-
公开(公告)号：CN111160642A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201911367235.3
申请日：2019-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于PSO-BP神经网络的大型高速回转装备同轴度预测方法。步骤1：数据处理；步骤2：将步骤1归一化处理后的各级大型高速回转装备的数据进行整合，作为输入量；步骤3：构建PSO-BP神经网络模型；步骤4：利用神经网络的隐含层神经元个数、学习率以及L2正则化系数；步骤5：将隐含层神经元个数、学习率以及L2正则化系数代入BP神经网络中，获得最优BP网络结构；步骤6：输入测试集数据得到测试集所对应的装配后多级装备同轴度预测值。本发明借助PSO-BP神经网络，综合考虑拧紧力矩对大型高速回转装备装配结合面影响以及多级装备间几何误差传递效果，对装配后多级装备同轴度预测效果较理想。
-
公开(公告)号：CN111044289A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911370022.6
申请日：2019-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了基于闭环动态测量的大型高速回转装备对准误差测量方法，所述测量方法包括以下步骤：将每一个部件认为是一个理想刚体，三个位移自由度δx，δy，δz和三个角度自由度θx，θy，θz，计算出各个部件的几何偏差；将各个部件的几何偏差带入到误差累计求和公式中，借助多刚体系统理论和坐标的矩阵变换计算出多个相互连接的组件的误差累积量，得到总的误差Etotal；结合计算得到的总的误差Etotal对传感器的安装姿态误差进行补偿。本发明的基于闭环动态测量的大型高速回转装备对准误差测量方法，可以计算得到终端的对准误差值，进而通过软件算法将该误差补偿掉，以提高航空发动机单级转子的测量精度。
-
公开(公告)号：CN110906862A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911214416.2
申请日：2019-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种大型高速回转装备几何形貌与质量特性一体化测量装置，包括平行设置在基座两侧的两个立柱、气浮轴系、调心调倾工作台、称重机构、翻转卡盘和起振机构；翻转卡盘调节被测转子的测量姿态，所述的气浮轴系设置在基座的中心，所述的气浮轴系由力矩电机带动，力矩电机的转轴末端固设有扭杆，扭杆的末端由励磁制动器制动，力矩电机上设有光栅测角机构，在两个立柱上滑动设置有四个横臂，且四个横臂两两一组，每个横臂的端部处均配置一球关节万向表架，在每一球关节万向表架的端部处配置一电感传感器。本发明通过单次装夹测得大型高速回转装备单级盘几何形貌参数与质量特性参数，测量集成化更高，节约测量时间与测量成本。
-
公开(公告)号：CN110595690A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910012743.3
申请日：2019-01-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了基于形心质心重心惯性中心矢量极小化的大型高速回转装备测量与智能学习装配方法和装置，属于机械装配技术领域。所述方法包括建立单级转子四参数圆轮廓测量模型，简化建立单级转子四参数圆轮廓测量模型和建立基于各级转子角向安装位置的多级转子形心、质心、重心、和惯性中心的四目标优化模型等步骤；所述装置包括基座，气浮轴系，调心调倾工作，分别为精密力传感器，静平衡测量平台，立柱，下横向测杆，下伸缩式电感传感器，上横向测杆和上杠杆式电感传感器。
-
公开(公告)号：CN110153664A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910217522.X
申请日：2019-03-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/00
Abstract: 本发明提出了基于BP神经网络的大型高速回转装备多级零部件装配方法和装置，属于机械装配术领域。所述方法考虑发动机实际结构特点，以装配相位为控制变量，在二截面平衡和最大转速条件下，考虑转子间装配接触面的抗拉刚度和抗弯刚度的影响，通过旋转装配相位改变高速响应参数，当选取最优装配相位时，通过求解系统动力学方程得到高速振动响应幅值参数，使多级转子装配后高速响应幅值参数最优，实现对航空发动机多级转子高速响应的优化。所述装置包括基座，气浮轴系，调心调倾工作台，精密力传感器，静平衡测量平台，左立柱，右立柱，左下横向测杆和左下伸缩式电感传感器等部件。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109960869A
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201910218026.6
申请日：2019-03-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了基于功能性滤波处理的大型高速回转装备零部件形心和惯性中心数据处理方法。本发明分析了静子机匣圆轮廓测量的采样角度分布特性和测量误差，将采集到的圆轮廓数据通过非等间隔形态学滤波器进行功能性滤波；考虑圆轮廓测量中的静子机匣偏心误差、传感器测头偏移量、传感器测球半径引起的误差和测量面倾斜误差四个参数分量，建立了四参数圆轮廓测量模型；将有效的圆轮廓数据代入所述四参数圆轮廓测量模型即实现静子机匣圆轮廓的精确测量。
-
公开(公告)号：CN109871947A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910218036.X
申请日：2019-03-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了基于卷积神经网络的大型高速回转装备多级零部件初始不平衡量逐级堆叠方法和装置，属于机械装配技术领域。所述方法包括步首先分别获取n级转子装配后由各级转子定位误差引起的偏心误差传递矩阵、装配后各级转子定位误差引起的第n级转子不平衡量、n级转子装配后由各级转子定向误差引起的偏心误差传递矩阵和装配后由各级转子定向误差引起的第n级转子不平衡量，然后，通过矢量相加方式获得多级转子装配后任意一级转子的不平衡量，并根据不平衡量建立优化模型。所述装置包括：基座，气浮轴系，调心调倾工作台，分别为精密力传感器，静平衡测量平台，立柱，下横向测杆，下伸缩式电感传感器，上横向测杆和上杠杆式电感传感器。
-
公开(公告)号：CN108174592A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711390535.4
申请日：2017-12-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H05K9/0058 , G02B5/1866 , G02B27/0012
Abstract: 基于圆心位置随机与变直径的重叠圆环网栅设计方法属于光学窗的电磁屏蔽技术领域，重叠圆环网栅的可随机参数包括直径与周期参数。本发明采用同时随机直径与周期参数的随机方式，周期的随机通过圆心位置的随机来实现，圆心位置的随机区域分别为四边形、六边形等多边形区域以及圆形区域，直径参数在以初始直径值为中心的对称范围内进行随机。将重叠圆环网栅中的每个圆环单元的圆心位置在固定区域内进行随机化来得到具有随机结构的重叠圆环网栅，此随机方法可有效地将网栅结构中圆环的周期与直径随机化。相对于传统的周期结构的网栅，基于此随机方法的重叠圆环网栅可有效地均化网栅的高级次衍射能量，使杂散光的分布更加均匀，显著降低了对成像质量的影响。
-
公开(公告)号：CN105629676A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610023027.1
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70766 , G03F7/70716 , G03F7/70725 , G03F7/20
Abstract: 基于回转平衡质量的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、回转轴、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
-
公开(公告)号：CN105549329A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610023012.5
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716 , H02N15/00
Abstract: 基于电制冷片动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
244
records
(took 0.027 seconds)
