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公开(公告)号：CN105841609B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201610165142.2
申请日：2016-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种基于光束扫描探测的组合悬臂梁探针传感装置及传感方法，属于尺寸测量技术领域，解决了基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感装置无法实现大量程、高分辨率传感的问题。本发明设置两个不同量程的光电探测器，探针的位移变化量小时，直接通过小量程光电探测器进行高分辨率传感，当探针的位移变化量大、聚焦光斑的位置偏移量超出小量程光电探测器的量程、在大量程光电探测器的量程内时，根据大量程光电探测器探测到的聚焦光斑的偏移量，控制二维扫描振镜组，使经其出射的激光发生偏转，使小量程光电探测器探测到聚焦光斑、该聚焦光斑的位置与光纤的另一端同步移动，实现了大量程、高分辨率的传感。本发明用于微尺寸和大深径比内腔结构的测量。
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公开(公告)号：CN104990499B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201510381711.2
申请日：2015-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于共轭焦点跟踪探测技术的探针传感装置属于尺寸测量技术领域；在激光器的出射光路上依次配置准直透镜、反射镜、显微物镜、光纤探针，光纤探针通过悬挂弹片悬挂安装在固定座上，光纤探针由内部刻有光纤光栅结构的光纤和探针触球配装构成；在显微物镜与反射镜之间依次配置第一分光镜和第二分光镜，在第一分光镜的反射光路上依次配置第一收集透镜和横向光电探测器，在第二分光镜的反射光路上依次配置第二收集透镜和轴向光电探测器；激光器、横向光电探测器和轴向光电探测器分别由电控位移台带动进行三维运动；本装置具有探针制作方便且易实现微型化、探测光强度高且易于探测、具备三维探测及解调能力、分辨力高、装置结构简单的特点。
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公开(公告)号：CN105841609A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610165142.2
申请日：2016-03-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/00
Abstract: 一种基于光束扫描探测的组合悬臂梁探针传感装置及传感方法，属于尺寸测量技术领域，解决了基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感装置无法实现大量程、高分辨率传感的问题。本发明设置两个不同量程的光电探测器，探针的位移变化量小时，直接通过小量程光电探测器进行高分辨率传感，当探针的位移变化量大、聚焦光斑的位置偏移量超出小量程光电探测器的量程、在大量程光电探测器的量程内时，根据大量程光电探测器探测到的聚焦光斑的偏移量，控制二维扫描振镜组，使经其出射的激光发生偏转，使小量程光电探测器探测到聚焦光斑、该聚焦光斑的位置与光纤的另一端同步移动，实现了大量程、高分辨率的传感。本发明用于微尺寸和大深径比内腔结构的测量。
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公开(公告)号：CN105510229A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510867984.8
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨虚拟结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，成像系统的横向分辨力较差的问题。本发明包括LED光源，沿LED光源光线传播方向依次放置准直扩束器、扫描系统、分光棱镜、1/4波片、照明物镜、样品、收集透镜和CCD探测器。本发明通过照明光场对样品物函数进行调制，使其高频信息移向低频段，改变照明光场方向可以对物函数进行不同方向的调制，改变每个照明方向通过照明光场相位，区分探测频谱中的高低频。本发明不仅可以提高扫描显微系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，可适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN105319196A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510868015.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 一种超分辨结构探测共焦荧光成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、荧光样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统OTF带宽变大。本发明提高了共焦荧光成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于厚生物样品成像的测量领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103256888B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310167659.1
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/00
Abstract: 一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型相同，空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明可以提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN102540439B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110453356.7
申请日：2011-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦轴向扫描装置及共焦轴向扫描方法，涉及一种共焦显微镜及其扫描方法，本发明解决了现有轴向扫描装置及方法因被测物体离焦是通过物镜或被测物体沿轴向方向移动而实现所导致的装置结构复杂、样品的测量重复性差的问题。本发明的共焦轴向扫描装置在现有装置基础上的偏振分光镜和物镜之间增加了反射式液晶空间光调制器，同时去掉传统共焦轴向扫描装置中轴向扫描机构，用反射式液晶空间光调制器取代轴向扫描机构。本发明的共焦轴向扫描方法采用计算机直接调制相位灰度图的方式来调整物镜之前光波的波前，从而实现变焦，使得测量物镜和被测物均不需要轴向移动即可实现对被测物的轴向扫描。用于共焦显微镜及其扫描。
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公开(公告)号：CN103245292A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310167658.7
申请日：2013-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超分辨声光调制共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域；该装置设置有类型和空间周期相同，在物空间和像空间的共轭位置以相同频率相反方向超声波驱动的喇曼-奈斯衍射型调制声光栅和解调声光栅，设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置；该方法利用调制声光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制，并在调制光进入光强探测器前通过解调声光栅进行解调，得到扫描点瞬时光强信号，最后进行信号处理，得到扫描点光强；本发明无需引入移动部件，即可提高共焦系统空间截止频率，甚至可以使隐矢波成分参与成像，拓宽空间频域带宽，从而显著改善系统横向分辨力，尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN100429545C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单刻线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN1329711C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200510102478.6
申请日：2005-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01B5/201 , G01B11/007
Abstract: 本发明公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量装置包括：瞄准及发讯装置，用以产生瞄准信号，并将瞄准结果反馈给控制装置、测长装置，用以在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微小腔体移动的距离、和控制装置，用以对整个测量装置的自动测量过程进行控制；其特征在于：所述瞄准及发讯装置包括激光耦合单元、数据采集处理单元和双光纤耦合单元；在双光纤耦合单元中，一根光纤作为入射光纤，另一根作为出射光纤，两根光纤的一端与耦合器固定连接。本发明还公开了一种基于双光纤耦合的微小内腔体尺寸测量方法。
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