共振器及共振器阵列
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101971494A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN200980103779.7

    申请日:2009-03-03

    CPC classification number: H03H9/2447 H03H9/02244 H03H2009/02519

    Abstract: 提供一种即使不极端缩小尺寸也能够容易提高共振频率,且可以提高Q值的共振器。共振器(112)包括:作为基材的基板(12);第一梁(2),其两端通过固定连接部(14a、14b)固定于基板(12),并且在中途部具有用于在垂直于第一梁(2)长度方向的方向上施加直线往复运动的振动输入部位(3),以及第二梁(5a、5b),其从第一梁(2)中不同于振动输入部位(3)的分支部位(4a、4b)向一方侧分支,并用于基于所述直线往复运动来产生扭转振动。而且,共振器(112)还具有用于产生扭转振动的多个第三梁(6a、6b),第三梁(6a、6b)从多个分支部位(4a、4b)向与多个第二梁(5a、5b)相反的方向一侧延伸。

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