一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法

    公开(公告)号:CN106226775B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201610560747.1

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法,属于绝对距离动态测量领域。为了解决现有的测量系统在振动影响下测量精度低的问题。本发明的测量系统包括两个部分,一部分进行FSI绝对距离测量,另一部分利用单频激光器加上声光调制器构成额外的一个外差干涉仪对目标的位移进行实时监测,消除了测量路光程变化引入的多普勒效应带来的影响。所述测量方法为利用所述测量系统中1号探测器、2号探测器和平衡探测器探测到的信号,获得的绝对距离:本发明利用2号探测器得到的信号用来校正声光调制器调制频率不稳定引入的误差。

    一种用于FMCW绝对距离测量技术中改进的高速色散失配校正方法

    公开(公告)号:CN105954735B

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201610560748.6

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 一种用于FMCW绝对距离测量技术中改进的高速色散失配校正方法,属于绝对距离测量领域。为了解决现有绝对距离测量高速色散失配校正方法测量效率低的问题。所述方法包括:采用光纤搭建辅助干涉仪,得到存在色散的辅助干涉仪信号,并将该信号作为数据采集卡采样时钟对测量路的信号进行采样,获得距离测量信号Im(m);对距离测量信号Im(m)进行处理后,获得测量信号的距离谱;对测量信号Im(m)进行倍数为d的降采样,得到的测量信号DIm,距离谱为:当P(k)最大时,从Im(m)中获得对应的高速色散失配校正后的距离。

    终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法

    公开(公告)号:CN105067224B

    公开(公告)日:2017-11-21

    申请号:CN201510616632.5

    申请日:2015-09-24

    Abstract: 本发明是终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法,它属于光学元件检测技术领域。本发明为了解决晶体双折射效应引起的重影干扰以及光学元件损伤尺寸的定量检测问题。具体步骤包括:通过结合晶体双折射效应与几何光学成像公式计算出光学元件上损伤点在成像系统中的o光像与e光像的坐标位置;对每对孪生像进行重影剔除;利用孤立点与合并后的孪生像的灰度积分与物理尺寸对应关系拟合定标曲线和定标方程;利用定标关系曲线和定标方程对FODI在线图像中未测的孤立点和孪生像进行尺寸的定量检测。本发明适用于光学元件检测技术领域。

    微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN104390603B

    公开(公告)日:2017-06-06

    申请号:CN201410663749.4

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 微球面型短相干点衍射干涉测量系统及测量方法,属于微球面型检测技术领域。本发明是为了解决现有短相干移相点衍射干涉测量方法的干涉场对比度差,影响测量精度的问题。装置包括短相干激光器、第一λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第一平面镜、第二角锥棱镜、PZT移相器、延迟平台、第二λ/2波片、光纤耦合镜、单模保偏光纤、会聚透镜、针孔镜、第一准直透镜、λ/4波片、显微物镜、第二平面镜、第二准直透镜、偏振片、面阵CCD和计算机;方法采用λ/4波片结合偏振片的光路结构,对干涉场内的光束进行选择,降低其中的直流分量,提高干涉条纹的对比度,实现对比度的优化可调。本发明用于微球面型检测。

    基于调焦清晰度评价函数的激光频率扫描干涉仪色散相位补偿方法

    公开(公告)号:CN105136021A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510443485.6

    申请日:2015-07-24

    Abstract: 基于调焦清晰度评价函数的激光频率扫描干涉仪色散相位补偿方法,本发明涉及高分辨率激光频率扫描干涉仪色散补偿方法。本发明是要解决现有方法测量分辨率低并且对测量信号的影响需要进行补偿的问题。建立高分辨率激光频率扫描干涉仪光纤色散条件下的测量信号拍频模型;采用相位法对测量信号拍频模型的光纤色散进行补偿:(1)将测量信号乘以复相位补偿项,通过调节色散补偿系数补偿测量信号中的色散相位畸变;(2)提出调焦清晰度评价函数作为判断测量信号拍频模型的相位畸变是否得到补偿的标准;(3)采用三分法寻找最佳色散补偿系数对高分辨率激光频率扫描干涉仪光纤色散进行补偿。本发明应用于高分辨率激光频率扫描干涉仪领域。

    终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法

    公开(公告)号:CN105092608A

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201510616600.5

    申请日:2015-09-24

    Abstract: 终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法,涉及光学元件检测技术领域,尤其涉及终端光学元件损伤在线检测中孪生像的剔除方法。本发明是要解决晶体双折射造成的重影剔除的问题。本发明方法通过以下步骤进行:一、计算出M×N个点在成像系统中CCD上所成的o光像与e光像的坐标;二、计算出M×N个有向线段的距离与倾角;三、对计算出的M×N个有向线段的距离与倾角进行统计分析,找出o光像与e光像的位置关系;四、把e光像作为重影像,e光像的灰度积分值合并到o光像上,剔除e光像;五、保留o光像作为损伤点的唯一像。至此,完成了孪生像中的重影像的剔除。本发明适用于光学元件检测技术领域。

    ICF靶丸充气管装配的精密标定方法

    公开(公告)号:CN105070323A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510423529.9

    申请日:2015-07-17

    CPC classification number: Y02E30/16

    Abstract: ICF靶丸充气管装配的精密标定方法,属于惯性约束聚变中(ICF)靶自动装配领域。为了解决目前采用技术人员通过高倍率显微镜目视观测对准进行靶丸充气管的方式存在装配精度低的问题。所述方法采用三组显微视觉系统从三个不同角度监测靶丸的中心坐标,将获得的三个靶丸中心坐标进行统一,确定三组显微视觉系统的坐标系;利用确定坐标系的三组显微视觉系统监测靶丸孔的中心坐标和充气管的下端坐标;调整靶丸孔和充气管的位置,使靶丸孔的中心坐标和充气管的下端坐标与统一的靶丸中心坐标重合,实现精密对准,完成精密标定。本发明用于冷冻靶精密装配。

    终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法

    公开(公告)号:CN105067224A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510616632.5

    申请日:2015-09-24

    Abstract: 本发明是终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法,它属于光学元件检测技术领域。本发明为了解决晶体双折射效应引起的重影干扰以及光学元件损伤尺寸的定量检测问题。具体步骤包括:通过结合晶体双折射效应与几何光学成像公式计算出光学元件上损伤点在成像系统中的o光像与e光像的坐标位置;对每对孪生像进行重影剔除;利用孤立点与合并后的孪生像的灰度积分与物理尺寸对应关系拟合定标曲线和定标方程;利用定标关系曲线和定标方程对FODI在线图像中未测的孤立点和孪生像进行尺寸的定量检测。本发明适用于光学元件检测技术领域。

    高分辨率频率扫描干涉仪中基于峰值演化消畸变的色散相位补偿方法

    公开(公告)号:CN104990495A

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201510443526.1

    申请日:2015-07-24

    Abstract: 高分辨率频率扫描干涉仪中基于峰值演化消畸变的色散相位补偿方法,涉及扫描干涉仪色散补偿技术领域。本发明是为了解决辅助干涉仪光纤色散效应引起的校正后的测量干涉仪信号拍频随调频带宽和被测距离增大而产生线性变化导致的测量分辨率较低和测距误差较大的问题。本发明将光纤马赫泽德干涉仪频率采样法校正非线性后的信号乘以复相位补偿项后,得到根据补偿相位为将Ib表示为选择相位补偿系数αcomp,使-πσdispn2+παcompn2最小,得到经过色散相位补偿的测量信号Ib,完成对频率扫描干涉仪色散影响的补偿。本发明适用于扫描干涉仪的色散补偿。

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