公开(公告)号：CN100510187C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510114837.X

申请日：2005-11-17

Applicant: 乐金显示有限公司 ,  东进世美肯株式会社

Inventor： 金钟一 ,  李坰默 ,  宋桂燦 ,  曹三永 ,  申贤哲 ,  金南绪 ,  李骐范

IPC: C23F1/16 ,  G02F1/136

Abstract: 本发明公开了一种用于蚀刻金属层的组合物，该组合物包括：重量比为大约55%到大约80%的磷酸；重量比为大约3%到大约15%的硝酸；重量比为大约5%到大约20%的乙酸；重量比为大约0.5%到大约10%的磷酸盐；重量比为大约0.1%到大约5%的含氯化合物；重量比为大约0.01%到大约4%的偶氮化合物；以及水。

公开(公告)号：CN1966772A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200510114837.X

申请日：2005-11-17

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社 ,  东进世美肯株式会社

Inventor： 金钟一 ,  李坰默 ,  宋桂燦 ,  曹三永 ,  申贤哲 ,  金南绪 ,  李骐范

IPC: C23F1/16 ,  G02F1/136

Abstract: 本发明公开了一种用于蚀刻金属层的组合物，该组合物包括：重量比为大约55％到大约80％的磷酸；重量比为大约3％到大约15％的硝酸；重量比为大约5％到大约20％的乙酸；重量比为大约0.5％到大约10％的磷酸盐；重量比为大约0.1％到大约5％的含氯化合物；重量比为大约0.01％到大约4％的偶氮化合物；以及水。