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公开(公告)号：CN111834229A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010720093.0
申请日：2020-07-23
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/463 , C09G1/02 , B24B1/00 , B24B37/00
Abstract: 一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法，属于半导体超精密加工技术领域。先对碲锌镉晶片进行研磨加工，研磨液为去离子水，然后是化学机械抛光，采用棒状介孔陶瓷磨料，去离子水，氧化剂，分散剂和pH调节剂配置抛光液。采用本发明方法抛光后CZT表面粗糙度检测的范围是5×5μm2，Ra值达到了0.26-0.34nm。本发明实现了CZT的的超光滑低损伤化学机械抛光。而且磨粒的弹性模量测量结果表明，磨粒的弹性模量对碲锌镉晶片的抛光结果有影响。
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公开(公告)号：CN108896365B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201810734397.5
申请日：2018-07-06
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N1/28
Abstract: 一种透射电镜原位力学样品的无损制备方法，将样品分散在酒精中，使用5‑20pA的离子束将Pt沉积到纳米机械手与样品的接触处，将机械手与样品焊接，远离机械手的一端伸出样品台形成悬臂梁，悬臂梁的长度为500nm‑5μm，样品靠近机械手用5‑30pA的离子束用Pt沉积将样品固定，沉积时间为20‑50s，随后使用100‑600pA的离子束将机械手探针尖端切断，取出放置有样品的原位力学测试样品台，在光学显微镜下利用微机械装置将样品用环氧树脂导电银胶进行固定，利用导电银漆将固定有样品的原位力学样品台固定在透射电镜原位力学系统样品杆的样品座上，用平头压针在透射电镜下对样品进行透射电镜原位压缩、压曲及弯曲实验。
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公开(公告)号：CN108535296B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201810375892.1
申请日：2018-04-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01N23/22 , G01N23/2202 , G01N23/2204 , G01N3/08 , G01N3/20
Abstract: 一维材料透射电镜力‑电耦合原位测试方法，设计制造一种可用来对样品进行压缩、压曲以及弯曲的多功能样品台，将透射电镜铜网的碳膜去除，并经圆心将其切成两半，将样品在酒精中超声分散，用移液枪将样品滴在半圆形铜网边缘，在光学显微镜下利用微机械装置用环氧树脂导电银胶将单个样品固定在样品台基片边缘，并将样品台基片表面用导电银漆进行涂抹，在透射电镜中进行力‑电耦合原位测试。本发明提供了一种简单、高效的透射电镜力‑电耦合原位观察实验的样品制备及测试方法，可对样品进行压缩、压曲以及弯曲实验，并且能够实时观测样品在受力过程中材料微观结构的变化以及电学性能的变化，实现了一维材料透射电镜力‑电耦合原位测试。
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公开(公告)号：CN111196484A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN202010081554.4
申请日：2020-02-06
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供了一种大口径碳纤维复合材料抛物面薄壁件加工定位方法及装置，该装置包括：定位板、凸模型腔、压板、连接板、楔块、定位销、双头螺柱及螺母；其中，凸模型腔与被加工件凹曲面完全配合，对工件起支撑与定位作用；通过定位销及凸模型腔底面与定位板贴合实现其定位，最后通过双头螺柱、螺母、连接板、压板和楔块将工件、凸模型腔固定锁紧在定位板上，即实现对工件的定位、支撑、夹紧。本发明提供的定位装夹方法快速准确，操作简单，尤其可解决大口径薄壁件加工时的变形问题，此外，工件加工完后，凸模型腔可继续与工件锁紧在一起，可避免工件运输过程中因碰撞、包装等而引起的变形问题。
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公开(公告)号：CN110736570A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910998904.0
申请日：2019-10-21
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01K17/00
Abstract: 本发明公开了一种高温绝热量热仪中的多屏支撑装置，属于量热学的中的量热装置。该多屏支撑装置包括真空罐，3层防护屏，2层绝热屏，防护屏支撑体，用于支撑固定防护屏；绝热屏支撑体，用于支撑固定绝热屏；连接件，用于连接固定防护屏支撑体和绝热屏支撑体。该高温量热仪中的多屏支撑方式解决了目前高温量热仪装卸费时，多屏装配同轴度不够高，每次拆装所动零件较多，降低实验重复性等问题，在该支撑方式中零件易加工，拆装效率高，操作方便，有效提高实验重复性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108051613B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201711094075.0
申请日：2017-11-09
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明提供了一种微米直径的锥形毛移动和转移纳米线的方法，纳米线的直径为60‑150nm，锥形毛的直径为1‑100μm，尖端曲率半径为0.8‑3μm，长度为4‑10mm；去掉透射电镜用的铜网上的塑料薄膜，留下铜网，孔的直径为50‑100μm；用超声后的铜网在超声分散纳米线的丙酮液体中捞取纳米线；将分布有纳米线的铜网和锥形毛分别放在两个不同的光学显微镜的移动平台上，实现锥形毛的毫米和微米级移动，从而实现对纳米线的移动和转移操作。用锥形毛尖端蘸取一小滴导电银胶，分别滴在纳米线的两端，滴落后的导电银胶的半径为4‑8μm。本发明用两个光学显微镜的移动平台，实现锥形毛移动和转移纳米线的方法。
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公开(公告)号：CN110434680A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910655478.0
申请日：2019-07-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明属于机械制造技术领域，公开了一种螺旋桨的化学机械抛光液及抛光方法，该抛光方法为：螺旋桨在化学机械抛光液中旋转，使螺旋桨叶片表面分别与抛光液中的化学试剂和磨粒发生交替循环的化学腐蚀与机械刮擦去除作用，实现螺旋桨叶片表面各部位的精密抛光。其中所述抛光液包括氧化剂、溶解剂、缓蚀剂、复合添加剂、磨粒和水。与传统的数控抛光和人工打磨相比比较，本发明抛光方法简单、抛光精度高、柔性好，尤其可实现螺旋桨叶根及桨榖部位的抛光。
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公开(公告)号：CN110270892A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910576344.X
申请日：2019-06-28
Applicant: 大连理工大学 , 沈阳透平机械股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种复杂曲面叶轮叶片的超声震动辅助CMP方法，该方法在超声震动装置的辅助下，通过化学抛光液对叶片进行软化腐蚀，再加上叶轮的旋转，使磨料对叶片进行快速高频的撞击、刮擦，从而实现对叶片表面残料的去除，完成其化学机械抛光。本发明加工方法可实现对任何复杂曲面叶轮叶片的自动精密抛光，代替进口专用设备和人工抛光。
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公开(公告)号：CN109708944A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910120919.7
申请日：2019-02-19
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法，属于透射电镜原位纳米力学测试领域。采用湿法刻蚀与离子束刻蚀方法制备出楔形硅样品；利用聚焦离子束对刻蚀出的楔形硅进行减薄和修整，减薄采用离子束束流为30kV：50-80nA，修整采用离子束束流为5kV：1-6pA，使楔形硅顶部宽度为80-100nm。用导电银胶将样品固定在透射电镜原位纳米力学系统的样品座上，在透射电镜中用压针对样品进行压痕，使样品损伤层厚度为2-200nm；在透射电镜中对样品的损伤层进行原位纳米压痕实验。本发明实现了硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕实验，并且能够进行原子尺度表征。
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公开(公告)号：CN108818159A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810668029.5
申请日：2018-06-22
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种蓝宝石球罩磨削加工方法，采用不同粒度和形状的金属结合剂金刚石磨头组合加工。采用圆柱形金刚石磨头磨削蓝宝石的端面和外圆，磨内球面时使用不同粒度的金刚石球形磨头。磨内球面时使用不同粒度的金刚石球形磨头。用车削的方法加工出一端为与磨削内球面同轴心的半球面，另一端为光轴的工装，用铣削的方法在半球面上铣削出6-8个沟槽。用高强度胶将工件与工装同轴心粘接在一起，高强度胶从沟槽内注入。磨外球面时换用不同粒度的杯型金刚石磨头，粗磨粒度为#100-#180，精磨粒度为#240-#320。本发明提供一个蓝宝石球罩磨削加工方法，蓝宝石球罩磨削后表面光滑，无崩边、破碎、断裂加工缺陷，表面粗糙度Ra小于1μm。
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