公开(公告)号：CN111591952B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202010322541.1

申请日：2020-04-22

Applicant: 北京大学

Inventor： 高程武 ,  张大成 ,  杨芳 ,  程垒健 ,  余润泽 ,  李凤阳 ,  刘鹏

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L1/22 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明公开一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，属于微电子机械系统传感器设计领域，该传感器主要包括一玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜，该玻璃底座的一面含有一凹陷空腔，该硅应变膜的正面朝向该空腔；该硅应变膜包括位于正面的绝缘介质层和该绝缘介质层覆盖的硅衬底；该硅应变膜的正面的边缘均布有四个带有凹槽的半岛结构；每个半岛结构的外边缘设有位于硅衬底上的一组压敏电阻、一组重掺杂接触区和一对金属引线，压敏电阻与重掺杂接触区串接，两端由金属引线从重掺杂接触区引出，四组压敏电阻形成惠斯通电桥。其与典型结构的压力传感器相比，具有高灵敏度、高线性度、芯片尺寸小的优点。

公开(公告)号：CN117647564A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311409128.9

申请日：2023-10-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 华璇卿 ,  张大成 ,  杨芳 ,  李凤阳 ,  王旭峰 ,  陈艺 ,  于志恒

IPC: G01N27/12 ,  C23C14/35 ,  C23C14/04 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种基于磁控溅射气敏薄膜的单悬梁式气体传感器及其制造方法，属于微电子机械系统和气体检测技术领域。本发明提出将磁控溅射工艺制备的气敏薄膜与单悬梁式微热板集成，在实现小尺寸、低功耗的同时，与磁控溅射、图形化制备气敏薄膜的兼容性较好，具有可批量、可重复性好、气敏薄膜结构和成分均匀可控的优势；采用加热电极和测量电极共面设计，提高了生产效率，降低制造成本。

公开(公告)号：CN114858181A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202110157949.2

申请日：2021-02-05

Applicant: 北京大学

Inventor： 刘玉县 ,  赵前程 ,  崔健 ,  张大成

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明属于传感器领域，公开了一种基于图像识别的线振动式MEMS陀螺激光修调方法，包括以下步骤：(1)依据线振动式MEMS陀螺中微结构的几何特征，对不同类型的微结构进行分类，建立一套适用于所述陀螺的微结构库；(2)采用视觉系统获取待修调陀螺的图像后，将所述图像与上述微结构库进行模板匹配，识别出所述图像中所有微结构的类别，并获取相关参数信息；(3)人为设置所述微结构几何尺寸的修调目标值后，自动地规划修调路线并生成修调工艺参数，从而完成对所述陀螺的自动化激光修调。本发明方法可以快速且准确地实现对线振动式MEMS陀螺的自动化激光修调，基于预先建立的微结构库与图像识别技术，可以快速识别出所述陀螺的微结构类型，并依据需求自动生成修调路径与修调参数，从而实现MEMS陀螺激光修调的自动化。

公开(公告)号：CN114858180A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202110157948.8

申请日：2021-02-05

Applicant: 北京大学

Inventor： 刘玉县 ,  赵前程 ,  崔健 ,  张大成

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明属于传感器领域，公开了一种基于视觉检测的双质量微陀螺不对称误差辨识方法，包括如下步骤：(1)获得包含完整双质量微陀螺的图像；(2)在所述图像中框选出双质量微陀螺，并采用两种不同的图像分割方法对所述图像分别进行分割；(3)比对所述分割后的图像，辨识出整体微陀螺的不对称误差；(4)对于所述图像中因分辨率低而无法辨识的陀螺微结构区域，建立位置映射关系，逐一获取放大后的微结构图像并进行图像比对，进一步辨识出微结构的不对称误差。本发明方法可直接、快速、准确地辨识出双质量微陀螺的不对称误差，辨识结果可应用于对陀螺微结构的激光修调等。

公开(公告)号：CN106365107B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201510427299.3

申请日：2015-07-21

Applicant: 北京大学

Inventor： 何军 ,  张大成 ,  张立 ,  杨芳 ,  刘鹏 ,  王玮 ,  李婷 ,  罗葵 ,  田大宇

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种提取梁刻蚀垂直度的方法及系统，基于静电驱动梁扭转的原理，利用新设计的片上检测结构、电学信号施加装置和垂直位移检测装置组成的系统，提取梁的刻蚀垂直度参数。此方法可用来进行刻蚀(腐蚀)工艺监测，也可用来预测器件的机械可靠性。方法简单，易于通用。

公开(公告)号：CN113218755A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110441939.1

申请日：2021-04-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 李凤阳 ,  张大成 ,  杨芳 ,  程垒健 ,  余润泽 ,  高程武 ,  王旭峰

IPC: G01N3/08 ,  G01B21/32

Abstract: 本发明提出一种用于纳尺度薄膜双轴拉伸测试的系统及其制造方法，属于微电子机械系统加工技术领域，该系统利用独特设计的片上试验机结构和微电子工艺检测分析用探针台相结合，提取纳尺度薄膜断裂时的双轴应力，其中片上试验机包括两个相互垂直布置的拉伸结构；每个拉伸结构包括一探针加载结构、两轮形加载换向结构、一可动框架、一弹性梁、一拉伸梁、两形变量标尺、两指针和两悬挂折叠梁。该系统可用来探究纳尺度下薄膜材料的破坏规律，也可用来进行薄膜制备工艺质量监控。

公开(公告)号：CN110386587A

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201810350030.3

申请日：2018-04-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 杨芳 ,  张大成 ,  郭俊敏 ,  姜博岩 ,  李婷 ,  罗葵 ,  王玮 ,  范泽新

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提供一种基于ALD技术的硅湿法腐蚀掩膜方法，其步骤包括：准备待腐蚀的硅片；采用ALD技术在所述硅片表面上淀积一层硅湿法腐蚀掩膜；对所述掩膜进行减薄，直至露出下方的硅片表面；利用湿法腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀，获得微结构。本发明利用ALD技术制备硅湿法腐蚀掩膜，淀积温度低，残余应力小，制备的掩膜材质致密，保形覆盖性好，抗腐蚀时间长，可以实现对带有金属、不能经受高温或应力敏感、有高深宽比结构或可动结构的硅片的腐蚀保护。

公开(公告)号：CN106477517A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201510551503.2

申请日：2015-09-02

Applicant: 北京大学

Inventor： 杨芳 ,  张大成 ,  何军 ,  张立 ,  刘鹏 ,  王玮 ,  李婷 ,  罗葵 ,  田大宇

IPC: B81C99/00

Abstract: 本发明公开了一种表征硅片表面粗糙度的方法，通过测特定条件下的电流值来表征硅片表面的粗糙度。此方法具备方法简单、不需要大型高精密仪器的优点，有利于MEMS加工环境中的现场测量。

公开(公告)号：CN106370520A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201510427296.X

申请日：2015-07-21

Applicant: 北京大学

Inventor： 何军 ,  张大成 ,  张立 ,  杨芳 ,  刘鹏 ,  王玮 ,  李婷 ,  罗葵 ,  田大宇

IPC: G01N3/08

Abstract: 本发明公开了一种提取微锚腿扭转键合强度的方法，通过新设计的片上检测结构中的热驱结构对微锚腿产生扭转作用的力偶矩使锚腿断裂，记录断裂时的驱动位移并计算扭转键合强度值。此方法可用来进行键合工艺的监测和评价，也可用来预测器件的机械可靠性。具备自定位、自测力能力；方法简单，不需要大型高精密仪器。

公开(公告)号：CN106197933A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610565292.2

申请日：2016-07-18

Applicant: 北京大学

Inventor： 张立 ,  张大成 ,  杨芳 ,  王玮 ,  李睿 ,  关淘淘 ,  范泽新

IPC: G01M7/08

CPC classification number: G01M7/08

Abstract: 本发明提供一种热驱冲击试验机，包括：一热驱加载机构，包括两个加载热驱执行器，通过一加载放大杠杆连接，该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣，该加载锯齿扣含有多个一类锯齿；该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹簧；一热驱卸载机构，包括两个释放热驱执行器，通过一释放放大杠杆连接，该释放放大杠杆的中点处连接一释放锯齿扣，该释放锯齿扣含有一二类锯齿；一锯齿锁，包括两个互相平行的横梁，该两个横梁的一端设有一对三类锯齿，该三类锯齿与所述一类锯齿抵近并配合；另一端设有一对四类锯齿，该四类锯齿与所述二类锯齿抵近并配合。本发明另提供一种在线检测系统。本发明还提供一种在线检测方法。