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公开(公告)号：CN103162834A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310086732.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及一种新型傅里叶变换光谱仪，是一种能够实现高速、高光谱分辨率、高稳定度和高通量的多反射单弹光调制型傅里叶变换光谱仪结构，提供一种光谱分辨率很高、调制速度高、无机械运动，同时又能保证足够光通量的新型单弹光调制型干涉仪结构，用来代替传统的迈克尔逊干涉仪，并结合相应的前置收集光系统，形成一种新型的，能够实现高速、高光谱分辨率、高稳定性和高通量的傅里叶变换光谱仪结构。本发明的技术解决方案是：一种多反射单弹光调制傅里叶变换光谱仪光路结构，沿光入射光路依次由第一透镜、第二透镜、光阑、起偏器、静态双折射晶体、第三透镜、弹光调制器、检偏器、第四透镜和探测器构成。
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公开(公告)号：CN203100898U
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201320126884.6
申请日：2013-03-08
Applicant: 中北大学
IPC: G01J3/45
Abstract: 本实用新型涉及一种光谱仪，提供一种光谱分辨率很高、调制速度高、无机械运动，同时又能保证足够光通量的新型单弹光调制型干涉仪结构，用来代替传统的迈克尔逊干涉仪，采用的技术方案是：按被测光的入射方向依次由起偏器、静态双折射晶体、第一透镜、弹光调制器、检偏器、第二透镜和探测器构成。所述的静态双折射晶体，通光方向应为晶体的光轴方向。所述的弹光调制器包括压电驱动器和弹光晶体，弹光晶体外形为八角形，前后通光面为球面，并镀制相互交错的高反射率膜。
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公开(公告)号：CN211904157U
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201922235447.8
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置。一种压电驱动压电检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由支撑框架、质量块、活动梁、检测梁、连接块、信号线组成，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由活动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在驱动质量块、检测质量块上设置压电材料结构，利用其逆压电效应驱动，正压电效应检测，此装置结构设计合理、紧凑，正交耦合误差小，适合微型化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211085261U
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201922229178.4
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型公开了一种基于平面线圈面内检测的微陀螺，包括下基板，设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上基板，所述上基板包括:支撑框体、外质量块、内质量块,所述外质量块设置在所述支撑框体内侧，所述内质量块设置在所述外质量块内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块连接，所述外质量块内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块连接，所述内质量块上设置有平面线圈。本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，利用平面线圈切割磁感线产生电动势效应检测微弱柯式力，输出精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212585727U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202020899640.1
申请日：2020-05-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 一种可调节正交误差的解耦型微机械陀螺结构，包括：支撑框架，驱动框架，传感框架，检测质量块，所述支撑框架用于提供支撑基础；所述驱动框架设置在所述支撑框架内侧，所述驱动框架的边角处通过驱动组件与所述支撑框架连接，所述驱动框架上与驱动方向垂直的外侧边与支撑框架之间设置有梳齿组件；所述传感框架设置在所述驱动框架内侧，所述传感框架以驱动方向为中心对称的两端通过第一传感连接组件与所述驱动框架连接；所述检测质量块设置在所述传感框架内侧，所述检测质量块以驱动方向为中心对称的两端通过第二传感连接组件与所述传感框架连接。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN212159843U
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202021134339.8
申请日：2020-06-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/14
Abstract: 基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。
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公开(公告)号：CN211457018U
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202020165650.2
申请日：2020-02-13
Applicant: 中北大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种电磁振动能量收集器，包括：下基板，所述下基板提供支撑基础；上基板，所述上基板设置在下基板上；所述上基板包括但不限于为方形，所述上基板面向所述下基板一侧具有方形凹槽，所述方形凹槽内设置有磁铁阵列；所述下基板包括：支撑框体、内质量块、蛇形线圈和运动组件，所述内质量块设置在所述支撑框体内侧，所述支撑框体内侧的边角处设置所述运动组件与所述内质量块连接，所述蛇形线圈设置在所述内质量块上。本实用新型的电磁振动能量收集器，结构紧凑，适合器件的微型化；电磁式振动能量收集器的能量收集效率高、器件的可靠性高和使用寿命长、可批量生产且可与智能控制系统集成，可采用MEMS技术制备。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212585721U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201922235843.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方的检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺中X轴陀螺和Y轴陀螺采用离面检测，Z轴陀螺采用面内检测，此陀螺结构设计合理、简单，体积小，集成度高，可靠性好、适合微型化。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212585720U
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201922234997.8
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5733 , H02K35/04 , B81B7/02
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本实用新型与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框吻合连接，在键合基板凹槽对称设置结构一样的永磁体，在敏感质量块上设置检测导线、引线电极和引线，检测组合梁由连接块、活动梁组成，此陀螺能量收集器设计合理简单、易单片集成、使用方便，整体结构合理简单，无需驱动，易小型化，是十分理想的用于收集能量的微型MEMS能量收集器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211904158U
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201922245474.3
申请日：2019-12-13
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件；隧道磁阻器件通过敏感到回折形通电线圈产生的正弦磁场变化，自身阻值发生剧烈改变，进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑，创新性的通过结合相反性能隧道磁阻元件、多路差分电压输出实现对微弱磁场变化高灵敏检测，整体结构设计合理、简单，能够有效的避免外磁干扰，且可以减小由于集成造成的误差。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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