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公开(公告)号:CN204086126U
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201420462978.5
申请日:2014-08-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01N21/25
Abstract: 本专利公开了一种基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统,它包括一根单模光纤、一套成像放大系统、一个半透半反片、一套激光扩束系统、一个低频斩波器、一台激光器、一套显微镜系统和一个高频斩波器。纳米材料激光双调制反射光谱测量由以下部件实现:根据激光双调制工作原理,将高频斩波器调制后的白光源经过显微镜照明系统作为探测光,低频斩波器调制后的激光扩束后作为泵浦光,然后探测光和泵浦光经过同一显微物镜作用于样品表面,单模光纤作为视场光阑放置在二次放大像面处,通过电机控制对样品面进行二维扫描,获得相关光学信号。本专利实现了纳米量级区域的光谱探测,有效地消除了背景反射光的干扰,可以应用于微纳光学领域的光学特征光谱的测量。