公开(公告)号：CN107316829B

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201710544513.2

申请日：2017-07-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 丑修建 ,  何剑 ,  胡磊 ,  穆继亮 ,  耿文平 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  张辉 ,  高翔 ,  石树正 ,  徐方良

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种基于TMAH的气相刻蚀方法，包括：（1）、在单晶硅基片上利用热氧生长一层SiO2掩膜层薄膜；（2）、利用紫外光刻实现在基片图形化工艺；（3）、利用光刻胶做掩膜，采用体积比HF：NH4F=1:4配制BOE溶液刻蚀SiO2，丙酮洗掉光刻胶形成以SiO2为掩膜的刻蚀窗口；（4）、利用密闭且冷凝循环的刻蚀装置在磁力搅拌加热器上实现刻蚀气体的阵列结构刻蚀。该方法可突破TMAH湿法刻蚀同时实现硅结构刻蚀表面粗糙度较小，凸角保护良好，结构阵列刻蚀均匀性良好，速率稳定的技术难题，可用于微传感器、微执行器等微纳器件图形结构的加工工艺。

公开(公告)号：CN108183626A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201810013128.X

申请日：2018-01-08

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  穆继亮 ,  何剑 ,  陈曦 ,  温涛 ,  田竹梅 ,  翟聪

IPC: H02N2/18 ,  H02K35/04 ,  F16B35/00 ,  F21V33/00 ,  F21Y115/10

Abstract: 本发明公开了一种基于磁电-压电复合式结构的发电螺钉，包括螺杆和螺钉头；所述螺钉头顶面设有LED基座，所述LED基座上设有LED灯带。所述螺杆内形成空心腔，所述螺杆的空心腔内固定悬臂梁支撑架，所述悬臂梁支撑架上安装悬臂梁，所述悬臂梁两端分别固定有电磁感应线圈，所述电磁感应线圈引出导线后与LED基座相连；所述螺杆的空心腔内位于电磁感应线圈的上方和下方安装一对极性相反的弧形磁铁；所述悬臂梁的上下表面分别固定有压电薄膜，所述压电薄膜背面具有一层电极并引出导线后与LED基座相连。本发明是将LED灯发光单元、磁电单元、压电单元结合在螺钉结构中，能够实现在螺钉振动时利用采集振动的能量转化为电能点亮螺栓外侧的LED灯。

公开(公告)号：CN106218838A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201610573834.0

申请日：2016-07-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  张国军 ,  何常德 ,  王任鑫 ,  韩建强 ,  何剑 ,  穆继亮 ,  年夫顺 ,  张增星 ,  王大为 ,  田竹梅

IPC: B63C11/52 ,  G01M10/00

CPC classification number: B63C11/52 ,  G01M10/00

Abstract: 本发明涉及海洋湍流观测技术，具体是一种基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统。本发明解决了现有海洋湍流观测技术无法实现全海深同步多采样点立体观测的问题。基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵型剖面观测系统，包括母弹观测系统和子弹观测系统；所述母弹观测系统包括母弹壳体、母弹整流罩、提拉锁、姿态稳定束、通信模块、母弹传感模块、母弹运行监测模块、母弹数据存储模块、母弹微控单元、母弹电池、母弹电磁抛载机构、母弹配重、水深监测模块、机械臂；所述子弹观测系统包括子弹壳体、子弹整流罩、导航定位模块、子弹传感模块、子弹运行监测模块、子弹数据存储模块、子弹微控单元、子弹电池。本发明适用于海洋湍流观测。

公开(公告)号：CN206670783U

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201720234569.3

申请日：2017-03-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 徐方良 ,  穆继亮 ,  丑修建 ,  石树正 ,  胡磊 ,  张辉 ,  何剑 ,  耿文平 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: G01H3/12 ,  G01H11/08

Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，包括框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、PZT压电薄膜；所述球形聚乙烯拾振单元固定于环形连接体上，环形连接体通过横梁连接于框型基座的中心处，每根横梁的外侧生长有PZT压电薄膜，PZT压电薄膜下面为下电极，且每根横梁的下电极与其它横梁以及框型基座上的电极相互独立；每个PZT压电薄膜上表面均溅射有相互独立的上电极。本实用新型是具有共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的同振型球形振子矢量水听器；采用微纳加工技术，实现了球形振子矢量水听器的微型化。并将信号采集模块布置于连接球形振子的四根横梁上，可检测垂直于横梁方向上的声信号分量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN205453706U

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201620255828.6

申请日：2016-03-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 张鹏 ,  穆继亮 ,  丑修建 ,  何剑 ,  刘立 ,  王二伟 ,  徐方良 ,  熊继军 ,  薛晨阳

IPC: H04B10/50 ,  H04B10/516 ,  H04B10/61 ,  H04B10/69 ,  G05D3/12

Abstract: 本实用新型涉及无线光电通信系统，具体是一种自动定向追踪并反馈的光电通信装置。本实用新型解决了现有无线光电通信系统通信质量差的问题。一种自动定向追踪并反馈的光电通信装置，包括发射端、接收端、告警电路、云台、基座、壳体；所述发射端包括发射端电路、激光器、激光扩束镜、光调制器、发射端光学天线；所述发射端电路包括信源输入端口、发射端MCU、发射端DSP、光调制器控制芯片；所述接收端包括接收端光学天线、位置敏感探测器、光电传感器、接收端电路；所述接收端光学天线包括会聚准直透镜、分束镜；所述接收端电路包括接收端MCU、接收端DSP、信宿输出端口。本实用新型适用于数据网、电话网、微蜂网、微微蜂窝网等领域。

公开(公告)号：CN213870143U

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202022277561.X

申请日：2020-10-14

Applicant: 南京邮电大学 ,  中北大学

Inventor： 曹自平 ,  刘立晨 ,  丑修建 ,  何剑

IPC: F03G7/08

Abstract: 本实用新型公开了一种往复式发电装置及发电背包，包括背板、发电机和弹簧往复回弹机构，所述弹簧往复回弹机构与背板滑动连接，弹簧往复回弹机构与背板之间安装连杆动力传递机构，连杆动力传递机构一端和背板固定连接，连杆动力传递机构另一端安装在弹簧往复回弹机构的滑板上；弹簧往复回弹机构的滑板上还设有单向传动机构和发电机，连杆动力传递机构连接单向传动机构，单向传动机构连接发电机转轴；滑板上下滑动过程中带动连杆动力传递机构动作，进而带动单向传动机构驱动发电机单向旋转运动而发电。本实用新型的发电装置应用在背包上，有效采集人体行走时背包上下振动产生的机械能，并用于发电，进而存储或供用电器使用，能够适应各种环境。

公开(公告)号：CN206670786U

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201720234549.6

申请日：2017-03-10

Applicant: 中北大学

Inventor： 穆继亮 ,  丑修建 ,  徐方良 ,  石树正 ,  高翔 ,  张辉 ,  何剑 ,  耿文平 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: G01H11/08

Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本实用新型MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN205910552U

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201620910406.8

申请日：2016-08-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  丑修建 ,  穆继亮 ,  何剑 ,  韩建强 ,  张增星 ,  王大为 ,  王二伟 ,  温涛

IPC: G05B19/042

Abstract: 本实用新型公开了一种煤机装备无线无源监测系统，包括通过无线通信协议连接的上位机接收端和信号采集端，所述上位机接收端由电脑和Zigbee信号接收单元组成，所述信号采集端包括振动能量采集部分、系统电路部分以及壳体部分，所述的振动能量采集部分包括压电单元、磁电单元和摩擦单元，压电单元固结于能量采集仓上壁，摩擦单元固结于能量采集仓下壁，磁电单元悬浮于能量采集仓仓体中心，所述系统电路部分包括电路板卡槽、射频电路、主控电路、能量采集电路和电池腔。本实用新型可以实现对旋转类重型采煤机械在线状态监测，集成独立能源供给技术和无线数据收发技术，可以免去工业现场布线的步骤、安装更加灵活、监控更加方便。

公开(公告)号：CN210383885U

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201822129323.7

申请日：2018-12-18

Applicant: 中北大学

Inventor： 丑修建 ,  侯晓娟 ,  余俊斌 ,  何剑 ,  穆继亮 ,  耿文平 ,  王超

IPC: A61B5/02

Abstract: 本实用新型提供了一种尺寸小巧、柔性程度高且输出能力高的柔性可穿戴传感器以及相应的可穿戴设备，其中的柔性可穿戴传感器包括：依次设置的第一电极层、第一摩擦层、间隔层、第二电极层以及第二摩擦层，第一摩擦层和第二摩擦层中均含有至少由硅橡胶组成的柔性混合材料，间隔层采用柔性材料制备而成，第一摩擦层的内表面和第二摩擦层的内表面相对应的区域上均形成有由多个凸起结构排布而成的凸起部分，且该两个内表面相对设置，第一电极层覆盖在第一摩擦层的外表面上，间隔层具有与第一摩擦层的内表面上的凸起部分对应的中空部分，第二电极层覆盖在第二摩擦层的内表面上。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207833465U

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201820122627.8

申请日：2018-01-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 何剑 ,  丑修建 ,  穆继亮 ,  耿文平 ,  侯晓娟 ,  薛晨阳 ,  杨子杨 ,  郝聪聪 ,  温涛 ,  翟聪

IPC: G06F3/0354 ,  H02K35/02

Abstract: 本实用新型公开了一种自供电无线鼠标，包括三种发电模块，即分别与鼠标左右按键相接触的采集短行程按压能量的两个微型发电机构（1），与鼠标滚轮（5）相连的小型直流发电机构（2），固定在鼠标后壳内的磁悬浮式振动发电机构（3）；三种发电模块分别与位于鼠标尾部的电路模块（4）相连。通过收集使用者在使用时移动或点击鼠标时所产生的压力或振荡，将产生的机械能转化为电能储存起来，为无线鼠标供电，无需额外安装电池，具有节能环保，使用方便，绿色无污染等优点。