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公开(公告)号：CN101780547B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010135440.X
申请日：2010-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统，它涉及一种超精密气体静压主轴系统。本发明为解决现有超精密加工装备中，主轴系统中的电机和主轴为刚性连接，动力传递效果较差及刚性连接对主轴回转精度有影响的问题。本发明的交流伺服电机通电后，交流伺服电机开始转动，带动柔性驱动组件转动，平皮带转动带动拨杆产生旋转扭矩驱动主轴旋转进行切削。高压空气经轴向进气孔进入，经径向节流小孔节流后在径向气膜间隙处形成径向气体静压膜，该径向气体静压膜支撑主轴及其径向载荷，高压空气经第一轴向节流小孔节流后在轴向气膜间隙处形成轴向气体静压膜，该轴向气体静压膜支撑主轴及其轴向载荷。本发明用于多种形式的超精密车床、超精密铣床上。
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公开(公告)号：CN101876393A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN201010195838.2
申请日：2010-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种超精密平台调平装置，它涉及一种调平装置。本发明的目的是解决目前单轴螺旋式调整的调平装置存在调整精度低、稳定性差及自动调平装置需要复杂的结构和较大的体积、成本较高、操作复杂和应用范围局限的问题。槽形底座上装有第二底座、第一底座和第三平面垫块，第一底座、第二底座和第三平面垫块呈等腰三角形布置；第一斜垫设置在第一底座上，第一斜垫和第一底座通过第一调整机构连接，平面垫块设置在第一斜垫上，第一球头调整垫块与平台固接；第二斜垫设置在第二底座上，第二斜垫和第二底座通过第二调整机构连接，第二球头调整垫块装在凹槽内，第二球头调整垫块与平台固接。本发明可以广泛应用于超精密机床、光学检测与成像等领域。
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公开(公告)号：CN101870002A
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN201010221284.9
申请日：2010-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/00 , B23Q15/013 , B23Q15/26
Abstract: 一种单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制方法，它涉及大尺寸脆性光学元件超精密加工领域。它解决了现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时平面度误差大、面形精度难以保证的问题，本发明首先利用干涉仪检测机座上的大尺寸光学元件的平面度形貌及平面度误差Δ，然后根据平面度误差Δ计算飞刀盘轴线倾角，再根据检测获得的平面度形貌调整三个楔形球面支撑体，以实现飞刀盘偏转角度，最后利用调整好的机床对光学元件进行二次超精密加工，再利用干涉仪重新检测平面度形貌及平面度误差Δ，当平面度误差Δ满足聚变系统要求时，完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的平面度误差控制。本发明适用于大尺寸光学元件的面形加工。
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公开(公告)号：CN101780547A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN201010135440.X
申请日：2010-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统，它涉及一种超精密气体静压主轴系统。本发明为解决现有超精密加工装备中，主轴系统中的电机和主轴为刚性连接，动力传递效果较差及刚性连接对主轴回转精度有影响的问题。本发明的交流伺服电机通电后，交流伺服电机开始转动，带动柔性驱动组件转动，平皮带转动带动拨杆产生旋转扭矩驱动主轴旋转进行切削。高压空气经轴向进气孔进入，经径向节流小孔节流后在径向气膜间隙处形成径向气体静压膜，该径向气体静压膜支撑主轴及其径向载荷，高压空气经第一轴向节流小孔节流后在轴向气膜间隙处形成轴向气体静压膜，该轴向气体静压膜支撑主轴及其轴向载荷。本发明用于多种形式的超精密车床、超精密铣床上。
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公开(公告)号：CN101474831A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200910071321.X
申请日：2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 可调节式金刚石刀具的刀夹装置，它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔，所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端，所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接，所述微调手轮固装在丝杠内套上，所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接，所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间，所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高，适用于各种精密及超精密的加工机床。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101435466A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810209792.8
申请日：2008-12-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 一种多孔质气体静压止推轴承，它涉及一种气体静压止推轴承。针对气体静压支撑轴承采用小孔节流气体静压支撑轴承，承载能力低，稳定性差及采用整体多孔质气体静压支撑轴承，耗气量大，难以保证孔隙度均匀、渗透率一致、各向同性的多孔质材料问题。轴承基体的下端面上设有沉孔，轴承基体的上端面上设有四～八个与轴承基体的沉孔相通的节流孔，四～八个节流孔的中心均布设置在轴承基体二分之一半径处所在的圆周上，节流孔内装有一个与其内壁粘接的各向同性多孔质石墨柱塞，止推板设置在轴承基体的工作面上。本发明采用各向同性多孔质石墨柱塞，保证了孔隙度均匀、渗透率一致和各向同性，此外，本发明还具有承载能力大、稳定性高及静态刚度高的优点。
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公开(公告)号：CN1916138A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200610010487.7
申请日：2006-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C10M135/10 , C10M133/04 , C10N40/22
Abstract: 一种用于功能晶体磷酸二氢钾超精密铣削时的冷却液，涉及一种冷却液。由于KDP晶体具有易潮解、质软、脆性高、对温度变化敏感和易开裂等特点，使用冷却时易在其加工表面出现“雾化”现象，严重时会出现晶体的开裂情况，为此本发明研制的冷却液由航空媒油、EDTA和磺基水杨酸组成，其中采用航空媒油作为基体，EDTA的添加量为1.598mg/L～3.2mg/L，磺基水杨酸的添加量为0.031mg/L～0.1mg/L。本发明具有如下优点：采用该冷却液可显著降低零件的加工表面粗糙度；该冷却液有利于减小加工表面的残余应力；冷却液可明显减少零件表面的脆性损伤；使用该冷却液并不会在加工表面产生“雾化”现象。
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公开(公告)号：CN1564094A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013615.4
申请日：2004-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/18 , G05B19/408 , G05B15/02
Abstract: 微机械零件三维加工方法，它属于一种超精密加工方法。现有诸多微机械零件的加工方法存在只能加工准三维结构等弊端。本发明两种方法都需结合现有的微机械零件三维加工装置来实现：依次设置扫描探针显微镜等的工作参数，将样品放在三维工作台上，通过控制工作台X、Y向运动开始加工第一个图形；当加工完第一个图形后抬起探针，工作台作二维移动后开始加工下一个图形，直到加工完所有的图形。另一种方法是，三维工作台按预先设置的值在X、Y、Z向移动，一次加工完全部图形后，通过扫描陶管作收缩运动抬起探针，结束加工。本发明方法可以进行真正的三维加工，去除量在纳米量级，对表面的破坏极小，它可以应用于MEMS器件、掩膜和微小模具的制造。
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公开(公告)号：CN103794971B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410066534.4
申请日：2014-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01S3/042
Abstract: 一种晶体口径可调节的高精度温度控制装置，涉及一种晶体温度控制装置。针对现有加热装置无法实现不同口径晶体精确温度控制并能保持晶体面较小温度梯度问题。铜环外侧固定加热器，内挡环装在铜环内，晶体设置在铜套内，铜套设置在两个内挡环之间，内挡环上设置有密封玻璃片，密封玻璃片外侧设置内固定端盖一，内固定端盖一与铜环连接，加热器外侧套装保护外壳，保护外壳与内固定端盖二连接，真空壳体与外固定端盖二连接，外固定端盖一与二连接，外固定端盖一通过融石英片密封，测温热电偶固定在铜环上，测温热电偶与显示仪表相连，显示仪表输出的温度数据给温控仪，温控仪与加热器相连。本发明用于大口径晶体高精度温度控制。
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公开(公告)号：CN103018865B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210519868.3
申请日：2012-12-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 四自由度大行程、快速精确定位的串并混联镜架机构，它涉及一种串并混联镜架机构。本发明为了解决现有的镜架机构串联机构无法完成大行程、高精度的问题。本发明的串并混联镜架机构包括四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)、一条PPS运动链(5)、一个动平台(6)和一个静平台(7)，以动平台(6)的几何中心为坐标系的原点，建立笛卡尔坐标系，所述四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)和一条PPS运动链(5)相对于动平台(6)以三面正交支撑的形式连接，四条PSSP运动链(1)、一条PSS运动链(2)完成动平台(6)的多自由度运动，PPS运动链(4)完全支撑动平台的重量。本发明适用于镜架机构中。
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