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公开(公告)号：CN109187726A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811344425.9
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种后分光瞳差动共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域。可用于飞秒激光加工与在线监测和物性综合参数在线检测。本发明将后置分光瞳激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用后置分光瞳差动共焦系统对样品轴向位置进行高精度原位在线监测和样品轴向加工尺寸测量；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块和质谱仪对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。
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公开(公告)号：CN109187723A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811343410.0
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的后置分光瞳差动共焦拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像、光谱成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光差动共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳差动共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用光谱探测系统对聚焦光斑激发的拉曼光谱进行微区光谱探测，利用激光多谱探测的优势互补和结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物医学、材料科学、矿产、微纳制造等领域形态成像及物质组分探测提供一条全新的有效技术途径。
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公开(公告)号：CN109187719A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811343004.4
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的后置分光瞳激光共焦LIBS光谱-质谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像、光谱成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用光谱探测系统对聚焦光斑激发激光诱导击穿光谱进行微区光谱探测，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用激光多谱探测的优势互补和结构融合实现样品微区完整组分信息与形貌参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物医学、材料科学等领域物质组分及形态成像探测提供一条全新的有效技术途径。
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公开(公告)号：CN109187493A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811345386.4
申请日：2018-11-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种分光瞳共焦Raman-LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工监测技术领域，可用于飞秒激光加工与在线监测和物性综合参数在线检测。本发明将分光瞳激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用分光瞳共焦系统对样品轴向位置进行高精度原位在线监测和样品轴向加工尺寸测量；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。
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公开(公告)号：CN108801178A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201710307245.2
申请日：2017-05-04
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/27 , G01B11/255
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及差动共焦自准直中心偏和曲率半径测量方法与装置。该方法利用高轴向定位能力的差动共焦探测系统的聚焦光斑对被测镜进行轴向定焦，利用精密的气浮回转系统带动被测镜旋转，利用自准直偏心探测系统记录被测镜旋转一周时，聚焦光斑经被测镜反射后的径向位置，从而获得偏心量；利用高精度的位置记录系统，记录聚焦光斑聚焦在被测镜的球心与顶点时聚焦光斑的位置，从而获得曲率半径，然后综合测得的曲率半径与偏心数据，即可实现中心偏与曲率半径的高精度、实时测量。本发明首次将差动共焦原理应用到中心偏测量领域中，改进了传统的自准直中心偏测量方法，具有测量精度高、范围大、避免重复装调的优点，可用于光学元件中心偏和曲率半径的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108286936A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201810083182.1
申请日：2018-01-29
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于激光精密检测技术、激光微纳加工监测技术领域，涉及激光微纳加工差动共焦在线监测一体化方法与装置，可用于复杂微细结构的激光微纳加工与在线检测。本发明将高轴向分辨的激光差动共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用差动共焦系统曲线零点对样品轴向位置进行纳米级监测和样品轴向加工尺寸测量，实现了样品轴向位置的实时定焦和加工后微纳结构尺寸的高精度测量，解决了测量过程中的漂移问题和高精度在线检测问题，提高了微纳飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。加工前，还可以利用显微成像模块对样品进行粗找正和横向位置识别。
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公开(公告)号：CN105758336B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610307770.X
申请日：2016-05-11
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种反射式激光差动共焦曲率半径测量方法与装置。该方法利用激光差动共焦光强响应曲线过零点与系统焦点精确对应这一特性，移动被测镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得被测镜位置差值L1，再移动反射镜对物镜焦点及其后表面顶点进行聚焦测量获得反射镜位置差值L2，利用测得的被测镜位置差值L1和反射镜位置差值L2求得被测镜曲率半径值，实现曲率半径高精度测量。与已有的测量方法相比，本方法不仅能实现凹面镜曲率半径测量，还能用于凸面镜曲率半径测量，具有测量精度高、测量光路短和抗环境干扰能力强等优点。
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公开(公告)号：CN107584337A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201710990941.8
申请日：2017-10-23
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种球面光学元件无样板加工工艺方法，特别涉及基于激光共焦干涉测量的球面光学元件无样板加工工艺方法，属于光学设备加工制备领域。该方法包括以下步骤：1)铣磨原料，在其表面切削出大致的球面形状；2)将铣磨后的元件进行精磨，保证表面粗糙度，并使球面曲率半径接近要求指标；3)利用激光共焦干涉测量仪对精磨后元件的曲率半径进行检测，若检测结果合格则进行步骤4，否则重复步骤2直至结果合格；4)对曲率半径合格的元件进行面型抛光；5)利用共焦干涉测量仪对抛光元件进行面型检测，若检测结果合格则加工完成，否则重复步骤4直至加工完成。本方法具有高精度、高效率、成本低的优点，在球面光学元件加工领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN106090700B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201610391484.6
申请日：2016-06-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及超大张角多光谱朗伯面照明光源，属于光学成像测试技术领域。本发明提出在大、小不等半球积分球交界错位处环形布局多光谱点光源阵列环带均布光源系统，使点光源阵列环带均布光源系统发出的光首先照射在大半球上，然后经大半球散射照射到积分球后半球(小半球)内表面上再经过多次散射出射超大张角高均匀的朗伯光源照明；通过多个谱段点光源循环阵列排布和光强切换，来实现超大张角多光谱朗伯面照明，实现强度和光谱的可调，生成多种光谱的均匀朗伯面照明和彩色照明。光源具有亮度高、均匀性好的优点，满足相机均匀性与光谱响应度的快速检测与标定需求。本发明可为相机等光电成像设备的像面均匀性与光谱响应检测提供全新的有效技术途径。
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公开(公告)号：CN107167456A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710366683.6
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01N21/63
CPC classification number: G01N21/63
Abstract: 本发明属于显微光谱成像探测技术领域，涉及一种透射式差动共焦CARS显微光谱测试方法及装置。本发明的核心思想是将CARS光谱探测技术与差动共焦显微技术结合并应用于透明物质的光谱探测和几何测量，其中差动共焦显微技术实现精确定焦和几何测量，精确定焦后，通过CARS光谱探测技术快速检测透明样品在物镜焦点位置的最佳光谱信号，从而实现高空间分辨的光谱成像，构成一种可实现微小透明物体几何形貌测量、光谱信息测量、图谱合一测量的装置。在本发明中，通过结合CARS显微技术，能够在短时间(几十毫秒)内激发出的载有被测透明样品信息的CARS光谱信息，为快速检测透明样品组分提供可能，在生物医学、材料检测等领域有广泛的应用前景。
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