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公开(公告)号：CN1196484A
公开(公告)日：1998-10-21
申请号：CN98104387.9
申请日：1998-01-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N33/36
CPC classification number: G01N33/367
Abstract: 一种测试欲用来制作在制造半导体芯片的净化室环境中使用的工作服、口罩和手套的布料的过滤效率的方法和装置。所述装置包括,一支架;一气体电离器;一可选的加湿器;一颗粒发生器和一颗粒计数组件。在用电离气体除去测量室中的静电,并可选地调整测量室中的温度和湿度后,引入颗粒至测量室中。通过计量引入测量室中的颗粒总数和穿过布料样品的颗粒数来确定过滤效率。基于过滤效率,可以确定用这种布料制作的无尘服的使用寿命。
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