-
公开(公告)号：CN111649404B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202010521671.8
申请日：2020-06-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。
-
公开(公告)号：CN111649404A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010521671.8
申请日：2020-06-10
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。
-
公开(公告)号：CN111365220A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600707.0
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵测试领域，具体地说是一种真空干泵内部流场参数测试系统，包括待测真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一维持泵、第二维持泵和气瓶，第一真空室与待测真空干泵的进气口相连，第二真空室与待测真空干泵的出气口相连，第一维持泵和气瓶分别与第一真空室相连，第二真空室与第二维持泵相连，在气待测真空干泵的进气口和出气口内均设有温度传感器，在气待测真空干泵内设有多个压力传感器，所述压力传感器包括封装层、压感膜和电感线圈，在待测真空干泵外侧与各个压力传感器对应的位置均固设有耦合电感。本发明能够更客观地测量真空干泵内部流场参数，并且不会对泵体造成过多损坏。
-
公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
-
公开(公告)号：CN108119352B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201711408179.4
申请日：2017-12-22
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109268265A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811212221.X
申请日：2018-10-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于真空泵技术领域，尤其涉及一种涡旋真空泵，包括：真空发生装置和驱动电机，所述驱动电机能够为所述真空发生装置提供驱动力；所述驱动电机的电机轴包括一体成形的电机段和偏心轴段；所述真空发生装置包括泵腔、设置在所述泵腔内的动涡旋盘和波纹管密封系统；所述偏心轴段位于所述泵腔的内部，且能够为所述动涡旋盘提供在所述泵腔内部用于压缩空气的区域空间做平动的动力；所述波纹管密封系统能够将驱动电机所在的非真空区域与所述泵腔内部压缩空气的区域空间完全隔离。本发明提供的涡旋真空泵具有结构简单，密封性好和防动涡旋盘自转的效果。
-
公开(公告)号：CN108121370A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711410852.8
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明涉及一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统。其中，通过位于平衡室和需测控真空环境之间的第一流量调节阀来调控需测控真空环境的气体流量，通过平衡室使得需测控真空环境的气体流量等于压力气源的出气流量，只需测量压力气源的出气流量即可获得需测控真空环境的气体流量，即只需使流量计在恒定压力下工作而无需直接在真空下测量需测控真空环境的气体流量即可得到需测控真空环境的气体流量，由此解决了现有流量计无法在真空条件下进行正常准确的气体流量测量而无法获得准确真实的真空环境的气体流量的技术问题，大大提高了真空环境的气体流量的测量精度，反映真空环境气体流量的真实情况。同时也实现对需测控真空环境气体流量的控制。
-
公开(公告)号：CN108085643A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711342671.6
申请日：2017-12-14
Applicant: 东北大学
CPC classification number: C23C14/083 , C23C14/30
Abstract: 本发明属于金属材料表面涂层领域，尤其涉及一种形成于金属部件表面的阻尼涂层及其制备方法。本发明的阻尼涂层由均匀混合的氧化钇稳定氧化锆和氧化钇沉积于金属部件的表面形成；制备方法，包括步骤：1)阻尼材料配制：将质量百分含量为85％-92％的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)和质量百分含量为8％-15％的氧化钇混合均匀配置成阻尼涂料，2)阻尼涂层：采用物理气相沉积的方法在金属部件表面上进行阻尼涂层。采用本发明制备出的阻尼涂层具有强度高、不易老化、不易开裂和不易剥落的特点，同时，具有该阻尼涂层的金属部件的动刚度增大、抗震能力增强并且可有效地降低金属部件的振动水平。
-
公开(公告)号：CN105201825B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201510579035.X
申请日：2015-09-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种多腔涡旋式真空泵，打破传统设计思路，首次提出了多腔结构设计方案，对突破压缩比、抽速和极限真空度方面的限制提供了有效手段。本发明的并联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双侧、多头等结构形式，通过并联式的多腔结构实现同时抽气，有效提高了抽速和工作效率，且使泵体结构更加紧凑。本发明的串联式多腔涡旋真空泵，其改变了现有的双级、多涡等结构形式，采用现有双级、多涡等结构形式的真空泵，其对于实现更低的极限真空度和更高的压缩比已难以达到，为此也只能设计具有更多级数的涡旋真空泵，但也导致泄漏率更高，而本发明的泵体结构不但简单紧凑，且同样可以具有更多级数的涡旋真空泵的性能，同时泄漏率也低的多。
-
公开(公告)号：CN104989641B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201510330862.5
申请日：2015-06-15
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种涡旋干式真空泵，属于容积式真空泵技术领域。在涡旋干式真空泵的涡旋定盘上设置有若干处辅助排气阀，辅助排气阀的分布方式为：以涡旋工作腔的最大基圆展开角处为起点，且展开角每减小2π就沿涡旋型线方向布置一个辅助排气阀。本发明与现有技术相比，突破了现有涡旋干式真空泵在定压比工作方式上的限制，在涡旋定盘上设置了辅助排气阀，当入口压力较高时，能够及时通过辅助排气阀排除涡旋工作腔内的一部分高压气体，使涡旋工作腔的压力降到合理水平，在很大程度上避免了过压缩现象的产生，从而减小涡旋体所受到的冲击作用，使涡旋干式真空泵具有了工作平稳、振动小及节约能源的特点。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
150
records
(took 0.023 seconds)
