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公开(公告)号:CN103235464B
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201310156389.4
申请日:2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种内置式高通量大口径激光频率转换装置,它涉及一种激光频率转换装置。本发明为了实现高通量大口径激光频率的转换。本发明的频率转换模块机构设置在频率转换模块壳体内,机构箱体的一个侧壁上开有光学元件拆装法兰窗口,倍频的第一微驱动机构和第一混频的第一微驱动机构均设置在机构箱体的另一个侧壁内,且第一混频的第一微驱动机构位于倍频的第一微驱动机构的上部,第二混频的第一微驱动机构设置在机构箱体的内壁底端,且第二混频的第一微驱动机构靠近光学元件拆装法兰窗口一侧的机构箱体内壁底端,倍频调角组件、第一混频调角组件和第二混频调角及移动组件依次并列设置在机构箱体内。本发明用于高通量大口径激光频率的转换。
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公开(公告)号:CN103713102B
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201310744567.5
申请日:2013-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N33/00
Abstract: 大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置,涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动,用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上,X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上;步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动,Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上;Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中,Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接,Y轴导轨托盘另一端为气浮端,气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。
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公开(公告)号:CN102886367B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201210404043.7
申请日:2012-10-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种精密铝合金零件的清洗方法,涉及一种铝合金零件的清洗方法。本发明要解决现有超声波清洗精密铝合金零件会导致表面损伤和变形的技术问题。方法:一、预处理;二、清洗剂超声清洗,压水喷淋处理,高纯水喷淋漂洗,然后洁净空气或氮气吹干,烘干;三、置于洁净间内,用高纯水超声清洗,洁净空气吹干,烘干,检测,不合格重复操作步骤三至合格,即完成了精密铝合金零件的清洗。本发明清洗过程对铝合金零件的精度无损害;表面质量好,实现超洁净;没有使用致癌化学试剂流程,对人体危害小。
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公开(公告)号:CN103235385B
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201310155942.2
申请日:2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置,它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长,装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮;5自由度位姿调整台的竖向位置调整单元、横向位置调整单元、纵向位置调整单元和2自由度姿态调整单元由上至下依次连接,横向位置调整单元通过横向手轮转动横向平动螺杆,驱动横向工作台平移;纵向位置调整单元通过纵向手轮转动纵向平动螺杆,驱动纵向工作台平移;洁净拆装转运箱与2自由度姿态调整单元连接,连接手轮安装在连接轴的外端。本发明用于大口径光学元件的横向在线洁净拆装中。
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公开(公告)号:CN103235388B
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201310156756.0
申请日:2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法。本发明的目的是为了实现高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中光路引导与检测问题。该一种高通量大口径光学引导与检测装置主要由取样法兰组件、光束波形测量组件、光束能量测量组件、半透射镜组件、反射镜组件和屏蔽衰减组件组成,调整两个偏摆调整螺栓和两个俯仰调整螺栓以调整反射镜和半透视镜的位置,确保取样光路的正确。本发明的有益效果是:该高通量大口径光学引导与检测装置及其光路,能够在有限空间内通过现场试安装后的实际测试对取样光路进行修正,确保能量卡计迎光面的面积在可控范围内,同时光电管能够对取样光束进行采样分析。
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公开(公告)号:CN103230901B
公开(公告)日:2015-02-04
申请号:CN201310156290.4
申请日:2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法,它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口,下节流板设在透镜系统的正下方,排气口设在排气罩的顶面上,排气罩系统设在光学系统上端,上节流板设在光学系统内,下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部,气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果,使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。
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公开(公告)号:CN103018866B
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201210519869.8
申请日:2012-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 3-DOF可快速定位的串并混联镜架机构,它涉及一种串并混联镜架机构。本发明为了解决现有的镜架机构串联机构无法完成大行程、高精度的问题。本发明的串并混联镜架机构包括三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)、一条PPS运动链(5)、一个动平台(6)和一个静平台(7),以动平台(6)的几何中心为坐标系的原点,建立笛卡尔坐标系,所述三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)和一条PPS运动链(5)相对于动平台(6)以三面正交支撑的形式连接,三条PSSP运动链(1)、两条PSS运动链(2)完成动平台(6)的多自由度运动,PPS运动链(5)完全支撑动平台(6)的重量。本发明适用于镜架机构中。
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公开(公告)号:CN102909610B
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201210429045.1
申请日:2012-11-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 五轴联动超精密机床,它涉及一种五轴联动机床。本发明为了解决传统超精密机床存在的功能单一;加工对象形状简单,难以满足复杂微细结构表面和微小元件加工的要求等问题。机床床身上装有X轴导轨和Z轴导轨,X轴导轨上滑动连接有X轴溜板,Z轴导轨上连接有Z轴溜板;X轴溜板上沿竖直方向安装有立柱,立柱的竖直方向滑动连接有Y轴中溜板,Y轴中溜板前固定连接有Y轴前溜板;Y轴前溜板上沿水平方向固定安装有C轴,C轴上安装有真空吸盘,Z轴溜上沿竖直方向安装有B轴;X轴、Y轴、Z轴为液体静压导轨支撑,B轴和C轴采用气体静压支撑,B轴上安装夹具装置及刀具;C轴采用第一光栅和第二光栅来实现双反馈控制。本发明用于加工微细结构表面与微小元件。
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公开(公告)号:CN102862238B
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201210344292.1
申请日:2012-09-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D5/00
Abstract: 一种基于频域误差分配的超精密飞切机床精度设计方法,它涉及一种超精密加工机床精度设计方法,以解决现有超精密飞切机床的设计,没有考虑工件表面的频域误差要求,工件的加工质量和可靠性较差,应用于大型光学系统中适应性差的问题,所述设计方法的主要步骤为:步骤一、确定刀具和工件耦合条件下的动态波动估计模型;步骤二、得到刀尖处的频域误差分布;步骤三、分析产生飞切机床误差的误差单元;步骤六、确定所述的各个误差单元的频域误差组合原则;步骤四、确定各个误差单元在频域内相对于刀尖处的误差敏感度系数;步骤五、确定在一定空间频率区间内所述的各个误差单元的频域误差分布。本发明用于超精密飞切机床精度设计。
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公开(公告)号:CN102935525B
公开(公告)日:2014-11-19
申请号:CN201210486506.9
申请日:2012-11-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种双主轴式超精密飞切铣床,涉及一种铣床。为解决现有的KDP超精密加工机床的主轴系统的刚度低、加工效率低的问题。所述铣床包括龙门式床身、纵向直线导轨系统、卧式电主轴系统左、卧式电主轴系统右及空气隔振支撑系统;纵向直线导轨系统位于龙门式床身的中部并固定在基座上;卧式电主轴系统左设置在左立柱上,卧式电主轴系统右设置在右立柱上,纵向直线导轨系统位于卧式电主轴系统左和卧式电主轴系统右之间,真空吸盘左和卧式电主轴系统左相对设置,真空吸盘右和卧式电主轴系统右相对设置。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动及双工件的同时切削,而且导轨和主轴均采用了液体静压的控制方式,具有高精度、高刚度的优点。
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