶瓷促动器驱动压头匀速加载直至悬臂梁弯曲断裂，对加载过程中的实时位移和接触载荷数据进行记录，获得位移‑载荷曲线。本发明解决了厚度较小的化学气相沉积金刚石膜断裂力学性质的测试难题，通过获得金刚石膜的杨氏模量、断裂强度和断裂韧性等力学性质参数，进而改善金刚石膜的沉积工艺，提升其断裂强度和韧性。
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公开(公告)号：CN118404202A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410568829.5
申请日：2024-05-09
Applicant: 上海交通大学 , 安徽聚芯智造科技股份有限公司
IPC: B23K26/352 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供了一种金刚石涂层密封环的激光辅助机械抛光方法及系统，方法包括步骤S1：对密封环基体进行预处理；步骤S2：采用热丝化学气相沉积法对预处理完毕的密封环基体进行金刚石涂层沉积；所述热丝化学气相沉积法包括形核阶段和生长阶段；步骤S3：使用预设的参数对沉积得到的金刚石涂层进行激光抛光处理；步骤S4：基于机械抛光方法对金刚石涂层作进一步处理，得到抛光完成的金刚石涂层密封环。本发明可以提高金刚石涂层密封环的表面光洁度和平整度，有助于金刚石涂层密封环在高参数工况下的实际应用；借助激光抛光的优势，解决了传统金刚石涂层密封环机械抛光的低效率和易损伤的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113151802B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110355590.X
申请日：2021-04-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: C23C16/27
Abstract: 本发明公开了一种用于不穿丝的小孔径金刚石涂层拉丝模的夹具、小孔径金刚石涂层制备方法及金属线材。其中，所述夹具沿夹具的高度方向由上至下依次包括第一基体以及第二基体。本案基于热丝化学气相沉积法，通过特制的铜夹具和“双层正交”的热丝排布方法，在无热丝穿孔的前提下，实现在小孔径硬质合金拉丝模内孔表面，尤其在定径区和压缩区沉积厚度和质量均匀、耐磨损性能优异的单层微米(纳米)、微米/纳米双层复合或微米/纳米多层复合金刚石涂层，大幅度提高硬质合金拉丝模的使用寿命和可靠性，突破了传统的热丝穿孔工艺难以应用于制备小孔径金刚石涂层拉丝模的瓶颈，既保证内孔表面金刚石涂层的均匀性，同时提高金刚石涂层生长效率。
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公开(公告)号：CN111910168A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010566135.X
申请日：2020-06-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片钎焊刀具及其制备方法，步骤如下：S1、将氮化硅陶瓷基体表面喷砂粗化后超声波植晶，得到预处理过的氮化硅陶瓷基体；S2、采用微波化学气相沉积法沉积金刚石厚膜得到CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片；S3、将复合片上的CVD金刚石厚膜进行机械抛光；S4、将机械抛光后的复合片激光切割成所需形状；S5、将激光切割后的复合片，真空钎焊至硬质合金刀体上，然后通过刃磨制成CVD金刚石厚膜-陶瓷复合片钎焊刀具。本方法有效简化CVD金刚石厚膜钎焊刀具的制备工序，降低成本，同时优化金刚石厚膜的晶粒尺度，抑制膜基界面的孔洞产生，陶瓷基底作为支撑可保证金刚石厚膜在抛光过程中不易断裂。
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公开(公告)号：CN103938182B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201410138529.X
申请日：2014-04-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
IPC: C23C16/30
Abstract: 本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法；以热丝CVD装置为沉积设备，在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物，形成共掺杂体系，调节反应工艺参数，制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单，获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面，耐磨损性高且均一，易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。
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公开(公告)号：CN103331318B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310228889.4
申请日：2013-06-08
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于水润滑拉拔的多道次金属拉拔装置，包括支架、固定在支架内部的拉拔腔、设置于拉拔腔内的密封圈、模具组和润滑室组、以及固定在支架上的盖板;模具组为超光滑纳米金刚石复合涂层模具;拉拔腔润滑剂入口与支架润滑剂入口的中心线对齐;密封圈、润滑室组和模具组沿着管线材拉拔方向依次放置在拉拔腔内，润滑室开口方向与拉拔腔润滑剂出入口对齐。本发明能够使管线材与模具组接触区在拉拔过程中完全浸入在润滑剂中，使金刚石薄膜优异的水润滑性能得到发挥，拉拔区域得到有效的润滑和冷却，从而延长模具使用寿命，提高加工表面质量以及表面光洁度、清洁度;同时水基润滑剂安全、无污染的特点也使得加工环境得到极大改善。
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公开(公告)号：CN102061453B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110028846.2
申请日：2011-01-27
Applicant: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC: C23C16/27 , C23C16/44 , C23C16/458
Abstract: 一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度，但不降低沉积速率，同时又能提高金刚石涂层质量。
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