公开(公告)号：CN110783181A

公开(公告)日：2020-02-11

申请号：CN201910210667.7

申请日：2019-03-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴成珉 ,  张世明 ,  金奉秀 ,  朴济民

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/308

Abstract: 本发明涉及制造半导体器件的方法。一种方法包括：通过在衬底上沉积支撑掩模层、多晶硅层和硬掩模层并蚀刻硬掩模层，来形成硬掩模图案；通过使用硬掩模作为蚀刻掩模蚀刻多晶硅层来形成预多晶硅图案；氧化预多晶硅图案的侧表面，以形成多晶硅图案和氧化硅层；形成覆盖氧化硅层的侧面的隔墙图案；在支撑掩模层的顶表面上形成牺牲层，以覆盖氧化硅层和隔墙图案；蚀刻牺牲层和氧化硅层；通过使用多晶硅图案和隔墙图案作为蚀刻掩模蚀刻支撑掩模层来形成支撑掩模图案；以及通过使用支撑掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻衬底来形成触发引脚。

公开(公告)号：CN103369645A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310115472.7

申请日：2013-04-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 洪炫秀 ,  李在勉 ,  吴智宪 ,  朴敬夏 ,  朴成珉

IPC: H04W52/02 ,  H04M1/73 ,  H04M1/725

CPC classification number: G05B15/02 ,  H04W52/0277 ,  Y02D70/142 ,  Y02D70/164

Abstract: 提供了用于应用处理器和微控制单元的情境识别方法和装置。确定是否满足切换到睡眠模式的操作切换条件。当满足操作切换条件时，向微控制单元发送执行情境识别功能的请求。当微控制单元执行情境识别功能时，应用处理器切换到睡眠模式。微控制单元以预先存储的时间间隔收集传感器数据，并根据传感器数据更新以前存储的状态信息。

公开(公告)号：CN103229568A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201180057005.2

申请日：2011-11-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴敬夏 ,  慎癸重 ,  洪炫秀 ,  朴成珉 ,  吴智宪

IPC: H04W64/00 ,  H04W4/02

CPC classification number: H04W24/00 ,  G01S19/34 ,  H04W4/02 ,  H04W64/00

Abstract: 本发明提供了用于提供位置信息的方法和装置，其中，估计位置信息，计算所估计的位置信息的误差值，根据该误差值控制位置确定模块的激活，并且使用所估计的位置信息和由所述位置确定模块确定的位置信息中的至少一个提供位置信息。