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公开(公告)号:CN1795700A
公开(公告)日:2006-06-28
申请号:CN200480014768.9
申请日:2004-05-25
Applicant: 星电株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H04R19/01
CPC classification number: H04R19/005
Abstract: 本发明提供一种以必要的厚度形成振动膜的同时使振动膜的变形得到抑制的声音检测机构。该声音检测机构是在基板(A)上具有形成电容器的一对电极,该一对电极之中的一个电极是形成有相当于声孔的通孔(Ca)的背面电极(C),另一个电极是振动膜(B)的声音检测机构,以基板(A)上所形成的作为振动膜(B)的膜体为基准,在基板(A)的基材一侧具有硅氮化膜(303)。
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公开(公告)号:CN1575041A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410055279.X
申请日:2004-05-21
Applicant: 星电株式会社
Abstract: 一种驻极体电容话筒,在由金属材料形成了杯状的背极的筒部的周面上,圆周方向等间隔地设置至少三个以上的突起(18B),形成使这些突起的突出顶面碰接小盒的圆筒部的内壁面的结构,在背极(18)的筒部(18A)和小盒(11)的内壁之间形成空隙(G),通过形成该空隙(G)将背极的筒部从小盒(11)的内壁分离,减小在它们之间产生的寄生电容的值,实现灵敏度的提高。
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公开(公告)号:CN1823551A
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200480020494.4
申请日:2004-07-14
Applicant: 星电株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/016 , H04R19/04
Abstract: 构成能够在衬底上以简单的工艺制作振动片及背电极的声音检测机构。在衬底A的表面侧形成成为通孔Ba的声孔,在该表面侧的声孔的部位层叠第二保护膜406、牺牲层D(407)和金属膜408,从衬底A的背面侧通过进行到达声孔的深度的蚀刻来形成声音开口E,然后从衬底A的背面侧经由声孔,进行蚀刻来除去牺牲层407,在由金属膜408构成的振动片C与衬底A之间形成空隙区域F,且形成通孔Ba,将蚀刻后残留的牺牲层407作为保持背电极B与振动片C之间的距离的隔垫D。
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公开(公告)号:CN1795699A
公开(公告)日:2006-06-28
申请号:CN200480014761.7
申请日:2004-05-25
Applicant: 星电株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H04R19/01
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/04 , H04R2499/11
Abstract: 本发明提供一种通过对厚度进行控制使得振动膜能够以需要的厚度形成并能够抑制振动膜的变形的声音检测机构。该声音检测机构是在基板(A)上具有形成电容器的一对电极,该一对电极之中的一个电极是形成有相当于声孔的通孔(Ca)的背面电极(C),另一个电极是振动膜(B)的声音检测机构,在基板(A)上设置有振动膜(B),背面电极(C)设置在由基板(A)支承在与该振动膜(B)隔着空隙(F)对置的位置上的状态下,该背面电极(C)由5μm~20μm厚度的多晶硅形成。
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公开(公告)号:CN1771757A
公开(公告)日:2006-05-10
申请号:CN200580000204.4
申请日:2005-04-25
Applicant: 星电株式会社
Abstract: 根据本发明的驻极体电容传声器,包括:构成电容器的振动隔膜(33)和背电极(35);装入振动隔膜(33)和背电极(35)的圆柱形壳体(31);电路板(39),该电路板装入在圆柱形壳体(31)的开口(31c)中,通过卷曲由向内弯折圆柱形壳体(31)的开口端所形成的卷曲边缘(31b)而固定到开口(31c),并且覆盖开口(31c);紧固到电路板(39)的外表面的基板(51)。圆形图案(44)和环形图案(45)形成在电路板(39)的外表面上,而圆形图案(52)和环形图案(53)形成在基板(51)距电路板(39)较远的表面上。圆形图案(44)和环形图案(45)形成在经形成在基板(51)中的穿孔(54a、54b)与圆形图案(52)和环形图案(53)相连接,并且基板(51)其上形成了图案(52、53)的表面用作回流焊表面。
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公开(公告)号:CN100576950C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200580000204.4
申请日:2005-04-25
Applicant: 星电株式会社
Abstract: 根据本发明的驻极体电容传声器,包括:构成电容器的振动隔膜(33)和背电极(35);装入振动隔膜(33)和背电极(35)的圆柱形壳体(31);电路板(39),该电路板装入在圆柱形壳体(31)的开口(31c)中,通过卷曲由向内弯折圆柱形壳体(31)的开口端所形成的卷曲边缘(31b)而固定到开口(31c),并且覆盖开口(31c);紧固到电路板(39)的外表面的基板(51)。圆形图案(44)和环形图案(45)形成在电路板(39)的外表面上,而圆形图案(52)和环形图案(53)形成在基板(51)距电路板(39)较远的表面上。圆形图案(44)和环形图案(45)形成在经形成在基板(51)中的穿孔(54a、54b)与圆形图案(52)和环形图案(53)相连接,并且基板(51)其上形成了图案(52、53)的表面用作回流焊表面。
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公开(公告)号:CN1957238A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200580016110.6
申请日:2005-05-12
Applicant: 星电株式会社
IPC: G01H11/06 , G01P15/125 , H04R19/01
CPC classification number: G01H11/06 , G01P15/125 , G01P2015/084 , H04R19/04
Abstract: 提供一种振动传感器,提高耐冲击性而不会降低灵敏度。振动传感器包括固定电极、和与该固定电极对置的面作为振动电极起作用,在与该振动电极相反侧的面上具有重量部(1)的振动板(3),基于固定电极与上述振动板(3)之间的静电电容的变化而输出振动检测信号,具有以下的特征。振动板(3)由多个狭缝(11)分割形成为:位于中央部且备有重量部(1)的振动部(33);位于周边部且固定振动板(3)的固定部(31);具有窄幅的中央部(32c),在圆周方向上等间隔地形成多个,连结振动部(33)与固定部(31)的弹性支承部(32)。多个狭缝(11),以相邻的各狭缝的振动部侧(33)端部和固定部(31)侧端部在径向上重合的方式、沿圆周方向等间隔地设置。
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公开(公告)号:CN1846121A
公开(公告)日:2006-10-11
申请号:CN200480025137.7
申请日:2004-08-31
Applicant: 星电株式会社
IPC: G01H11/08
Abstract: 提供既可避免灵敏度降低、又可防止振动膜电极的破损、并且可良好地进行组装作业的振动传感器。是具有固定电极(1)和振动膜电极(3)、且可将固定电极(1)与振动膜电极(3)之间的静电电容的变化作为振动信号而输出的振动传感器,所述振动膜电极(3)在与固定电极(1)对置的一侧的相反侧的膜面上附设有锤体(2)、且周围被固定支承着,以与振动膜电极(3)的膜面隔开间隔的状态沿着膜面方向突出的突出部(2a),局部地形成在锤体(2)的端部上,并且设有限制部件(4),该限制部件(4)与沿着振动膜电极(3)的膜面方向进行位移的锤体(2)的突出部(2a)抵接而可限制锤体(2)的位移。
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公开(公告)号:CN1070532A
公开(公告)日:1993-03-31
申请号:CN92103442.3
申请日:1992-05-09
Applicant: 星电株式会社
IPC: H04R19/01
CPC classification number: H04R1/04 , H04R19/016
Abstract: 一种传声器,在其铝质筒形壳体的前面板背面形成驻极体膜,与其接近相对设置的导电性振动膜固定在导电性固定架上。用设置在固定架背后的布线底板将壳体后端封闭,壳体的后端弯折在布线底板的里面周边上凿紧。变换阻抗用的IC元件在壳体内与导电性固定架及布线底板连接。
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