公开(公告)号：CN112980332A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202011417982.6

申请日：2020-12-07

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 朴光洙 ,  黄晙夏 ,  金廷润 ,  崔洛炫

IPC: C09G1/02 ,  H01L21/3105

Abstract: 本发明涉及一种用于STI工艺的抛光浆料组合物，根据本发明一实施例的用于STI工艺的抛光浆料组合物包括：抛光粒子；非离子型聚合物；以及极性氨基酸。

公开(公告)号：CN109689828A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780054508.1

申请日：2017-06-21

Applicant: 凯斯科技股份有限公司

Inventor： 崔洛炫 ,  朴光洙 ,  金廷润 ,  黄晙夏

IPC: C09K3/14 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明涉及表面改性胶体二氧化铈抛光粒子、其制造方法及包括此的抛光料浆组合物，根据本发明的一个实施例的表面改性胶体二氧化铈抛光粒子，包括：胶体二氧化铈抛光粒子；及铈元素及羟基(-OH)，形成在所述胶体二氧化铈抛光粒子表面上。